一种高纯电子气体的充装设备的制作方法

本发明涉及电子气体，更具体地说，本发明涉及一种高纯电子气体的充装设备。

背景技术：

1、气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类，特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气，电子气体是特种气体的一个重要分支，电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，lsi（大规模集成电路）级，vlsi（超大规模集成电路）级和ulsi（特大规模集成电路）级。

2、根据专利文件：cn115350622a所公开的一种电子气体研制制备装置及方法，本发明涉及气体制备技术领域。包括：混料罐，所述混料罐顶部连接设有安装板，所述安装板上安装设有电机，所述电机的输出端连接设有转轴，所述转轴延伸至混料罐内部且均匀连接设有若干搅拌杆，所述搅拌杆上连接设有搅拌叶片，所述混料罐顶部设有进料口，所述混料罐底部设有排料口，所述混料罐顶部连接设有连接管，所述连接管的另一端连接设有提纯罐，所述提纯罐顶部设有进液口，所述提纯罐顶部连接设有集气管，所述集气管上连接设有单向阀，所述提纯罐底部设有排液口。本发明与现有技术相比优点在于：结构新颖、设计合理、混合均匀、电子气体纯度高；

3、高纯电子气体需要充装在储气罐中，一般储气罐的充气口朝上，在进行电子气体的充装工作时，需要将储气罐稳定地固定在充装设备中，以确保充装过程的顺利进行为了实现这一目标，充装设备需要具有稳固的支撑结构和可靠的固定装置，且在充气时充气头需要与充气口固定，防止充气头在进行充气时，充气头掉落，造成电子气体的浪费，此外，在充气时充气头需要严密的贴合充气口，避免充气时漏气或空气进入储气罐的情况出现。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的上述缺陷，本发明提供了一种高纯电子气体的充装设备，本发明所要解决的技术问题是：在进行电子气体的充装工作时，需要将储气罐稳定地固定在充装设备中，以确保充装过程的顺利进行为了实现这一目标，充装设备需要具有稳固的支撑结构和可靠的固定装置，且在充气时充气头需要与充气口固定，防止充气头在进行充气时，充气头掉落，造成电子气体的浪费，此外，在充气时充气头需要严密的贴合充气口，避免充气时漏气或空气进入储气罐的情况出现。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种高纯电子气体的充装设备，包括l形底座，所述l形底座的顶部固定连接有升降板，所述l形底座的下方顶部活动连接有储气罐，所述l形底座的后侧内壁固定连接有固定夹，所述升降板的前侧固定连接有充气头；

4、所述升降板包括有升降板主体，所述升降板主体的顶部固定连接有电机放置块，所述电机放置块的顶部固定连接有气管放置块，所述电机放置块的内壁固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至升降板主体的内壁且固定连接有丝杆，所述丝杆的底部活动连接在升降板主体的内壁底部，所述丝杆的外壁螺纹连接有传动块，所述传动块的前侧固定连接有连接块，所述升降板主体的左右两侧分别固定连接有储气箱连接板，两个所述储气箱连接板的顶部后侧固定连接有储气箱，两个所述储气箱连接板的底部后侧均固定连接有三角架，所述储气箱的顶部固定连接有气管，所述气管远离储气箱的一端通过气管放置块延伸至升降板主体的前侧。

5、作为本发明的进一步方案：所述充气头包括有充气头连接轴，所述充气头连接轴的内壁固定连接有充气头主体，所述充气头连接轴的外壁环形阵列分别固定连接有四个限位杆，四个所述限位杆的对立面下方固定连接有充气口连接轴，所述充气口连接轴的底部后侧固定连接在连接块的前侧，所述充气头主体的顶部固定连接在气管远离储气箱的一端。

