一种真空泵正反转检测装置的制作方法

本发明涉及真空获得设备检测，具体涉及一种真空泵正反转检测装置。

背景技术：

1、分子泵是一种用于获得高真空环境的精密机械，广泛应用于真空获得技术领域。在分子泵的内部设有涡轮；分子泵在工作时，通过高速旋转的涡轮，压缩密闭工作腔室的气体，并从前级管道抽出，实现工作腔室的真空环境。

2、所述涡轮的转向固定，且由控制器控制。当分子泵反向旋转时，会造成工作腔室的真空度无法获得和电机损坏，甚至造成分子泵损坏等不可逆的经济损失和安全事故。在判断分子泵的转向是否正确时，一般通过目测涡轮的转向进行判断。具体是，将分子泵连接控制器，启动分子泵，在分子泵转动的起始阶段进行目测涡轮的转向。一般分子泵运行时的最低转速为21000转/分，转频达到350赫兹。通过目测涡轮转向判断涡轮正反转的方式，一般只能在分子泵转频不超过30赫兹时进行判断；但是分子泵从启动到转频达到30赫兹，不超过10秒，很容易错过观测时间。当涡轮的转频超过30赫兹后，人眼很难区分涡轮的转向。

技术实现思路

1、因此，本发明要解决的技术问题在于采用目测方式判断分子泵的转向时，很容易错过观测时间，且很难区分分子泵转向的缺陷。

2、为了解决上述问题，本发明提供一种真空泵正反转检测装置，包括：

3、传感器，通过专用工装安装至真空泵的外壳上，在所述真空泵的转子的端面上沿周向设有至少三种不同的颜色标记；

4、上位机，与所述传感器信号连接；所述传感器适于识别不同的颜色标记，并向上位机发送不同的通信信号；所述上位机适于通过不同通信信号的发送顺序判断所述转子的转向，进而获得真空泵的转向；所述转向为正传或反转。

5、可选地，所述颜色标记为红色标记、黄色标记和蓝色标记。

6、可选地，在所述转子的端面上，红色标记、黄色标记和蓝色标记的区域分别为120°的扇面区。

7、可选地，所述传感器为色标传感器。

8、可选地，所述色标传感器设有多个通道，多个通道均与上位机信号连接；每个通道分别对应一种颜色标记，所述上位机适于通过色标传感器依次判断多个通道的通信信号，在所述通道的通信信号与所述颜色标记对应时，则所述颜色标记被准确识别。

9、可选地，所述专用工装包括：

10、透明有机玻璃板，所述传感器贯穿所述透明有机玻璃板后，正对所述转子的端面设置。

11、可选地，所述专用工装适于作为外壳的端盖，以密封所述真空泵。

12、可选地，所述传感器通过套筒安装至专用工装上。

13、可选地，所述真空泵为分子泵，所述转子为涡轮。

14、可选地，所述上位机在判断所述转子的转向为反转时，触发报警。

15、本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

16、1.本发明提供的真空泵正反转检测装置，包括：传感器，通过专用工装安装至真空泵的外壳上，在所述真空泵的转子的端面上沿周向设有至少三种不同的颜色标记；上位机，与所述传感器信号连接；所述传感器适于识别不同的颜色标记，并向上位机发送不同的通信信号；所述上位机适于通过不同通信信号的发送顺序判断所述转子的转向，进而获得真空泵的转向；所述转向为正传或反转；本申请采用上述技术方案，无需目测真空泵的正反转，节省人工成本：在不多给真空泵本身增加额外装置的情况下进行检测，检测准确且效率高，且提高真空泵出厂检测的自动化集成程度。

17、2.本发明所述上位机在判断所述转子的转向为反转时，触发报警；本申请采用上述技术方案，方便及时发现转子反转时，及时停止转子旋转，降低意外事故发生的风险。

技术特征：

1.一种真空泵正反转检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述颜色标记为红色标记(9)、黄色标记(10)和蓝色标记(11)。

3.根据权利要求2所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，在所述转子的端面上，红色标记(9)、黄色标记(10)和蓝色标记(11)的区域分别为120°的扇面区。

4.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述传感器(2)为色标传感器。

5.根据权利要求4所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述色标传感器设有多个通道，多个通道均与上位机信号连接；每个通道分别对应一种颜色标记，所述上位机适于通过色标传感器依次判断多个通道的通信信号，在所述通道的通信信号与所述颜色标记对应时，则所述颜色标记被准确识别。

6.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述专用工装(3)包括：

7.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述专用工装(3)适于作为外壳(5)的端盖，以密封所述真空泵。

8.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述传感器(2)通过套筒(6)安装至专用工装(3)上。

9.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述真空泵为分子泵(1)，所述转子为涡轮(4)。

10.根据权利要求1－3中任一项所述的真空泵正反转检测装置，其特征在于，所述上位机在判断所述转子的转向为反转时，触发报警。

技术总结本发明涉及真空获得设备检测技术领域，具体涉及一种真空泵正反转检测装置，包括：传感器，通过专用工装安装至真空泵的外壳上，在所述真空泵的转子的端面上沿周向设有至少三种不同的颜色标记；上位机，与所述传感器信号连接；所述传感器适于识别不同的颜色标记，并向上位机发送不同的通信信号；所述上位机适于通过不同通信信号的发送顺序判断所述转子的转向，进而获得真空泵的转向；所述转向为正传或反转；本申请采用上述技术方案，无需目测真空泵的正反转，节省人工成本：在不多给真空泵本身增加额外装置的情况下进行检测，检测准确且效率高，且提高真空泵出厂检测的自动化集成程度。技术研发人员：李运硕,王轶群,王岩生受保护的技术使用者：北京中科科仪股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/6/26