适用于小口径光学元件光学性能检测的紧凑型五维姿态调整平台的制作方法

本发明涉及光学检测设备，尤其涉及适用于小口径光学元件光学性能检测的紧凑型五维姿态调整平台。

背景技术：

1、多维光学检测调整平台因为其精度高、承载大、行程长等特点，而被广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域，调整平台能够实现精确、快速的调节平台上待测件的空间位置的效果。

2、公开号为cn201773602u的实用新型专利公开了一种仪器安装用四维调整平台，该调整平台通过两个直线平移台和两个角位移台，来实现四个维度的微调整。目前有多种规格的平移台、升降台、旋转调整台和角位移台，其根据需要，可以组合出三维、四维调整平台，最多可组合出六维调整平台，但是现有的调整平台由多个调整台从下往上依次堆叠组合形成，组合起来后设备整体高度较高。

技术实现思路

1、为了解决上述现有技术中存在的问题和不足，本发明专门提出了一种适用于小口径光学元件光学性能检测的紧凑型五维姿态调整平台，通过l形的结构设计，将五个维度姿态调节组件分布在l形底座的立板和水平板上，相较于将调节组件从上往下依次堆叠全部集成在底座上，本发明降低了平台的中心高，稳定性更好。

2、为了实现上述发明目的，本发明的技术方案如下：

3、一种适用于小口径光学元件光学性能检测的紧凑型五维姿态调整平台，包括l形底座、升降调节组件、俯仰调节组件、偏转调节组件、x轴位移调节组件、y轴位移调节组件以及l形托架；所述升降调节组件和俯仰调节组件设置在l形托架的立板上，并且升降调节组件还与所述l形底座的立板连接；所述偏转调节组件、x轴位移调节组件和y轴位移调节组件上下至上依次堆叠设置在l形托架的水平板上；其中，

4、所述升降调节组件包括升降板、升降调节顶块、升降调节机构和升降调节弹簧，所述升降板通过升降滚动直线导轨副与l形底座的立板连接，升降调节顶块固定在升降板的一侧，所述升降调节机构转动设置在所述l形底座的立板上，一端与所述升降调节顶块抵接；所述升降调节弹簧的一端与升降板连接，另一端与l形底座的立板连接；

5、所述俯仰调节组件包括俯仰调节螺杆、第一交叉滚子轴承和俯仰调节弹簧，所述第一交叉滚子轴承的外环固定在升降板的外表面，所述 l形托架的立板的内表面与所述第一交叉滚子轴承的内环连接，所述俯仰调节螺杆通过俯仰调节螺杆安装座固定在升降板上并且位于l形托架的一侧，螺杆的端部抵接在l形托架的一角，所述俯仰调节弹簧的一端连接于所述升降板的外表面，另一端与l形托架的立板的内表面连接；

6、所述偏转调节组件包括偏转调节板、偏转调节螺杆、偏转调节顶块、第二交叉滚子轴承和偏转调节弹簧，所述第二交叉滚子轴承的外环固定在l形托架的水平板上，所述偏转调节板的下表面与所述第二交叉滚子轴承的内环连接，所述偏转调节螺杆通过偏转调节螺杆安装座固定在l形托架的水平板上，并且位于偏转调节板的一侧，螺杆的端部与偏转调节顶块接触；所述偏转调节弹簧的一端连接于所述l形托架的水平板上，另一端与偏转调节板连接；

7、所述x轴位移调节组件包括x轴位移板、x轴位移调节机构、x轴位移调节顶块和x轴位移调节弹簧，所述x轴位移板的下表面通过x轴滚动直线导轨副与偏转调节板的上表面连接，x轴位移调节顶块设置在x轴位移板上，所述x轴位移调节机构设置在偏转调节板上，并且端部与x轴位移调节顶块接触；所述x轴位移调节弹簧的一端连接于所述偏转调节板上，另一端与x轴位移板连接；

8、所述y轴位移调节组件包括y轴位移板、y轴位移调节机构、y轴位移调节顶块和y轴位移调节弹簧，所述y轴位移板的下表面通过y轴滚动直线导轨副与x轴位移板的上表面连接，y轴位移调节顶块设置在y轴位移板上，所述y轴位移调节机构设置在x轴位移板上，并且端部与y轴位移调节顶块接触；所述y轴位移调节弹簧的一端连接于所述x轴位移板上，另一端与y轴位移板连接；

