用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件的制作方法

本发明涉及一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件。本发明还涉及一种电容式传感器设备或开关设备。此外，本发明涉及一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件的制造方法。

背景技术：

在us2014/0060169a1中说明了一种电容式压力传感器，该电容式压力传感器具有直接或间接在衬底的衬底表面上张紧的膜片。所述膜片的无支撑区域覆盖由衬底成型的开口，其中，无支撑区域在其两个膜片表面上存在压力不平衡时翘曲。电容式压力传感器也包括连接在膜片的无支撑区域上的摆杆结构，该摆杆结构具有构造在摆杆结构上的两个电极和固定在衬底表面上的两个对电极。摆杆结构借助至少一个沿着其旋转轴线延伸的摆杆弹簧这样保持，使得无支撑区域上的翘曲这样引起所连接的摆杆结构绕着其旋转轴线的摆动运动，使得构造在摆杆结构上的电极相对于其对电极被调节。以这种方式，根据施加在电极与对电极之间的电压的变化应能确定存在于无支撑区域的膜片表面上的压力不平衡。

技术实现要素：

本发明实现一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件，一种电容式传感器设备或开关设备，以及一种用于电容式传感器设备或开关设备的微机械构件的制造方法。

本发明实现一种电容式传感器设备或开关设备，在该电容式传感器设备或开关设备的微机械构件中可以省去传统的摇杆结构。从而在利用本发明时也避免了至少一个沿着传统摆杆结构的旋转轴线延伸的摆杆弹簧的缺点。为了使传统的摆杆结构能够以希望的摆动运动对对应电容式压力传感器的膜片的无支撑区域的翘曲做出反应，该摆杆结构的至少一个摆杆弹簧必须以较小的弯曲刚度构造。然而，在电极之间施加电压的情况下，至少一个摆杆弹簧的小弯曲刚度仅产生较小的阻力来抵抗至少一个构造在摆杆结构上的电极对其至少一个配属的对电极的吸引。由于至少一个摆杆弹簧的弯曲刚度小，因此，在至少一个构造在摆杆结构上的电极与其至少一个配属的对电极之间需要较大的距离。因此，对传统摆杆结构的使用使根据现有技术的配备有该传统摆杆结构的电容式压力传感器的微型化变困难。

与此相对，本发明提出一种电容式传感器设备或开关设备，在该电容式传感器设备或开关设备的微机械构件中，至少一个可调节的电极可以相对无问题地靠近其至少一个配属的对电极地布置。从而，本发明使电容式传感器设备或开关设备的微型化变容易。因为电容式传感器设备或开关设备的微型化可以导致材料节省，所以本发明也有助于降低电容式传感器设备或开关设备的制造成本。此外，明确指出，即使在借助本发明微型化的电容式传感器设备中，也不会/几乎不会出现由于至少一个可调节的电极对其至少一个配属的对电极的不希望的吸引而引起的错误信号。

在一个有利的实施方式中，微机械构件具有至少一个第一电极和至少一个第二电极作为至少一个电极，其中，在至少一个无支撑区域翘曲时，至少一个第一电极能以垂直于衬底表面定向的第一运动分量被置入其对应的调节运动中，并且至少一个第二电极能以垂直于衬底表面定向且相对于第一运动分量相反定向的第二运动分量被置入其对应的调节运动中。微机械构件的在此所述的实施方式的至少一个第一电极和至少一个第二电极的相反定向的运动分量使用于确定施加到至少一个无支撑区域上的力或者说相应于该力的至少一个物理参量或周围环境条件的分析评估变容易。

例如，至少一个第一电极分别配属有至少一个杠杆元件，该至少一个杠杆元件分别至少通过其第三扭转弹簧与对应的第一电极连接，并且该至少一个杠杆元件的第一扭转弹簧距其第二扭转弹簧比距该至少一个杠杆元件的第三扭转弹簧更近，其中，至少一个第二电极分别配属有至少一个杠杆元件，该至少一个杠杆元件分别至少通过其第三扭转弹簧与对应的第二电极连接，并且该至少一个杠杆元件的第一扭转弹簧距其第三扭转弹簧比距该至少一个杠杆元件的第二扭转弹簧更近。如下面更详细地阐明那样，微机械构件的在本段中所述的实施方式在至少一个膜片的至少一个无支撑区域翘曲时自动地引起至少一个第一电极和至少一个第二电极的有利的相反定向的运动分量。

