一种硅片分离的处理方法与流程

本发明涉及硅片清洗，尤其涉及一种硅片分离的处理方法。

背景技术：

1、硅片在磷扩或硼扩加工后，需要进行酸洗，然而浸泡用pvc花篮中硅片与硅片之间间距极小，酸洗浸泡后硅片表面容易存在残酸，如果残酸未清除干净直接烘烤，会导致硅片表面存在的残酸形成难以去除的印记，这些印记不仅会导致trr不良现象，而且残酸印记也会影响喷砂后硅片表面的均匀性，现有工艺中为了尽可能保证残酸去除，会采用异丙醇对酸洗后的硅片进行浸泡处理，但是异丙醇易燃，浸泡异丙醇后的硅片进入烘箱时可能会带来安全隐患。

2、鉴于此，如何提供一种更加安全，同时对残酸的去处效果更好的硅片处理方法成为目前亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提出了一种硅片分离的处理方法，该方法可以对硅片表面的残酸去除更加彻底，降低了trr不良率，同时安全性更高，有利于提升硅片的电性良率和产品品质。

2、本发明的技术方案是这样实现的：本发明提供了一种硅片分离的处理方法，包括如下步骤：

3、步骤一、将装有掺杂处理后的硅片的pvc花篮在氢氟酸溶液中浸泡处理4-12h，然后用流动水冲洗40-60min；

4、步骤二、将pvc花篮内的硅片进行摆片处理；

5、步骤三、对摆片后的硅片浸泡在清洗剂溶液中超声处理10-20min，然后用流动水对硅片冲洗10-20min；

6、步骤四、对冲洗后的硅片进行甩干处理，然后烘烤至干。

7、在一些实施方式中，所述氢氟酸溶液为电子级，氢氟酸溶液的质量浓度为47-49％，氢氟酸溶液的温度为20-45℃。

8、在一些实施方式中，冲洗水可以采用自来水。

9、在一些实施方式中，摆片处理包括：将pvc花篮内的硅片摆放至另一特氟龙花篮内。

10、在一些实施方式中，所述清洗剂溶液中溶质的质量浓度为0.9％。

11、在一些实施方式中，清洗剂溶液为市售碱性硅片清洗剂。

12、在一些实施方式中，所述超声处理的超声波频率为40khz，清洗剂溶液的温度为50-70℃。

13、在一些实施方式中，所述甩干处理采用甩干机进行，甩干处理的转速为800rpm，甩干处理的时间为6min。

14、在一些实施方式中，烘烤温度为100-130℃。

15、本发明中所述pvc花篮的别称为硅舟，pvc花篮内硅片之间距离狭小，因此在酸浸泡清洗后，硅片之间容易残留酸液。

16、本发明相对于现有技术具有以下有益效果：

17、本发明通过对硅片进行分离和摆片的方式，有效解决了硅片之间残酸去除不干净的问题，降低了trr不良率和喷砂除效印记去果不佳的问题，并且还可以省去ipa浸泡清洗的操作，避免了硅片泡完ipa后进烘箱带来的安全隐患。提升了电性良率和产品的品质。

技术特征：

1.一种硅片分离的处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液为电子级，氢氟酸溶液的质量浓度为47-49％，氢氟酸溶液的温度为20-45℃。

3.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，摆片处理包括：将pvc花篮内的硅片摆放至另一特氟龙花篮内。

4.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，所述清洗剂溶液中溶质的质量浓度为0.9％。

5.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，所述超声处理的超声波频率为40khz，清洗剂溶液的温度为50-70℃。

6.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，所述甩干处理采用甩干机进行，甩干处理的转速为800rpm，甩干处理的时间为6min。

7.如权利要求1所述的硅片分离的处理方法，其特征在于，烘烤温度为100-130℃。

技术总结本发明提出了一种硅片分离的处理方法，包括：首先将装有掺杂处理后的硅片的PVC花篮在氢氟酸溶液中浸泡处理4‑12h，然后用流动水冲洗40‑60min；然后将PVC花篮内的硅片进行摆片处理；然后对摆片后的硅片浸泡在清洗剂溶液中超声处理10‑20min，然后用流动水对硅片冲洗10‑20min；最后对冲洗后的硅片进行甩干处理，然后烘烤至干。本发明的处理方法可以有效去除硅片表面残酸，提高TRR良率和产品品质，减少安全隐患，具有良好的应用前景。技术研发人员：陈宏胤,张彦祖受保护的技术使用者：扬州虹扬科技发展有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29