一种热处理设备用晶圆片承载装置的制作方法

本技术涉及晶圆片加工，具体为一种热处理设备用晶圆片承载装置。

背景技术：

1、在晶圆片的加工工艺中，需要用到热处理设备对其进行热处理，就是在热处理炉内配设有能够承载晶圆片的基座，并对承载于该基座的晶圆片进行热处理，但是现有热处理设备都是单片式的，只能一片一片操作，因此大大降低了生产效率；

2、另外，国内晶圆片主要分为8英寸和12英寸两种，为了适应不同尺寸晶圆片的加工需要，一般都会准备两种尺寸的承载基座，从而增加了企业对于承载装置方面的投入成本。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种热处理设备用晶圆片承载装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种热处理设备用晶圆片承载装置，包括框架，所述框架内设有多个承载机构，所述承载机构包括两个第一气缸，两个所述第一气缸分别固定于框架的两侧内壁上，每个所述第一气缸的活塞杆均连接着弧形夹臂，所述弧形夹臂上设有多个第一真空吸嘴，所述弧形夹臂的边缘还设有硅胶防撞垫，所述弧形夹臂的侧边还设有探针。

3、优选的，所述框架的下方还设有一根横梁，所述横梁上设有多个托盘机构，多个所述托盘机构与多个所述承载机构的数量是匹配的；

4、优选的，所述托盘机构包括第二气缸，所述第二气缸固定于横梁上，所述第二气缸的活塞杆连接托盘，所述托盘位于两个弧形夹臂之间，所述托盘上设有第二真空吸嘴。

5、优选的，所述框架设置于热处理设备的进出料口处，所述进出料口的两侧设有液压杆，所述液压杆连接至框架的外边框处。

6、优选的，所述外边框的内侧边缘设有密封圈。

7、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，通过设置多个承载机构，来同时对承载机构上的晶圆片进行热处理，从而大大提高了生产效率；

8、特设的承载机构可以通过两侧的第一气缸的伸缩，来调整两侧弧形夹臂的间距，从而可以匹配不同尺寸的晶圆片，从而降低了企业投入成本。

技术特征：

1.一种热处理设备用晶圆片承载装置，包括框架（1），其特征在于：所述框架（1）内设有多个承载机构（2），所述承载机构（2）包括两个第一气缸（21），两个所述第一气缸（21）分别固定于框架（1）的两侧内壁上，每个所述第一气缸（21）的活塞杆均连接着弧形夹臂（22），所述弧形夹臂（22）上设有多个第一真空吸嘴（23），所述弧形夹臂（22）的边缘还设有硅胶防撞垫（24），所述弧形夹臂（22）的侧边还设有探针（25）。

2.根据权利要求1所述的一种热处理设备用晶圆片承载装置，其特征在于：所述框架（1）的下方还设有一根横梁（11），所述横梁（11）上设有多个托盘机构（3），多个所述托盘机构（3）与多个所述承载机构（2）的数量是匹配的。

3.根据权利要求2所述的一种热处理设备用晶圆片承载装置，其特征在于：所述托盘机构（3）包括第二气缸（31），所述第二气缸（31）固定于横梁（11）上，所述第二气缸（31）的活塞杆连接托盘（32），所述托盘（32）位于两个弧形夹臂（22）之间，所述托盘（32）上设有第二真空吸嘴（33）。

4.根据权利要求1所述的一种热处理设备用晶圆片承载装置，其特征在于：所述框架（1）设置于热处理设备（4）的进出料口（41）处，所述进出料口（41）的两侧设有液压杆（42），所述液压杆（42）连接至框架（1）的外边框（12）处。

5.根据权利要求4所述的一种热处理设备用晶圆片承载装置，其特征在于：所述外边框（12）的内侧边缘设有密封圈（13）。

技术总结本技术公开了一种热处理设备用晶圆片承载装置，包括框架，所述框架内设有多个承载机构，所述承载机构包括两个第一气缸，两个所述第一气缸分别固定于框架的两侧内壁上，每个所述第一气缸的活塞杆均连接着弧形夹臂，所述弧形夹臂上设有多个第一真空吸嘴，所述弧形夹臂的边缘还设有硅胶防撞垫，所述弧形夹臂的侧边还设有探针，本技术结构简单，设计新颖，通过设置多个承载机构，来同时对承载机构上的晶圆片进行热处理，从而大大提高了生产效率。技术研发人员：顾少俊,黄柱龙,余珺受保护的技术使用者：鑫德斯特电子设备（安徽）有限公司技术研发日：20231124技术公布日：2024/9/19