物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法与流程

本发明涉及物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法等。

背景技术：

1、在专利文献1中，公开了具备至少1个转子和至少2个定子的物理量传感器。在该物理量传感器中，转子和定子的至少一部分从器件层的第一表面凹陷到至少2个不同的深度。而且，转子和定子的至少一部分从器件层的第二表面凹陷到至少2个不同的深度。

2、专利文献1：日本特表2018-515353号公报

3、根据专利文献1所公开的物理量传感器，在设置有2个以上的定子的情况下，对与各定子对应的每个转子变更转子的梳齿电极的厚度。因此，可动体相对于旋转轴的重心平衡被破坏，另一轴灵敏度有可能增加。

技术实现思路

1、本发明的一个方式涉及一种物理量传感器，在将相互正交的方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，该物理量传感器检测所述第三方向上的物理量，所述物理量传感器包括：固定部，固定于基板；支承梁，一端与所述固定部连接；固定电极部，设置于基板，且包括第一固定电极组及第二固定电极组；以及可动体，具有可动电极部及框架部，所述可动电极部设置有各可动电极与所述第一固定电极组的各固定电极对置的第一可动电极组以及各可动电极与所述第二固定电极组的各固定电极对置的第二可动电极组，所述框架部将所述可动电极部和所述支承梁的另一端连结，在所述第一可动电极组设置有向所述第三方向凹陷的第一凹部，在所述第二固定电极组设置有向所述第三方向凹陷的第二凹部，在所述框架部的所述第二可动电极组侧的区域设置有向所述第三方向凹陷的第三凹部。

2、另外，本发明的其他方式涉及一种惯性测量装置，该惯性测量装置包括上述记载的物理量传感器以及根据从所述物理量传感器输出的检测信号进行控制的控制部。

3、另外，本发明的其他方式涉及一种制造方法，该制造方法是物理量传感器的制造方法，在将相互正交的3个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器检测所述第三方向上的物理量，所述制造方法包括：在基板上形成固定电极部的固定电极部形成工序；以及形成可动体的可动体形成工序，所述物理量传感器包括固定于基板的固定部，支承梁的一端与所述固定部连接，所述固定电极部设置于基板，且包括第一固定电极组和第二固定电极组，所述可动体包括：可动电极部，设置有各可动电极与所述第一固定电极组的各固定电极对置的第一可动电极组以及各可动电极与所述第二固定电极组的各固定电极对置的第二可动电极组；以及框架部，将所述可动电极部和所述支承梁的另一端连结，在所述固定电极部形成工序中，以在所述第二固定电极组设置向所述第三方向凹陷的第二凹部的方式形成所述第二固定电极组，在所述可动体形成工序中，以在所述第一可动电极组设置向所述第三方向凹陷的第一凹部的方式形成所述第一可动电极组，以在所述框架部的所述第二可动电极组侧的区域设置向所述第三方向凹陷的第三凹部的方式形成所述可动体。

技术特征：

1.一种物理量传感器，其特征在于，在将相互正交的方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，该物理量传感器检测所述第三方向上的物理量，

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

5.根据权利要求3或4所述的物理量传感器，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，

7.根据权利要求5所述的物理量传感器，其特征在于，

8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的物理量传感器，其特征在于，

11.根据权利要求9或10所述的物理量传感器，其特征在于，

12.一种惯性测量装置，其特征在于，包括：

13.一种制造方法，其特征在于，是物理量传感器的制造方法，在将相互正交的3个方向设为第一方向、第二方向以及第三方向时，所述物理量传感器检测所述第三方向上的物理量，

技术总结本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。技术研发人员：泷泽照夫,田中悟受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社技术研发日：技术公布日：2024/1/14