采用粗糙化前缘浅阶状件以增强粒子鲁棒性的滑块空气轴承设计的制作方法

背景技术：

1、数据存储系统用于存储大量信息。数据存储系统通常包括用于检索和存储信息的读取/写入转换器。一些数据存储系统使用旋转存储设备，诸如旋转光学设备(例如，cd和dvd驱动器)或包含旋转磁盘(也称为盘片或介质)的硬盘驱动器。在一些此类数据存储系统中，悬置滑块支撑包括读取/写入转换器的磁头。滑块为磁头提供机械支撑以及磁头与数据存储系统的其余部分之间的电连接。

2、当数据存储系统在操作中时，滑块漂浮在高速旋转的记录介质(例如，硬盘驱动器中的硬盘)上方一小段距离处。数据存储系统的部件将滑块且因此将磁头移动到旋转介质的表面上方的期望径向位置，且磁头读取或写入信息。在磁盘以其操作速度旋转时，滑块坐置在形成在介质的表面上方的空气或气体垫或轴承上。滑块具有面向介质的空气轴承表面(abs)。abs被设计成产生抵消朝向介质推动滑块的预负载偏置的空气轴承力。abs使滑块在介质上方飞行并与介质脱离接触。

3、许多数据存储设备，例如硬盘驱动器在标准空气(例如氮气、氧气和水蒸气混合物)气氛中操作。在硬盘驱动器中以每分钟高转速旋转磁盘以抵抗空气气氛的摩擦在很大程度上效率低下，并且需要一定量的功率。作为替代方案，数据存储设备，例如硬盘驱动器可填充有低密度气体，例如氦气，且被密封以控制且维持设备的内部环境，且防止氦气从数据存储设备的内部逸出。密封会减少或防止内部气体从存储设备内泄漏。密度大约为空气的七分之一的氦气的使用减小了设备中的摩擦和振动，从而减小了曳力和湍流。因此，通过在低密度气氛，例如氦气或氦气混合物的气氛中运行硬盘驱动器，磁盘上的摩擦减小，从而使得磁盘以与在标准空气条件下操作的驱动器中的磁盘类似的速率旋转所需的功率减小。氦气的使用还降低了驱动器的工作温度以及由驱动器产生的噪音。

4、然而，密封氦气驱动器中较低的环境压力给数据存储设备带来了挑战。例如，当在氦气或氦气混合物而不是空气中操作时，由于粒子迁移率降低(由于压力梯度较小且剪应力较小)，记录介质的表面可能更容易受到粒子划痕的影响。粒子、润滑油残留物、污染物和/或污渍可能会积聚在abs上，并损坏记录介质或导致存储在介质上的数据被擦除。因此，持续需要提供提高的粒子鲁棒性的滑块设计。

技术实现思路

1、本概述代表本发明的非限制性实施方案。

2、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，该滑块还包括：前缘表面；和面向介质的表面，该面向介质的表面包括多个表面，该多个表面包括：第一表面，其中该第一表面基本上垂直于该前缘表面，并且在该面向介质的表面的该多个表面中，该第一表面被构造成位于最靠近记录介质处；以及第二表面，该第二表面邻近该前缘表面且基本上垂直于该前缘表面，其中该第二表面从该第一表面凹进，其中该第二表面包括至少一个粗糙化特征，该至少一个粗糙化特征使得该第二表面的至少一部分具有比该第一表面更高的摩擦系数。在一些实施方案中，本文所描述的技术涉及一种包括该滑块和该记录介质的数据存储设备。在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种数据存储设备，该数据存储设备还包括：氦气，该氦气在该记录介质与该滑块之间，其中该数据存储设备被密封以防止该氦气从该数据存储设备的内部逸出。

3、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该至少一个粗糙化特征在该第二表面中每1000μm2包括至少6个孔。

4、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中每1000μm2至少6个孔中的每个孔具有至少2nm的深度。

5、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该第一表面与该第二表面之间的凹进距离在大约50nm与大约300nm之间。

6、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该至少一个粗糙化特征包括图案。

7、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案包括多个凹坑。

8、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案每1000μm2包括至少6个孔。

9、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该每1000μm2至少6个孔中的至少两个孔具有基本上相同的形状。

10、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中图案的至少一部分相对于该第二表面的深度为至少2nm。

11、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案包括棋盘格。

12、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案包括多个凹槽。

13、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案是不规则的。

14、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案的第一部分具有第一深度，且该图案的第二部分具有第二深度，其中该第一深度不同于该第二深度。

15、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，该滑块包括：前缘表面；非图案化表面，该非图案化表面基本上垂直于该前缘表面且从该前缘表面凹进；以及图案化表面，该图案化表面邻近且基本上垂直于该前缘表面，其中该图案化表面包括图案。在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种数据存储设备，该数据存储设备包括滑块和定位成面向该图案化表面和该非图案化表面的记录介质。在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种数据存储设备，该数据存储设备还包括：氦气，该氦气在该记录介质与该滑块之间，其中该数据存储设备被密封以防止该氦气从该数据存储设备的内部逸出。

16、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案每1000μm2包括至少6个孔。

17、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该每1000μm2至少6个孔中的至少两个孔具有基本上相同的形状。

18、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该每1000μm2至少6个孔中的至少一个孔的深度为至少2nm。

19、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案包括多个凹槽。

20、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案为棋盘格图案。

21、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，该滑块还包括：粒子捕获结构，该粒子捕获结构邻近该图案化表面，其中，在该非图案化表面和该图案化表面向上取向的取向中，该粒子捕获结构包括在该图案化表面下方延伸的至少一个空腔。

22、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该图案的最大深度在大约2nm与大约2μm之间，并且其中该至少一个空腔相对于该非图案化表面的深度为至少200nm。

23、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该滑块包括多个表面，该多个表面包括第一表面和第二表面，其中，在该滑块的空气轴承表面向上取向的取向中，该第二表面在该第一表面下方，并且其中该非图案化表面包括在该第一表面中，且该图案化表面包括在该第二表面中。

24、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种滑块，其中该第一表面与该第二表面之间的高度差在大约50nm与大约300nm之间。

25、在一些方面中，本文所描述的技术涉及一种制造包括图案化表面的滑块的方法，该方法包括：将掩模施加到晶片上，其中该掩模限定该图案；以及在该掩模处于适当位置时，执行离子铣削步骤以产生该图案。