旋转臂及半导体检测设备的制作方法

本申请属于半导体制造，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。

背景技术：

1、晶圆是用来制造集成电路的基础材料，旋转臂在晶圆制造过程中有着广泛的应用。具体在晶圆搬运、定位、数据检测及采集等工艺步骤中均有应用。

2、为确保产品一致性和质量，对关键步骤的准确性要求越来越高，相应地，对旋转臂的精度提出了较高要求。

3、需要说明的是，由于零部件加工精度、装配工艺、装配人员技术水平等因素的影响，均会导致不同的旋转臂存在略微的差异，将工具与旋转臂装配后并应用于相应的设备上时，会导致工具的位置略有差异。

4、在晶圆制造过程中，对旋转臂的精度要求越来越高，现有旋转臂难以满足要求。

技术实现思路

1、本申请提供了一种旋转臂及半导体检测设备，以解决现有旋转臂难以补偿装误差的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种旋转臂，包括旋转结构、调节结构及套筒结构；旋转结构穿设于套筒结构并用于连接工具，旋转结构能够带动工具转动；调节结构环绕旋转结构布置并设置于套筒结构远离工具的一侧，调节结构用于多方向调节旋转结构的位置以带动工具改变位置。

3、在本申请可选的方案中，调节结构包括第一调节结构；第一调节结构设置于套筒结构并将旋转结构连接于套筒结构，第一调节结构用于在套筒结构的轴向上调节旋转结构的位置。

4、在本申请可选的方案中，调节结构还包括第二调节结构；第二调节结构设置于套筒结构并位于第一调节结构的周向外侧，第二调节结构用于在套筒结构的径向上调节旋转结构的位置。

5、在本申请可选的方案中，第一调节结构包括多个调节顶固模块，多个调节顶固模块沿套筒结构的周向间隔设置；各调节顶固模块包括紧固连接组件及第一顶接组件，紧固连接组件用于连接旋转结构与套筒结构；第一顶接组件连接于旋转结构并抵接于套筒结构，第一顶接组件用于在套筒结构的轴向上调节旋转结构的位置。

6、在本申请可选的方案中，第二调节结构包括连接环及多个第二顶接组件；连接环连接于套筒结构，多个第二顶接组件连接于连接环并抵接于旋转结构；多个第二顶接组件沿连接环的周向间隔设置，并用于在套筒结构的径向上调节旋转结构的位置。

7、在本申请可选的方案中，旋转结构包括驱动件、支撑架、传动轴机构及承载臂；驱动件及传动轴机构在套筒结构的轴向上分别设置于支撑架的相对两侧，支撑架通过调节结构连接于套筒结构；传动轴机构的至少部分位于套筒结构内，传动轴机构的输入端及输出端均伸出于套筒结构外；驱动件及承载臂分别连接于传动轴机构的输入端及输出端，工具连接于承载臂；驱动件驱动传动轴机构带动承载臂转动。

8、在本申请可选的方案中，旋转结构还包括定位模块，定位模块设置于支撑架并用于确定承载臂的转动位置。

9、在本申请可选的方案中，支撑架包括转接法兰、支撑板及多个支撑轴，驱动件设置于支撑板；多个支撑轴沿转接法兰的周向间隔设置，各支撑轴的一端连接于支撑板，另一端穿过转接法兰连接于传动轴机构，以将转接法兰与传动轴机构拼接；转接法兰通过调节结构连接于套筒结构，调节结构能够作用于转接法兰以调节位置。

10、在本申请可选的方案中，套筒结构包括安装法兰、形变套管及密封盘；安装法兰及密封盘分别设置于形变套管的两端，调节结构设置于安装法兰；形变套管能够在旋转结构的带动下发生形变。

11、根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，包括上述的旋转臂。

12、综上所述，本申请提供的旋转臂及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

13、在本申请提供的旋转臂由旋转结构、调节结构及套筒结构构成，旋转结构用于提供转动自由度且能够穿过套筒结构，工具在旋转结构的驱动下具备转动自由度，从而切换作业位置。

14、特别地，调节结构具备多个方向上的调节自由度，以微调旋转结构的位置，进而补偿因机械结构、装配条件等因素引起的误差，确保工具处于合适的作业位置。

技术特征：

1.一种旋转臂，其特征在于，包括旋转结构(100)、调节结构(200)及套筒结构(300)；

2.根据权利要求1所述的旋转臂，其特征在于，所述调节结构(200)包括第一调节结构(210)；

3.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，所述调节结构(200)还包括第二调节结构(220)；

4.根据权利要求2所述的旋转臂，其特征在于，所述第一调节结构(210)包括多个调节顶固模块(21a)，多个所述调节顶固模块(21a)沿所述套筒结构(300)的周向间隔设置；

5.根据权利要求3所述的旋转臂，其特征在于，所述第二调节结构(220)包括连接环(221)及多个第二顶接组件(222)；

6.根据权利要求1所述的旋转臂，其特征在于，所述旋转结构(100)包括驱动件(110)、支撑架(120)、传动轴机构(130)及承载臂(140)；

7.根据权利要求6所述的旋转臂，其特征在于，所述旋转结构(100)还包括定位模块(150)，所述定位模块(150)设置于所述支撑架(120)并用于确定所述承载臂(140)的转动位置。

8.根据权利要求6所述的旋转臂，其特征在于，所述支撑架(120)包括转接法兰(121)、支撑板(122)及多个支撑轴(123)，所述驱动件(110)设置于所述支撑板(122)；

9.根据权利要求1所述的旋转臂，其特征在于，所述套筒结构(300)包括安装法兰(310)、形变套管(320)及密封盘(330)；

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括根据权利要求1至9中任一项所述的旋转臂(1000)。

技术总结本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种旋转臂及半导体检测设备。该旋转臂包括旋转结构、调节结构及套筒结构；旋转结构穿设于套筒结构并用于连接工具，旋转结构能够带动工具转动；调节结构环绕旋转结构布置并设置于套筒结构远离工具的一侧，调节结构用于多方向调节旋转结构的位置以带动工具改变位置。其中，调节结构具备多个方向上的调节自由度，以微调旋转结构的位置，进而补偿因机械结构、装配条件等因素引起的误差，确保工具处于合适的作业位置。技术研发人员：战东北,郝琪受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司技术研发日：20240229技术公布日：2024/9/19