玻璃板的清洗方法与流程

本发明涉及玻璃板的清洗方法。

背景技术：

1、近年来，关于液晶显示器、等离子体显示器、有机el显示器等平板显示器(fpd)，正在推进高精细化。与此相伴，在作为fpd用的基板而使用的玻璃板上通过fpd的制造工序而形成致密的电气电路。因此，对于这种玻璃板，要求未附有灰尘、污垢的高的洁净性。

2、该玻璃板的制造工序包括：切断工序，从玻璃原板切出规定尺寸的玻璃板；加工工序，对该切出的玻璃板的切断端面进行端面加工；及清洗工序，清洗玻璃板(例如参照专利文献1)。作为清洗玻璃板的方法，例如可举出通过将洗剂、纯水向玻璃板的表面供给而以冲洗玻璃板的表面的方式进行清洗的方法、利用一边与玻璃板的表面接触一边旋转的清洗盘刷来清洗被向规定方向搬运的玻璃板的方法(例如参照专利文献2)。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本国特开2017-100260号公报

6、专利文献2：日本国特开2017-14060号公报

7、发明所要解决的课题

8、然而，以往，实际情况是：玻璃板即使在清洗后，也在玻璃板附着有异物(颗粒)。近年来，伴随于显示器的高精细化，要求附着于玻璃板的颗粒量的进一步降低。

技术实现思路

1、因此，本发明的目的在于提供一种玻璃板的清洗方法，能够降低附着于清洗后的玻璃基板的颗粒的量。

2、用于解决课题的手段

3、本发明由下述结构构成。

4、一种玻璃板的清洗方法，在周围被包围的处理区域内一边向从上游侧去往下游侧的搬运方向搬运玻璃板一边清洗该玻璃板，其中，

5、在一般室侧的上游区域中进行针于所述玻璃板的上游侧的上游工序，

6、在洁净室侧的下游区域中进行针于所述玻璃板的下游侧的下游工序，

7、将所述洁净室侧的下游区域形成为比所述一般室侧的上游区域高的压力环境。

8、发明效果

9、根据本发明的玻璃板的清洗方法，能够降低附着于清洗后的玻璃基板的颗粒的量。

技术特征：

1.一种玻璃板的清洗方法，在周围被包围的处理区域内一边向从上游侧去往下游侧的搬运方向搬运玻璃板一边清洗该玻璃板，其中，

2.根据权利要求1所述的玻璃板的清洗方法，其中，

3.根据权利要求2所述的玻璃板的清洗方法，其中，

4.根据权利要求3所述的玻璃板的清洗方法，其中，

5.根据权利要求2所述的玻璃板的清洗方法，其中，

6.根据权利要求1所述的玻璃板的清洗方法，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的玻璃板的清洗方法，其中，

8.根据权利要求7所述的玻璃板的清洗方法，其中，

技术总结提供一种玻璃板的清洗方法，能够降低附着于清洗后的玻璃基板的颗粒的量。玻璃板的清洗方法在周围被包围的处理区域内一边向从上游侧去往下游侧的搬运方向X搬运玻璃板G一边清洗玻璃板G，其中，在一般室NR侧的上游区域Anr中进行针对玻璃板G的上游侧的上游工序，在洁净室CR侧的下游区域Acr中进行针对玻璃板G的下游侧的下游工序，使洁净室CR侧的下游区域Acr的压力PAcr比一般室NR侧的上游区域Anr的压力PAnr高。技术研发人员：横山哲史,红谷笃史,渡边翔太郎,堀江满,阿部修平受保护的技术使用者：AGC株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/1