一种用于半导体晶片的探针测试装置的制作方法

本技术涉及探针测试，具体涉及一种用于半导体晶片的探针测试装置。

背景技术：

1、探针测试仪是电子加工厂中针对半导体晶片进行测试的设备，可对半导体晶片的电阻率等性能进行检测，从而可检测出生产的产品是否合格，是电子加工厂中重要的测试设备。

2、现有技术中，如中国专利公告号为：cn208984755u的一种半导体晶片加工及对晶片进行探针测试的装置，包括半导体晶片检测装置，所述半导体晶片检测装置上靠近其底部的两侧开设有第一斜面。本实用新型通过设置移动块、滚珠和放置块，当需要移动半导体晶片检测装置时，转动螺纹杆驱动与其螺纹连接的两个移动块做相离运动，使移动块沿着半导体晶片检测装置的两侧滑动到与地面接触，然后反向转动螺纹杆，通过螺纹杆将两个移动块相向运动，将半导体晶片检测装置和放置块抬起，从而方便移动半导体晶片检测装置；将移动块复位即可，使滚珠悬空，半导体晶片检测装置通过放置块稳定地放置在地面上，达到了移动到合适位置后稳定放置半导体晶片检测装置的效果。

3、但现有技术中，传统的半导体晶片的探针测试装置在使用的过程中，测试仪的位置无法进行调整，影响设备使用效果，不便于不同身高人员对测试仪的使用，降低了设备的工作效率。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于半导体晶片的探针测试装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有导轨，所述导轨的内表面滑动连接有移动架，所述移动架的外表面固定连接有滚珠，所述滚珠的外表面与导轨的内表面滑动连接，所述导轨的顶部设置有调节装置，所述调节装置的外表面与移动架的外表面固定连接，所述调节装置的外表面固定连接有测试仪，所述测试仪的外表面固定连接有检测装置，将滚珠在底座上的导轨滑行，通过移动架改变调节装置上的测试仪的位置，先将半导体晶片放置在检测台上。

2、优选的，所述检测装置包括固定板，所述固定板的外表面与测试仪的外表面固定连接，所述固定板的上表面固定连接有检测台，所述检测台的内表面滑动连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的外表面固定连接有夹板，所述夹板的外表面与检测台的内表面滑动连接，检测装置上的晶片挤压两侧的夹板，夹板使检测台的压缩弹簧发生挤压，固定板上的夹板相对于晶片发生相向运动，对晶片的两侧进行夹持固定。

3、优选的，所述调节装置包括转动杆，所述转动杆的外表面转动连接有移动杆，所述转动杆的外部设置有锥形柱，所述移动杆的外表面与锥形柱的内表面滑动连接，通过设置调节装置，当需要对测试仪的高度进行调节时，拉动转动杆，转动杆会带动移动杆。

4、优选的，所述锥形柱的外表面固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的外部设置有定位杆，所述定位杆的外表面与锥形柱的外表面滑动连接，所述锥形柱的外表面固定连接有限位筒，所述限位筒的内表面与定位杆的外表面滑动连接，转动杆会带动移动杆上的锥形柱在配合块的内部滑动，使锥形柱上的伸缩弹簧发生压缩。

5、优选的，所述转动杆的外表面与定位杆的外表面固定连接，所述定位杆的外表面滑动连接有收缩弹簧，所述收缩弹簧的外表面与转动杆的外表面固定连接，转动杆带动定位杆在锥形柱上的限位筒上滑动，定位杆使锥形柱进入到锥形槽内进行复位，通过收缩弹簧对定位杆进行复位。

6、优选的，所述移动杆的外表面滑动连接有配合块，所述配合块的外表面与移动架的外表面固定连接，所述定位杆的外表面与配合块的内表面滑动连接，所述配合块的外表面固定连接有升降板，所述测试仪的外表面固定连接有支撑板，所述支撑板的壁中开设有锥形槽，所述锥形槽的内表面与锥形柱的外表面相接触，所述支撑板的壁中开设有滑槽，所述滑槽内表面与升降板的外表面滑动连接，锥形柱从锥形槽的内壁抽出时，可使升降板在支撑板上的滑槽内滑动，将支撑板滑动至人员需要的位置后，松开转动杆，锥形柱对受到伸缩弹簧的弹力作用下，使锥形柱卡进支撑板上对应的锥形槽的内壁。