6、作为本发明的进一步方案：四个所述限位杆均包括有限位杆连接块，四个所述限位杆连接块分别固定连接在充气头连接轴外壁的前后左右四个位置，四个所述限位杆连接块远离充气头连接轴的一侧均固定连接有弹簧块，四个所述弹簧块的内壁顶部均固定连接有弹簧，四个所述弹簧的底部均固定连接有压杆，四个所述压杆的外壁均滑动连接在弹簧块的内壁，四个所述压杆的底部均延伸至弹簧块的外壁且一侧均开设有若干个限位槽，四个所述压杆的底部外壁均滑动连接有底块，四个所述压杆的底部外壁均滑动连接在底块的内壁，四个所述底块的对立面分别固定连接在充气口连接轴的前后左右四个位置，四个所述底块的相对面均开设有卡杆槽。

7、作为本发明的进一步方案：左右两侧所述底块的相对面均固定连接有l形杆，两个所述l形杆的顶部均开设有l形杆滑槽，左右两侧所述底块的相对面均固定连接有小型电机放置块，两个所述小型电机放置块的内壁均固定连接有小型电机，两个所述小型电机的输出端均延伸至小型电机放置块的外壁且均固定连接有第二丝杆，两个所述第二丝杆的相对面均活动连接在l形杆远离小型电机放置块的一侧，两个所述第二丝杆的外壁均螺纹连接有限位夹传动块，两个所述限位夹传动块的底部均固定连接有限位夹推杆，两个所述限位夹推杆的底部均通过l形杆所开设的l形杆滑槽延伸至l形杆的底部且固定连接有限位底推板，两个所述限位底推板的对立面均固定连接有限位夹推板，两个所述限位夹推板的对立面均固定连接有两个限位夹圆柱形推杆，两组所述限位夹圆柱形推杆的对立面外壁均滑动连接有限位夹，两个所述限位夹的顶部固定连接在充气口连接轴底部的左右两侧，两组所述限位夹圆柱形推杆的对立面均延伸至两个限位夹连接板的对立面且固定连接有限位夹。

8、作为本发明的进一步方案：两个所述限位夹传动块的顶部内壁均转动连接有齿轮，两个所述齿轮的外壁均啮合齿杆，两个所述齿杆的对立面均固定连接有卡杆，两个所述卡杆的外壁均滑动连接有卡杆外滑块，两个所述卡杆外滑块的对立面均固定连接有卡杆外滑块连接板，两个所述卡杆外滑块连接板的对立面均固定连接在左右两个底块的相对面，两个所述卡杆的对立面外壁均通过卡杆槽延伸至底块的内壁且活动连接在其中一组限位槽的内壁。

9、作为本发明的进一步方案：所述固定夹包括有固定夹连接块，所述固定夹连接块的后侧固定连接有固定夹电机放置块，所述固定夹电机放置块的底部左右两侧分别固定连接有固定架三角形固定架，所述固定夹电机放置块的内壁固定连接有固定夹电机，所述固定夹电机的输出端延伸至固定夹连接块的前侧且固定连接有固定夹丝杆，所述固定夹连接块的前侧固定连接有u形板，所述固定夹丝杆的前端活动连接在u形板的内壁前侧，所述固定夹丝杆的外壁螺纹连接有横传动杆，所述u形板的前侧固定连接有两个滑板连接块，两个所述滑板连接块的前侧固定连接有滑板。

10、作为本发明的进一步方案：所述横传动杆的顶部左右两侧分别转动连接有转动杆，两个所述转动杆远离横传动杆的一侧均转动连接有第二转动杆，两个所述第二转动杆远离转动杆的一侧底部均固定连接有l形滑块，两个所述l形滑块的底部均延伸至滑板的内壁且滑动连接在滑板的内壁，两个所述l形滑块的前侧均延伸至滑板的内壁且均固定连接有固定夹板，两个所述固定夹板的对立面均固定连接有两个滑杆，两组所述滑杆的对立面底部均固定连接有底固定夹板。

11、作为本发明的进一步方案：所述l形底座包括有l形底座主体，所述l形底座主体的后侧上方开设有固定夹连接块放置槽，所述l形底座主体的顶部开设有储气罐放置槽，所述l形底座主体的顶部左右两侧分别开设有两个底座滑槽。