优选，至少一个杠杆元件的第一扭转弹簧分别与同一杠杆元件的第二扭转弹簧平行地定向。同样优选的是，至少一个杠杆元件的第一扭转弹簧分别与同一杠杆元件的第三扭转弹簧平行地定向。每个杠杆元件的扭转弹簧的这种构造确保了将至少一个无支撑区域的翘曲可靠地分别转化为至少一个电极的所希望的调节运动。

在微机械构件的另一有利实施方式中，微机械构件的至少一个电极分别配属有由杠杆元件构成的至少一个第一杠杆元件对，所述杠杆元件分别至少通过它们的第三扭转弹簧与对应电极连接，并且它们的第三扭转弹簧相对彼此平行地定向。至少一个电极至少分别通过其所述第一杠杆元件对的这种“对称连接”使得能够将至少一个无支撑区域的翘曲转化为至少一个电极的(几乎)垂直于衬底表面定向的调节运动。

作为有利的扩展方案，微机械构件的至少一个电极附加地还可以配属有由杠杆元件构成的第二杠杆元件对，所述杠杆元件分别至少通过它们的第三扭转弹簧与对应的电极连接，并且它们的第三扭转弹簧相对彼此平行地定向。这通过抑制不希望的“干扰运动”加强了至少一个电极(几乎)垂直于衬底表面的对应调节运动的定向。

例如，至少一个电极的第一杠杆元件对的第三扭转弹簧可以与同一电极的第二杠杆元件对的第三扭转弹簧平行地定向。至少一个电极的第一杠杆元件对的第三扭转弹簧也可以与同一电极的第二杠杆元件对的第三扭转弹簧垂直地定向。在这两种情况下，通过至少一个电极借助其两个杠杆元件对的“对称连接”保证可靠地禁止“干扰运动”。

在微机械构件的另一有利实施方式中，至少一个膜片这样气密地密封具有存在于其中的参考压力的壳体，使得至少一个无支撑区域能借助存在于壳体外部的不等于参考压力的物理压力发生翘曲。因此，微机械构件的在此所述的实施方式有利地适用于电容式压力传感器。

在具有这种微机械构件的电容式传感器设备或开关设备中也确保了前述优点。

前述优点也可以通过用于电容式传感器设备或开关设备的微机械元件的相应制造方法引起。明确指出，所述制造方法可以根据微机械构件的上述实施方式来扩展。

附图说明

下面，根据附图阐明本发明的其他特征和优点。在此示出：

图1a至1c微机械构件的第一实施方式的示意图。

图2a至2c微机械构件的第二实施方式的示意图。

图3a至3c微机械构件的第三实施方式的示意图。

图4a和4b微机械构件的第四实施方式的示意图。

图5微机械构件的第五实施方式的示意图；和

图6用于阐明制造方法的一个实施方式的流程图。

具体实施方式

图1a至1c示出微机械构件的第一实施方式的示意图。

图1a至1c中示意性示出的微机械构件包括具有衬底表面10a的衬底10。图1a示出衬底表面10a的俯视图，而图1b和1c示出衬底10沿着图1a的线aa'的横截面图。具有至少一个无支撑区域的至少一个膜片12直接或间接地在衬底表面10a上如此张紧，使得该至少一个无支撑区域能分别借助施加在该无支撑区域上的力f被翘曲(参见图1b和1c)。在图1a至1c的实施方式中，至少一个膜片12的至少一个无支撑区域仅示例性地气密地密封由衬底10成型的各一个开口14。在图1a中给出的四个膜片12的数量也仅应解释为示例性的。

微机械构件也具有至少一个杠杆元件16a至16d，其中，至少一个杠杆元件16a至16d这样连接在至少一个无支撑区域上，使得在至少一个无支撑区域发生翘曲的情况下，至少一个杠杆元件16a至16d能置于/将被置于旋转运动中。此外，至少一个电极18a这样连接在至少一个杠杆元件16a至16d上，使得至少一个连接的电极18a能通过至少一个杠杆元件16a至16d的旋转运动被分别置于倾斜于衬底表面10a地定向的调节运动中。至少一个杠杆元件16a至16d至少通过每个杠杆元件16a至16d的各一个第一扭转弹簧20a至20d连接在至少一个无支撑区域上。同样，至少一个杠杆元件16a至16d至少通过每个杠杆元件16a至16d的各一个第二扭转弹簧22a至22d连接在衬底表面10a上或者说连接在在衬底表面10a上沉积(abscheiden)的至少一个层上。此外，至少一个杠杆元件16a至16d至少通过每个杠杆元件16a至16d的各一个第三扭转弹簧24a至24连接在至少一个电极18a上。