7、本实用新型的有益效果如下：

8、1.本实用新型通过设置调节装置，拉动转动杆，转动杆会带动移动杆上的锥形柱在配合块的内部滑动，使锥形柱上的伸缩弹簧发生压缩，当锥形柱从锥形槽的内壁抽出时，可使升降板在支撑板上的滑槽内滑动，将支撑板滑动至人员需要的位置后，松开转动杆，锥形柱对受到伸缩弹簧的弹力作用下，使锥形柱推进支撑板上对应的锥形槽的内壁，转动杆带动定位杆在锥形柱上的限位筒上滑动，定位杆使锥形柱进入到锥形槽内进行复位，从而完成了对于支撑板位置调节后的固定，同样可滑动测试仪另一侧的支撑板位置进行调节，进一步完成了对于测试仪高度的调节，方便了不同身高工作人员对于测试仪的使用，提高了设备的工作效率。

9、2.本实用新型通过设置检测装置，将滚珠在底座上的导轨滑行，通过移动架改变调节装置上的测试仪的位置，先将半导体晶片放置在检测台上，检测装置上的晶片挤压两侧的夹板，夹板使检测台的压缩弹簧发生挤压，固定板上的夹板相对于晶片发生相向运动，对晶片的两侧进行夹持固定，防止在检测时晶片发生偏移，避免影响设备的检测效果，促进设备的工作效果。

技术特征：

1.一种用于半导体晶片的探针测试装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有导轨(2)，所述导轨(2)的内表面滑动连接有移动架(3)，所述移动架(3)的外表面固定连接有滚珠(31)，所述滚珠(31)的外表面与导轨(2)的内表面滑动连接，所述导轨(2)的顶部设置有调节装置(4)，所述调节装置(4)的外表面与移动架(3)的外表面固定连接，所述调节装置(4)的外表面固定连接有测试仪(5)，所述测试仪(5)的外表面固定连接有检测装置(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片的探针测试装置，其特征在于：所述检测装置(6)包括固定板(7)，所述固定板(7)的外表面与测试仪(5)的外表面固定连接，所述固定板(7)的上表面固定连接有检测台(8)，所述检测台(8)的内表面滑动连接有压缩弹簧(9)，所述压缩弹簧(9)的外表面固定连接有夹板(10)，所述夹板(10)的外表面与检测台(8)的内表面滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片的探针测试装置，其特征在于：所述调节装置(4)包括转动杆(11)，所述转动杆(11)的外表面转动连接有移动杆(12)，所述转动杆(11)的外部设置有锥形柱(13)，所述移动杆(12)的外表面与锥形柱(13)的内表面滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶片的探针测试装置，其特征在于：所述锥形柱(13)的外表面固定连接有伸缩弹簧(14)，所述伸缩弹簧(14)的外部设置有定位杆(15)，所述定位杆(15)的外表面与锥形柱(13)的外表面滑动连接，所述锥形柱(13)的外表面固定连接有限位筒(151)，所述限位筒(151)的内表面与定位杆(15)的外表面滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于半导体晶片的探针测试装置，其特征在于：所述转动杆(11)的外表面与定位杆(15)的外表面固定连接，所述定位杆(15)的外表面滑动连接有收缩弹簧(16)，所述收缩弹簧(16)的外表面与转动杆(11)的外表面固定连接。

6.根据权利要求4所述的一种用于半导体晶片的探针测试装置，其特征在于：所述移动杆(12)的外表面滑动连接有配合块(19)，所述配合块(19)的外表面与移动架(3)的外表面固定连接，所述定位杆(15)的外表面与配合块(19)的内表面滑动连接，所述配合块(19)的外表面固定连接有升降板(20)，所述测试仪(5)的外表面固定连接有支撑板(17)，所述支撑板(17)的壁中开设有锥形槽(18)，所述锥形槽(18)的内表面与锥形柱(13)的外表面相接触，所述支撑板(17)的壁中开设有滑槽(21)，所述滑槽(21)内表面与升降板(20)的外表面滑动连接。

技术总结本技术公开了一种用于半导体晶片的探针测试装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有导轨，所述调节装置的外表面固定连接有测试仪，所述测试仪的外表面固定连接有检测装置，本技术涉及探针测试技术领域。该装置新型通过设置调节装置，拉动转动杆，转动杆会带动移动杆上的锥形柱在配合块的内部滑动，当锥形柱从锥形槽的内壁抽出时，可使升降板在支撑板上的滑槽内滑动，将支撑板滑动至人员需要的位置后，松开转动杆，锥形柱对受到伸缩弹簧的弹力作用下，使锥形柱卡进支撑板上对应的锥形槽的内壁，定位杆使锥形柱进入到锥形槽内进行复位，从而完成了对于支撑板位置调节后的固定，达到了测试目的。技术研发人员：张岩,许宾宾受保护的技术使用者：昆山君治电子有限公司技术研发日：20231204技术公布日：2024/9/19