一种玻璃晶圆抓取机械手的制作方法

本技术涉及自动化仪器仪表检测领域，具体地说是一种玻璃晶圆抓取机械手。

背景技术：

1、在光学玻璃制造加工领域中，需要对玻璃晶圆进行搬运取放等操作，传统的晶圆机械手由于其结构复杂，不易于操作，而且价格较高，性价比不高。所以需要开发一种结构简单，成本较低的玻璃晶圆抓取机械手。

技术实现思路

1、为了解决以上问题，本实用新型提供了一种玻璃晶圆抓取机械手。

2、本实用新型的技术方案是:一种玻璃晶圆抓取机械手，包括升降模组、旋转平台、直线模组和抓取机械手，所述直线模组与升降模组之间通过旋转平台可转动的连接，所述的抓取机械手设于所述直线模组的末端，所述的抓取机械手包括容纳玻璃晶圆的晶圆容纳位以及限制玻璃晶圆移动的晶圆夹具限位台。

3、优选的，所述的升降模组为伺服电机电动缸，升降模组的上端外部设有安装板，所述的旋转平台包括旋转平台底座、旋转平台输出端和旋转驱动电机，所述的直线模组为直线电机模组，包括直线导轨、直线模组的输出端，所述的直线模组的输出端可沿所述直线导轨来回滑动，所述的旋转平台底座与所述的升降模组的输出端固定连接，所述的旋转平台输出端与所述的直线导轨固定连接，所述旋转驱动电机，驱动所述的旋转平台输出端带动所述的直线导轨转动。

4、优选的，所述的抓取机械手包括安装铝基板、晶圆夹具底板和夹具限位台，所述的安装铝基板与所述直线模组的输出端固定连接，所述的晶圆夹具底板的一端与安装铝基板的自由端固定连接，所述晶圆夹具底板的另一端为容纳玻璃晶圆的晶圆容纳位。

5、作为进一步优选的，所述的晶圆夹具底板呈y字型，一端为直线状，另一端为叉开状，直线状的一端与所述的安装铝基板固定连接，叉开状的一端为容纳玻璃晶圆的晶圆容纳位。

6、作为更进一步优选的，所述的晶圆容纳位由至少四个夹具限位台围绕而成，四个夹具限位台呈左右相互对撑结构，其中一组夹具限位台设于晶圆夹具底板的叉开状的一端的两个端部，另一组夹具限位台设于晶圆夹具底板的直线状的一端。

7、作为再进一步优选的，所述的晶圆夹具底板上，位于晶圆容纳位的中部为中空结构。

8、作为更进一步优选的，所述的夹具限位台呈台阶状，包括上台阶和下台阶，下台阶为玻璃晶圆支撑台面，用于支撑玻璃晶圆，上台阶为玻璃晶圆限位台阶，限制玻璃晶圆发生位移，玻璃晶圆放置于晶圆容纳位上之后，玻璃晶圆与晶圆夹具底板之间留有间隙。

9、作为进一步优选的，所述的晶圆夹具底板采用航空铝或者陶瓷制成，厚度为3mm以下。

10、本实用新型的有益效果为：本实用新型提供了主要提供了z轴、r轴、x轴的运动方式，能够满足晶圆的取放料操作,且简单易于编程，大幅度降低了成本。

技术特征：

1.一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于包括升降模组(7)、旋转平台(5)、直线模组(4)和抓取机械手，所述直线模组(4)与升降模组(7)之间通过旋转平台(5)可转动的连接，所述的抓取机械手设于所述直线模组(4)的末端，所述的抓取机械手包括容纳玻璃晶圆(1)的晶圆容纳位(10)以及限制玻璃晶圆(1)移动的晶圆夹具限位台(8)。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的升降模组(7)为伺服电机电动缸，升降模组(7)的上端外部设有安装板(6)，所述的旋转平台(5)包括旋转平台底座(52)、旋转平台输出端(51)和旋转驱动电机(53)，所述的直线模组(4)为直线电机模组，包括直线导轨(42)、直线模组的输出端(41)，所述的直线模组的输出端(41)可沿所述直线导轨(42)来回滑动，所述的旋转平台底座(52)与所述的升降模组的输出端(71)固定连接，所述的旋转平台输出端(51)与所述的直线导轨(42)固定连接，所述旋转驱动电机(53)，驱动所述的旋转平台输出端(51)带动所述的直线导轨(42)转动。

3.根据权利要求2所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的抓取机械手包括安装铝基板(3)、晶圆夹具底板(2)和夹具限位台(8)，所述的安装铝基板(3)与所述直线模组的输出端(41)固定连接，所述的晶圆夹具底板(2)的一端与安装铝基板(3)的自由端固定连接，所述晶圆夹具底板(2)的另一端为容纳玻璃晶圆(1)的晶圆容纳位(10)。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的晶圆夹具底板(2)呈y字型，一端为直线状，另一端为叉开状，直线状的一端与所述的安装铝基板(3)固定连接，叉开状的一端为容纳玻璃晶圆(1)的晶圆容纳位(10)。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的晶圆容纳位(10)由至少四个夹具限位台(8)围绕而成，四个夹具限位台(8)呈左右相互对撑结构，其中一组夹具限位台(8)设于晶圆夹具底板(2)的叉开状的一端的两个端部，另一组夹具限位台(8)设于晶圆夹具底板(2)的直线状的一端。

6.根据权利要求5所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的晶圆夹具底板(2)上，位于晶圆容纳位(10)的中部为中空结构(9)。

7.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的夹具限位台(8)呈台阶状，包括上台阶(81)和下台阶(82)，下台阶(82)为玻璃晶圆(1)支撑台面，用于支撑玻璃晶圆(1)，上台阶(81)为玻璃晶圆限位台阶，限制玻璃晶圆(1)发生位移，玻璃晶圆(1)放置于晶圆容纳位(10)上之后，玻璃晶圆(1)与晶圆夹具底板(2)之间留有间隙。

8.根据权利要求3所述的一种玻璃晶圆抓取机械手，其特征在于所述的晶圆夹具底板(2)采用航空铝或者陶瓷制成，厚度为3mm以下。

技术总结一种玻璃晶圆抓取机械手，包括升降模组、旋转平台、直线模组和抓取机械手，所述直线模组与升降模组之间通过旋转平台可转动的连接，所述的抓取机械手设于所述直线模组的末端，所述的抓取机械手包括容纳玻璃晶圆的晶圆容纳位以及限制玻璃晶圆移动的晶圆夹具限位台。本技术提供了主要提供了Z轴、R轴、X轴的运动方式，能够满足晶圆的取放料操作,且简单易于编程，大幅度降低了成本。技术研发人员：陈跃华,王建国,卜志超,余本成,陈时兴受保护的技术使用者：嘉兴海盛电子有限公司技术研发日：20240201技术公布日：2024/9/19