因此，在此所述的微机械构件由于其有利地配备有至少一个杠杆元件16a至16d而在没有传统摇杆结构的情况下不存在问题，该至少一个杠杆元件分别具有其第一扭转弹簧20a至20d、其第二扭转弹簧22a至22d和其第三扭转弹簧24a至24d。因此，在这里所述的微机械构件中不必接受传统摇杆结构的上述已经阐明的缺点。借助至少一个杠杆元件16a至16d，可以有利地将至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的翘曲转化为至少一个电极18a关于衬底表面10a并从而关于至少一个相对于衬底表面10a固定的对电极26a和26b的调节运动。例如，至少一个第一对电极26a可以布置在至少一个可调节的电极18a的朝衬底表面10a定向的侧上和/或至少一个第二对电极26b可以布置在至少一个可调节的电极18a的至少一个离开衬底表面10a指向的侧上，作为至少一个相对于衬底表面10a固定的对电极26a和26b。

通过至少一个杠杆元件16a至16d，也可以将较大的力传递到连接在至少一个膜片12至12d上的至少一个电极18a上。因为至少一个杠杆元件16a至16d的扭转弹簧20a至20d、22a至22d和24a至24d都不沿着对应的杠杆元件16a至16d的旋转轴线(未画出)延伸，所以不需要以较低的弯曲刚度构造扭转弹簧20a至20d、22a至22d和24a至24d。相反，至少一个杠杆元件16a至16d的扭转弹簧20a至20d、22a至22d和24a至24d的弯曲刚度可以如此确定，使得扭转弹簧20a至20d、22a至22d和24a至24d仅由于施加在电极之间的电压来禁止至少一个可调节的电极18a对其至少一个配属的对电极26a或26b的不希望的吸引。因此，至少一个可调节的电极18a也可以与其至少一个对电极26a相距较小的距离，而不需要担心至少一个可调节的电极18a对其至少一个配属的对电极26a或26b的不希望吸引。因此，不用担心/几乎不用担心出现由于至少一个可调节的电极18a不希望地吸引其至少一个配属的对电极26a或26b引起的错误信号的风险。因为至少一个电极18a可以与其至少一个配属的对电极26a相距较小的距离，所以能容易地实施图1a至1c的微机械构件的微型化。由于节省了材料，微型化的微机械构件也能相对成本低地制造。

使用至少一个杠杆元件16a至16d的另一优点也在于，至少一个膜片12可以没有问题地这样弹性地构造，使得施加到至少一个无支撑区域上的力f引起较大的翘曲。至少一个膜片12的较大的弹性确保至少一个膜片12几乎不会对例如在衬底10弯曲时出现的机械应力做出反应。因此，在此所述的微机械构件具有非常良好的应力解耦性。

优选，至少一个杠杆元件16a至16d的第一扭转弹簧20a至20d分别与同一杠杆元件16a至16d的第二扭转弹簧22a至22d平行地定向。同样有利的是，至少一个杠杆元件16a至16d的第一扭转弹簧20a至20d分别与同一杠杆元件16a至16d的第三扭转弹簧24a至24d平行地定向。在这两种情况下，确保良好地将至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的翘曲转化为至少一个可调节的电极18a的所希望的调节运动。

