电子气体分析的预处理装置的制作方法

本技术涉及电子气体，尤其涉及一种电子气体分析的预处理装置。

背景技术：

1、电子气体是半导体工业用的气体统称，对于液态的电子气体分析是需要通过汽化来实现的。汽化装置主要通过减压或者加热进行汽化，例如蒸气加热式汽化器，热水水浴式汽化器，自然通风空浴式气化器，强制通风式汽化器，电加热式汽化器。

2、现有大多数汽化装置对于进入的液体没有很好的控制，也不能够控制汽化量来实现不同工艺的需求，而且逐步汽化导致轻组分和重组分不能同时汽化，造成样品气体不均匀，检测准确度下降。专利cn217820206u公开了一种气相色谱分析仪用预处理装置，设置了一次阀和针阀，对进样量进行限流，但是针阀在管道置换抽真空后存在物料引入空气的风险，对于洁净度要求高的管道，这种方式不能满足分析要求。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种电子气体分析的预处理装置，能够控制进入汽化罐的液体流量，将液体连续完全汽化，汽化后的气体在汽化罐内均匀分布，在汽化罐后端设置分离罐，未完全汽化的微小液体在分离罐内分离，确保进入分析系统的样品是气体状态，增加样品分析的稳定性和准确性。

2、为实现此技术目的，本实用新型采用如下方案：

3、一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐和分离罐，其中，汽化罐下部设置有物料进口，物料进口分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，进料管线和高纯气体吹扫置换管线上分别设置有第二气动隔膜阀和第四气动隔膜阀，汽化罐上部设置物料出口，物料出口与分离罐连接，汽化罐和分离罐之间设置有第五气动隔膜阀，分离罐的气相出管与去色谱分析管路连接，气相出管上设置有调压阀，调压阀的前后端分别设置有第一压力传感器和第二压力传感器，去色谱分析管路上设置有第二手动隔膜阀、气体过滤器和第六气动隔膜阀。

4、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

5、本实用新型电子气体分析的预处理装置能够控制进入汽化装置的液体进量，将液体连续完全汽化，汽化罐设有一定的体积，汽化后的气体能够在汽化罐内均匀分布，在汽化器后端设置分离罐，未完全汽化的微小液体在分离罐内分离，确保进入分析系统的样品是气体状态，增加了色谱分析的稳定性和准确性。整个装置为密闭状态，能够很好的避免样品接触空气发生反应或引入其他的杂质。

6、进一步地，进料管线上还设置有第一气动隔膜阀和流量调节阀。

7、进一步地，流量调节阀为针阀或限流孔板。

8、进一步地，高纯气体吹扫置换管线上设置有第一手动隔膜阀和第一单向阀，高纯气体吹扫置换管线与进料管线之间设置有连接管，连接管上设置有第三气动隔膜阀，连接管设置在第二气动隔膜阀和第四气动隔膜阀的前端。

9、进一步地，气相出管连接有尾气排出管路，尾气排出管路上设置有第二单向阀、第三手动隔膜阀和第七气动隔膜阀。

10、进一步地，气相出管连接有抽真空管路，抽真空管路上设置有第四手动隔膜阀、第八气动隔膜阀和抽真空同心大小头。

11、进一步地，汽化罐、分离罐以及所有管线上均设置有伴热线，伴热线连接有伴热控制系统，确保整个分析系统的气相状态，防止汽化后样品遇冷再次液化，影响分析稳定性。

技术特征：

1.一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐（1）和分离罐（2），其特征在于，汽化罐（1）下部设置有物料进口，物料进口分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，进料管线和高纯气体吹扫置换管线上分别设置有第二气动隔膜阀（5）和第四气动隔膜阀（9），汽化罐（1）上部设置物料出口，物料出口与分离罐（2）连接，汽化罐（1）和分离罐（2）之间设置有第五气动隔膜阀（10），分离罐（2）的气相出管（26）与去色谱分析管路（23）连接，气相出管（26）上设置有调压阀（12），调压阀（12）的前后端分别设置有第一压力传感器（11）和第二压力传感器（13），去色谱分析管路（23）上设置有第二手动隔膜阀（14）、气体过滤器（15）和第六气动隔膜阀（16）。

2.根据权利要求1所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，进料管线上还设置有第一气动隔膜阀（3）和流量调节阀（4）。

3.根据权利要求2所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，流量调节阀（4）为针阀或限流孔板。

4.根据权利要求1所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，高纯气体吹扫置换管线上设置有第一手动隔膜阀（7）和第一单向阀（8），高纯气体吹扫置换管线与进料管线之间设置有连接管，连接管上设置有第三气动隔膜阀（6），连接管设置在第二气动隔膜阀（5）和第四气动隔膜阀（9）的前端。

5.根据权利要求1所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，气相出管（26）连接有尾气排出管路（24），尾气排出管路（24）上设置有第二单向阀（17）、第三手动隔膜阀（19）和第七气动隔膜阀（18）。

6.根据权利要求5所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，气相出管（26）连接有抽真空管路（25），抽真空管路（25）上设置有第四手动隔膜阀（20）、第八气动隔膜阀（21）和抽真空同心大小头（22）。

7.根据权利要求1所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，汽化罐（1）、分离罐（2）以及所有管线上均设置有伴热线，伴热线连接有伴热控制系统。

技术总结本技术公开一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐和分离罐，汽化罐下部分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，管线上设置气动隔膜阀，汽化罐上部与分离罐连接，汽化罐和分离罐之间设置有气动隔膜阀，分离罐的气相出管与去色谱分析管路连接，气相出管上设置有调压阀，调压阀的前后端均设置有压力传感器，去色谱分析管路上设置有手动隔膜阀、气体过滤器和气动隔膜阀。与现有技术相比，本技术电子气体分析的预处理装置能够控制液体的进量，将液体连续完全汽化，并在汽化罐内均匀分布，在汽化器后端设置分离罐，未完全汽化的微小液体在分离罐内分离，确保进入分析系统的样品是气体状态，增加了色谱分析的稳定性和准确性。技术研发人员：周晓咪,李宁宁,石敬梅受保护的技术使用者：唐山三孚电子材料有限公司技术研发日：20231213技术公布日：2024/8/5