12、作为本发明的进一步方案：所述固定夹连接块的外壁固定连接在固定夹连接块放置槽的内壁，两个所述固定架三角形固定架的前侧固定连接在l形底座主体的后侧，两组所述滑杆的底部外壁均滑动连接在两组底座滑槽的内壁。

13、作为本发明的进一步方案：所述储气罐的底部活动连接在储气罐放置槽的内壁，所述储气罐的外壁下方活动连接在两个底固定夹板的对立面，所述储气罐的外壁上方活动连接在两个固定夹板的对立面，所述储气罐的顶部与充气口连接轴的底部对齐。

14、本发明的有益效果在于：

15、1、本发明通过设置有升降板、充气头，使得装置能够在使用时，当需要进行充气工作时，启动电机，电机的输出端带动丝杆进行旋转，连接块的移动会带动充气头连接轴及其上的充气头主体、限位杆和充气口连接轴一同移动，储气罐的充气口通过充气口连接轴的内壁进入充气口连接轴与充气头连接轴的对立面，使充气头主体与储气罐的充气口对准；

16、2、本发明通过设置有充气头、充气头连接轴、限位杆、充气口连接轴，启动小型电机，小型电机的输出端带动第二丝杆进行旋转，第二丝杆的旋转会驱动限位夹传动块在第二丝杆上沿轴向移动，从而带动限位夹推杆、限位底推板、限位夹推板和限位夹圆柱形推杆一同移动，限位夹推板会推动限位夹向中间靠拢，将储气罐的充气口外壁夹持在两个限位夹的对立面，同时齿杆沿其轴向移动，带动卡杆滑出限位槽的内壁解除对压杆的限位，当卡杆完全移出限位槽后，弹簧的弹力会使压杆在弹簧块中向下移动，此时，充气头主体与储气罐的充气口紧密贴合，且储气罐的充气口被两个限位夹稳定夹持，通过限位杆和限位夹的设计，保证了充气头主体与储气罐的充气口之间的紧密连接，避免了气体泄漏和浪费；

17、3、本发明通过设置有固定夹电机、固定夹丝杆、横传动杆、转动杆、第二转动杆、l形滑块、固定夹板、滑杆、底固定夹板，使得装置能够在不使用时，通过固定夹电机带动固定夹丝杆进行转动，固定夹丝杆带动横传动杆进行左右往复运动，横传动杆带动转动杆进行转动，转动杆带动第二转动杆进行转动，第二转动杆带动l形滑块在滑板的内壁进行左右往复运动，l形滑块带动固定夹板进行左右往复运动，固定夹板带动滑杆进行左右往复运动，滑杆带动底固定夹板进行左右往复运动，当固定夹板运动至储气罐的外壁时，固定夹板对储气罐进行夹持固定，底固定夹板对储气罐的底部进行夹持固定，防止储气罐在充装时发生晃动，提高了装置的使用寿命；

18、4、本发明通过设置有l形底座主体、固定夹连接块放置槽、储气罐放置槽、底座滑槽，使得装置能够在使用时，通过l形底座主体对装置进行支撑，固定夹连接块放置槽对固定夹连接块进行放置，储气罐放置槽对储气罐进行放置，底座滑槽对滑杆进行限位，提高了装置的使用稳定性，同时解决了现有技术中，储气罐的放置方式较为简单，储气罐容易发生晃动，导致储气罐内的气体容易泄漏，且工作效率较低，使用寿命较短的问题；

19、5、综上所述，本发明通过设置有限位杆、压杆、底块、卡杆、限位夹、固定夹电机、固定夹丝杆、横传动杆、转动杆、第二转动杆、l形滑块、固定夹板、滑杆、底固定夹板、l形底座主体、固定夹连接块放置槽、储气罐放置槽、底座滑槽，解决了现有技术中，储气罐在进行充气工作时，储气罐容易发生晃动，且充气头与储气罐充气口易松动导致储气罐内的气体容易泄漏，且工作效率较低，使用寿命较短的问题。