作为可选的扩展方案，图1a至1c的微机械构件还具有每个杠杆元件16a至16d的各一个第四扭转弹簧28a至28d，(除了通过其第一扭转弹簧20a至20d以外)至少一个杠杆元件16a至16d通过该第四扭转弹簧28a至28d也连接在至少一个无支撑区域上。尤其，每个无支撑区域上的锚固点30a至30d以万向节的方式在各杠杆元件16a至16d的第一扭转弹簧20a至20d与第四扭转弹簧28a至28d之间连接。此外，(除了通过其第二扭转弹簧22a至22d以外)，至少一个杠杆元件16a至16d还通过每个杠杆元件16a至16d的各一个第五扭转弹簧32a至32d连接在衬底表面10a上或者说连接在衬底表面上沉积的至少一个层上。在同一杠杆元件16a至16d的第二扭转弹簧22a至22d和第五扭转弹簧32a至32d之间，各一个锚固点34a至34d位于衬底表面10a上或者说位于在衬底表面上沉积的至少一个层上。然而，也可以省去至少一个第四扭转弹簧28a至28d和/或至少一个第五扭转弹簧32a至32d。

此外，也不需要在至少一个杠杆元件16a至16d与衬底10之间布置至少一个膜片12。替代地，至少一个膜片12也可以在至少一个杠杆元件12的离开衬底10指向的侧上张紧。

在图1a至1c的示例中，至少一个可调节的电极18a分别配属有由杠杆元件16a和16b构成的第一杠杆元件对和由杠杆元件16c和16d构成的第二杠杆元件对，其中，配属的杠杆元件16a至16d分别至少通过其第三扭转弹簧24a至24d与配属的电极18a连接。所述由杠杆元件16a和16b构成的第一杠杆元件对的第三扭转弹簧24a和24b相对彼此平行地定向。相应地，所述由杠杆元件16c和16d构成的第二杠杆元件对的第三扭转弹簧24c和24d也相对彼此平行地定向。然而，所述由杠杆元件16a和16b构成的第一杠杆元件对的第三扭转弹簧24a和24b与所述由杠杆元件16c和16d构成的第二杠杆元件对的第三扭转弹簧24c和24d垂直地定向。因此，至少一个电极18能通过其由杠杆元件16a至16d构成的两个杠杆元件对“对称连接”到至少一个膜片12上。这种“对称连接”确保将至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的翘曲有利地转化为至少一个可调节的电极18a的(几乎)垂直于衬底表面10a定向的调节运动。

在图1a至1c的实施方式中，杠杆元件16a至16d这样构造，使得第一扭转弹簧20a至20d分别距同一杠杆元件16a至16d的第二扭转弹簧22a至22d比距同一杠杆元件16a至16d的第三扭转弹簧24a至24d更近。因此，至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的翘曲被转化为至少一个连接的电极18a的调节运动，该调节运动如图1c中借助箭头36a所示那样与引起翘曲的力f相反地指向。

图2a至2c示出微机械构件的第二实施方式的示意图。

在图2a中以关于构件衬底表面10a的俯视图示意性示出的微机械构件与前述实施方式的不同之处仅在于，所述构件的杠杆元件16a至16d这样构造，使得每个杠杆元件16a至16d的第一扭转弹簧20a至20d分别距同一杠杆元件16a至16d的第三扭转弹簧24a至24d比距同一杠杆元件16a至16d的第二扭转弹簧22a至22d更近。如借助图2b和2c的沿着图2a的线bb'延伸的横截面所示那样，至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的翘曲因此被转化为至少一个可调节的电极18b的调节运动，该调节运动如图2c中借助箭头36b所示那样朝着由翘曲引起的力f的方向指向。

关于图2a至2c的微机械构件的其他特性，可参考前述实施方式。

如果在前述两种微机械构件中既在至少一个可调节的电极18a或18b的朝衬底表面10a定向的侧上构型有至少一个第一对电极26a又在至少一个可调节的电极18a或18b的离开衬底表面10a定向的侧上构型有至少一个第二对电极26a，则可以称之为至少一个可调节的电极18a或18b相对于其对电极26a和26b的“全差分布置(volldifferentielleanordnung)”。因此，可以借助由在至少一个可调节的电极18a或18b和其对应的第一对电极26a之间施加的第一电容并由在至少一个可调节的电极18a或18b和其对应的第二对电极26b之间施加的第二电容构成的差值来确定测量值，该测量值说明作用到至少一个无支撑区域上的力f或者说相应于力f的物理参量或周围环境条件。由该差值构成所获得的信号比仅由第一电容的第一电容变化或仅由第二电容的第二电容变化所获得的比较信号大2倍。因此，至少一个可调节的电极18a或18b相对于其对电极26a和26b的“全差分布置”可以用于在保持该微机械构件的灵敏度和/或测量精度的情况下实现微机械元件的进一步微型化。相应地，“全差分布置”也可以用于在保持该微机械构件的结构尺寸的情况下提高微机械构件的灵敏度和/或测量精度。因此，为了分析评估在此所述的微机械构件，可以利用简单的、需要很小安装空间的且低成本的电子分析评估装置。