9、所述y轴位移板的上表面设置有载物板，载物板的上表面设置有用于固定光学仪器的燕尾卡槽。

10、在本发明中，所述升降调节机构包括升降粗调节机构、升降精调节机构和升降调节顶杆；所述升降粗调节机构包括升降粗调旋钮和升降粗调螺杆，所述升降粗调旋钮与升降粗调螺杆固定连接，升降粗调螺杆内部中空，升降调节顶杆滑动设置在升降粗调螺杆的内部空腔中，升降调节顶杆的尾部抵接在所述升降调节顶块上，所述升降粗调螺杆上套接有升降粗调螺纹套筒和升降粗调锁紧螺母，升降粗调螺纹套筒与l形底座的立板固定连接；所述升降精调节机构包括升降精调旋钮和升降精调螺杆，所述升降粗调旋钮上设置有螺纹孔，升降精调螺杆的一端螺纹连接在所述升降粗调旋钮的螺纹孔中，并且抵接在升降调节顶杆的顶部，另一端与所述升降精调旋钮连接。

11、在本发明中，所述x轴位移调节机构包括x轴位移粗调节机构、x轴位移精调节机构和x轴位移调节顶杆，所述x轴位移粗调节机构转动设置在偏转调节板上，x轴位移精调节机构与x轴位移粗调节机构连接，所述x轴位移调节顶杆一端与x轴位移精调节机构连接，另一端与所述x轴位移调节顶块接触。x轴位移粗调节机构转动带动x轴位移精调节机构和x轴位移调节顶杆纵向移动（沿着x轴方向），x轴位移调节顶杆与x轴位移调节顶块接触，推动顶块一起运动，进而带动x轴位移板一起运动，实现纵向位置的粗调节；进一步地，x轴位移精调节机构转动，带动x轴位移调节顶杆纵向移动（沿着x轴方向），x轴位移调节顶杆推动x轴位移调节顶块一起运动，进而带动x轴位移板一起运动，实现纵向位置的精调节。

12、在本发明中，所述y轴位移调节机构包括y轴位移粗调节机构、y轴位移精调节机构和y轴位移调节顶杆，所述所述y轴位移粗调节机构转动设置在x轴位移板上，y轴位移精调节机构与y轴位移粗调节机构连接，所述y轴位移调节顶杆一端与y轴位移精调节机构连接，另一端与所述y轴位移调节顶块接触。y轴位移粗调节机构转动带动y轴位移精调节机构和y轴位移调节顶杆横向移动（沿着y轴方向），y轴位移调节顶杆与y轴位移调节顶块接触，推动顶块一起运动，进而带动y轴位移板一起运动，实现横向位置的粗调节；进一步地，y轴位移精调节机构转动，带动y轴位移调节顶杆纵向移动（沿着y轴方向），y轴位移调节顶杆推动y轴位移调节顶块一起运动，进而带动y轴位移板一起运动，实现纵向位置的精调节。

13、在本发明中，所述x轴位移粗调节机构、x轴位移精调节机构、y轴位移粗调节机构和y轴位移精调节机构的具体结构可分别参照升降粗调节机构和升降精调节机构，在此不再展开说明。

14、在本发明中，所述l形底座的水平板上设置有万向脚垫。

15、本发明的有益效果：

16、1、本发明的五维调整平台在使用时，能够调节光学仪器的高度、俯仰、偏转、横向位置和纵向位置，而使得光学仪器的光路与被测的光学元件的光路两者重合，满足测试要求，提高了测试精度，减小了测试误差。

17、2、本发明的五维姿态调整平台的结构布局合理，通过l形的结构设计，将五个维度姿态调节组件分布在l形底座的立板和水平板上，相较于将调节组件从上往下依次堆叠全部集成在底座上，本发明降低了平台的中心高，稳定性更好。

18、3、本发明的升降调节组件在调节高度时，具有粗调和精调两个功能，可以精确的控制调整数值，确保检测时的精度。

19、4、本发明的l形底座的水平板上还设置有万向脚垫，可以快速调整体调节平台的水平度和高度。