一种流体导轨超精度滑台体组合结构的制作方法

本发明属于滑台设备，具体涉及一种流体导轨超精度滑台体组合结构。

背景技术：

1、现有的滑台体组合部件有齿轮齿条结构、丝杆传动结构、链条带动结构、气缸推动结构和皮带带动结构，但这些都存在着热变形的问题，同时设置零点位置尺寸误差较大，最高只能满足大于0.02mm，并且导轨一般采用的是直线导轨或镶钢导轨，存在零件组合误差，无法保证导轨直线度，不能满足高精度零件尺寸要求。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对上述问题，提供一种流体导轨超精度滑台体组合结构。

2、为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种流体导轨超精度滑台体组合结构，包括下滑台座，所述的下滑台座上端水平滑动设有上滑台座，所述的上滑台座和下滑台座之间形成静压导轨滑台组件，所述的上滑台座和下滑台座之间设有能驱动上滑台座沿下滑台座轴向水平滑动的直线电机驱动组件，且所述的上滑台座通过滑动导向结构与下滑台座相连。上滑台座与下滑台座通过直线电机驱动组件进行驱动，同时上滑台座通过滑动导向结构在下滑台座上移动，并且采用静压导轨，刚性强，直线度能够得到保证。

3、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的上滑台座和下滑台座之间通过静压导轨滑动相连，且所述的上滑台座、下滑台座和静压导轨之间共同构成上述静压导轨滑台组件。

4、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的直线电机驱动组件具有电机定子和电机动子，所述的电机定子沿下滑台座上侧轴向水平延伸设置，所述的电机动子固定设置在上滑台座下侧。

5、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的静压导轨形成于电机定子和电机动子之间，所述的电机定子和电机动子之间具有静压导轨间隙，且所述的静压导轨为液体静压导轨或气体静压导轨。静压导轨间隙将电机定子和电机动子的表面隔开，实现移动摩擦。

6、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的上滑台座一端下侧具有轴向向内凹陷的动子安装槽，所述的电机动子设置于动子安装槽内，所述的电机动子厚度等于或小于动子安装槽深度，所述的下滑台座一端上侧具有轴向向内凹陷的定子安装槽，所述的电机定子设置于定子安装槽内，且所述的上滑台座上设有滑动辅助结构。上滑台座用于带着电机动子移动，下滑台座用于固定电机定子。

7、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的电机动子一端设有电源连接头，所述的电源连接头一端竖向设有气体连接头和液压连接头，所述的电机动子下端设有若干与气体连接头和液压连接头相连的连接孔。

8、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的滑动辅助结构包括若干分别设置于上滑台座一端两侧的第一通孔，所述的第一通孔依次竖向设置，所述的第一通孔沿上滑台座长度方向轴向贯穿，所述的上滑台座两侧两端分别设有若干竖向设置第二通孔，且所述的第二通孔分别与第一通孔一一对应且垂直相通。第一通孔与第二通孔可以减小上滑台座移动时的阻力。

9、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的滑动导向结构包括分别设置于上滑台座两侧且朝向下滑台座两侧延伸设置的滑动部，所述的滑动部沿上滑台座轴向延伸设置，且所述的滑动部通过滑动导向组件与下滑台座滑动相连。

10、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的滑动导向组件包括设置在下滑台座两侧且轴向延伸设置的竖直部，所述的竖直部上端分别设有朝内延伸设置的压条部，所述的压条部远离竖直部一端面与上滑台座上端两侧相贴合，且所述的压条部与竖直部之间具有滑动槽，所述的滑动部轴向设置于滑动槽内。压条部起到一定的导向限位的作用，避免上滑台座与下滑台座发生分离。

11、在上述的一种流体导轨超精度滑台组合结构中，所述的动子安装槽一侧设有轴向贯穿的第一测量槽，所述的定子安装槽一侧设有与第一测量槽相对应的第二测量槽，所述的第一测量槽内设有精密尺件，所述的精密尺件下端连接有位于第二测量槽内的位移传感器，所述的位移传感器与下滑台座固定相连。精密尺件为球栅尺、磁栅尺、光栅尺和时栅尺中任意一种，配合着位移传感器来提高位移精度。

12、与现有的技术相比，本发明的优点在于：

13、1.该装置采用静压导轨滑台组件和直线电机驱动组件，下滑台座上安装电机定子，上滑台托盘上安装电机动子，电机定子固定，电机动子移动，同时配合着精密尺件和位移传感器使得位移精度高，也解决了设置零点位置尺寸误差大的问题，并且定位精度控制在0.0015mm/300mm内。