“全差分布置”和由第一电容和第二电容构成差值的另一优点在于，自动“滤除”了温度偏移。此外，“全差分布置”和差值构成有助于“滤除”由衬底10弯曲造成的测量误差。

图3a至3c示出微机械构件的第三实施方式的示意图。

在图3a中以关于构件衬底表面10a的俯视图示意性地示出的微机械构件具有至少一个第一可调节的电极18a和至少一个第二可调节的电极18b作为该构件的至少一个可调节的电极18a和18b。至少一个第一电极18a分别配属有至少一个杠杆元件16a和16b，该至少一个杠杆元件分别至少通过其第三扭转弹簧24a和24b与对应的第一电极18a连接，并且其第一扭转弹簧20a或20b距其第二扭转弹簧22a或22b比距该至少一个杠杆元件的第三扭转弹簧24a或24b更近。与此相对，至少一个第二电极18b分别配属有至少一个杠杆元件16c和16d，该至少一个杠杆元件分别至少通过其第三扭转弹簧24c或24d与对应的第二电极18b连接，并且其第一扭转弹簧20c或20d距其第三扭转弹簧24c或24d比距该至少一个杠杆元件的第二扭转弹簧22c或22d更近。因此，在至少一个无支撑区域翘曲的情况下，至少一个第一电极18a能以垂直于衬底表面10a定向的第一运动分量被置于其对应的调节运动中，而至少一个第二电极18b能以垂直于衬底表面10a定向且与第一运动分量相反定向的第二运动分量被置于其对应的调节运动中。

图3b和3c示出沿着图3a的线cc'的横截面。能看出，至少一个第一电极18a的调节运动与引起翘曲的力f(箭头36a)相反地指向，而至少一个第二电极18b的调节运动朝着引起翘曲的力f(箭头36b)的方向指向。

在图3a至3c的微机械构件中，其唯一的第一电极18a和其唯一的第二电极18b以可选的方式也通过连接接片38彼此机械地耦合。关于图3a至3c的微机械构件的其他特性参考前述实施方式。

图4a和4b示出微机械构件的第四实施方式的示意图。

图4a示出微机械构件的衬底表面10a的总览图，而图4b示出图4a的放大的部分截面d。图4a和4b的微机械构件分别也具有每个可调节的电极18a和18b的由杠杆元件16a和16b构成的第一杠杆元件对和由杠杆元件16c和16d构成的第二杠杆元件对。然而，在图4a和4b的微机械构件中，至少一个电极18a和18b的由杠杆元件16a和16b构成的第一杠杆元件对的第三扭转弹簧24a和24b与同一电极18a或18b的由杠杆元件16c和16d构成的第二杠杆元件对的第三扭转弹簧24c和24d平行地定向。以这种方式，也能这样实现至少一个电极18a和18b到至少一个膜片12的至少一个无支撑区域的“对称连接”，使得所连接的至少一个电极18a和18b能(近似)垂直于衬底表面10a被调节。

从图4a中也能看出，微机械构件的第一可调节的电极18a和第二可调节的电极18b可以这样沿着一个方向相互交替布置，使得在相邻的两个第一可调节的电极18a之间分别布置有一个第二可调节的电极18b，并且在相邻的两个第二可调节的电极18b之间分别布置有一个第一可调节的电极18a。以这种方式可以实现，衬底10的弯曲通常引起施加在第一可调节的电极18a和其配属的对电极26a和/或26b之间的第一电容的第一电容变化，该第一电容变化的量值(近似)与施加在第二可调节的电极18b和其配属的对电极26a和/或26b之间的第二电容的所同样引起的第二电容变化的量值相等，其中，这些电容变化具有不同的正负符号。因此，借助差值构成，可以容易地“滤除”由衬底10弯曲所造成的第一电容和第二电容的电容变化。

关于图4a和4b的微机械构件的其他特性可参考前述实施方式。

图5是微机械构件的第五实施例的示意图。

在图5的微机械构件中，两个可调节的电极18b的四个杠杆元件16a至16d通过外框架40与微机械构件的两个膜片12连接。此外，配属于同一电极18b的两个杠杆元件16a和16c或16b和16d分别通过各两个连接接片42相互连接。这能够实现，将另一可调节的电极44通过两个扭转弹簧46连接到位于电极44一侧上的两个杠杆元件16a和16c上并且通过另外两个扭转弹簧46连接到位于电极44的对置侧上的两个杠杆元件16b和16d上。这引起，在膜片12的无支撑区域发生翘曲的情况下，两个电极18b以垂直于衬底表面10a定向的第一运动分量被置于其对应的调节运动中，而另一电极44(同时)以垂直于衬底表面10a定向且与第一运动分量相反定向的第二运动分量被置于调节运动中。

在图3至5的微机械构件中，也可以称之为至少一个第一可调节的电极18a和至少一个第二可调节的电极18b构成的“全差分布置”，或者说由两个可调节的电极18a和另一电极44构成的“全差分布置”。(图3至5的微机械构件能够配备有每个可调节的电极18a和18b各一个第一和第二对电极26a和26b，然而，该配备对于引起“全差分布置”不是必要的)。在图3和4的微机械构件中，也可以借助由施加在至少一个第一可调节的电极18a和其至少一个配属的对电极26a和/或26b之间的第一电容和施加在至少一个第二可调节的电极18b和其至少一个配属的对电极26a和/或26b之间的第二电容构成的差值来确定测量值，该测量值说明作用到至少一个无支撑区域上的力f或相应于力f的物理参量或周围环境条件。相应地，在图5的微机械构件中可以借助由施加在两个电极18a和其至少一个配属的对电极26a和/或26b之间的第一电容和施加在另一电极44和其至少一个配属的对电极26a和/或26b之间的第二电容构成的差值来确定所述测量值。在这两种情况下，能引起前面已列举的“全差分布置”和差值构成的所有优点。

上述所有微机械构件均适用于电容式传感器设备或开关设备。电容式传感器设备的电子分析评估装置例如设计为用于至少在考虑关于施加在至少一个可调节的电极18a和18b与至少一个配属的对电极26a和26b之间的至少一个第一电压方面实时求取的测量参量的情况下确定测量值，该测量值说明作用到无支撑区域上的力f或相应于力f的物理参量或周围环境条件。然而，也可以将上述微机械构件的任意一种用在麦克风中或开关设备中。

尤其，至少一个膜片12可以这样气密地密封具有存在于其中的参考压力p0的壳体，使得至少一个无支撑区域借助存在于壳体外部的、不等于参考压力p0的物理压力p能翘曲/被翘曲。在前述实施方式中，作用到无支撑区域上的力f例如是由参考压力p0与存在于壳体外部的物理压力p之间的差值所引起的压力。在这种情况下，电子分析评估装置优选设计为用于至少在考虑实时求取的测量参量的情况下确定并输出关于分别存在于至少一个膜片12的无支撑区域上的物理压力p的测量值。

图6示出用于阐明制造方法的一个实施方式的流程图。

上述所有微机械构件都可以利用下面所述的制造方法来制造。然而，该制造方法的可实施性并不限于制造上述微机械构件。

在方法步骤s1中，直接或间接地在衬底的衬底表面上这样张紧至少一个膜片，使得在力施加到对应的无支撑区域上的情况下所述至少一个膜片的至少一个无支撑区域发生翘曲。

在另一方法步骤s2中，至少一个杠杆元件这样连接在至少一个无支撑区域上并且至少一个电极这样连接在所述至少一个杠杆元件上，使得在至少一个无支撑区域发生翘曲的情况下至少一个杠杆元件被置于旋转运动中，由此，所连接的至少一个电极被分别置于相对于衬底表面倾斜定向的调节运动中。在实施方法步骤s2时，至少一个杠杆元件至少通过每个杠杆元件的各一个第一扭转弹簧连接在至少一个无支撑区域上，至少通过每个杠杆元件的各一个第二扭转弹簧连接在衬底表面或在衬底表面上沉积的至少一个层上并且至少通过每个杠杆元件的各一个第三扭转弹簧连接在至少一个电极上。

关于所制成的微机械构件的其他特征参考上述实施方式。