14、2.该装置采用静压导轨刚性强，间隙零误差，滑台直线度小于0.001mm/500mm，能够满足高精度零件尺寸的要求。

技术特征：

1.一种流体导轨超精度滑台体组合结构，包括下滑台座(1)，所述的下滑台座(1)上端水平滑动设有上滑台座(2)，其特征在于，所述的上滑台座(2)和下滑台座(1)之间形成静压导轨滑台组件(3)，所述的上滑台座(2)和下滑台座(1)之间设有能驱动上滑台座(2)沿下滑台座(1)轴向水平滑动的直线电机驱动组件(4)，且所述的上滑台座(2)通过滑动导向结构(5)与下滑台座(1)相连。

2.根据权利要求1所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的上滑台座(2)和下滑台座(1)之间通过静压导轨滑动相连，且所述的上滑台座(2)、下滑台座(1)和静压导轨之间共同构成上述静压导轨滑台组件(3)。

3.根据权利要求2所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的直线电机驱动组件(4)具有电机定子(41)和电机动子(42)，所述的电机定子(41)沿下滑台座(1)上侧轴向水平延伸设置，所述的电机动子(42)固定设置在上滑台座(2)下侧。

4.根据权利要求3所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的静压导轨形成于电机定子(41)和电机动子(42)之间，所述的电机定子(41)和电机动子(42)之间具有静压导轨间隙(43)，且所述的静压导轨为液体静压导轨或气体静压导轨。

5.根据权利要求3或4所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的上滑台座(2)一端下侧具有轴向向内凹陷的动子安装槽(21)，所述的电机动子(42)设置于动子安装槽(21)内，所述的电机动子(42)厚度等于或小于动子安装槽(21)深度，所述的下滑台座(1)一端上侧具有轴向向内凹陷的定子安装槽(11)，所述的电机定子(41)设置于定子安装槽(11)内，且所述的上滑台座(2)上设有滑动辅助结构(6)。

6.根据权利要求5所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的电机动子(42)一端设有电源连接头(44)，所述的电源连接头(44)一端竖向设有气体连接头(45)和液压连接头(46)，所述的电机动子(42)下端设有若干与气体连接头(45)和液压连接头(46)相连的连接孔(47)。

7.根据权利要求6所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的滑动辅助结构(6)包括若干分别设置于上滑台座(2)一端两侧的第一通孔(61)，所述的第一通孔(61)依次竖向设置，所述的第一通孔(61)沿上滑台座(2)长度方向轴向贯穿，所述的上滑台座(2)两侧两端分别设有若干竖向设置第二通孔(62)，且所述的第二通孔(62)分别与第一通孔(61)一一对应且垂直相通。

8.根据权利要求1所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的滑动导向结构(5)包括分别设置于上滑台座(2)两侧且朝向下滑台座(1)两侧延伸设置的滑动部(51)，所述的滑动部(51)沿上滑台座(2)轴向延伸设置，且所述的滑动部(51)通过滑动导向组件(7)与下滑台座(1)滑动相连。

9.根据权利要求8所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的滑动导向组件(7)包括设置在下滑台座(1)两侧且轴向延伸设置的竖直部(71)，所述的竖直部(71)上端分别设有朝内延伸设置的压条部(72)，所述的压条部(72)远离竖直部(71)一端面与上滑台座(2)上端两侧相贴合，且所述的压条部(72)与竖直部(71)之间具有滑动槽(73)，所述的滑动部(51)轴向设置于滑动槽(73)内。

10.根据权利要求5所述的一种流体导轨超精度滑台体组合结构，其特征在于，所述的动子安装槽(21)一侧设有轴向贯穿的第一测量槽(22)，所述的定子安装槽(11)一侧设有与第一测量槽(22)相对应的第二测量槽(12)，所述的第一测量槽(22)内设有精密尺件(8)，所述的精密尺件(8)下端连接有位于第二测量槽(12)内的位移传感器(81)，所述的位移传感器(81)与下滑台座(1)固定相连。

技术总结本发明涉及一种流体导轨超精度滑台体组合结构。它解决了现有设置零点位置尺寸误差较大、无法保证导轨直线度等技术问题。包括下滑台座，下滑台座上端水平滑动设有上滑台座，上滑台座和下滑台座之间形成静压导轨滑台组件，上滑台座和下滑台座之间设有能驱动上滑台座沿下滑台座轴向水平滑动的直线电机驱动组件，上滑台座通过滑动导向结构与下滑台座相连。优点在于：该装置采用静压导轨滑台组件和直线电机驱动组件，下滑台座上安装电机定子，上滑台托盘上安装电机动子，电机定子固定，电机动子移动，同时配合着精密尺件和位移传感器使得位移精度高，也解决了设置零点位置尺寸误差大的问题，并且定位精度控制在0.0015mm/300mm内。技术研发人员：赵亚飞,赖韬受保护的技术使用者：浙江中智鲸工智能装备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29