一种晶圆缺陷检测装置及方法与流程

本发明涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆缺陷检测装置及方法。

背景技术：

1、半导体晶圆是半导体器件制造的重要基础材料之一。它是由高纯度的半导体材料制成的圆盘形片状物体，工业中扮演着承载和生长晶体的基础角色，在生产时，物料保障半导体晶圆生产质量，需要使用到缺陷检测装置，对其生产晶圆进行缺陷检测。

2、而现有技术中，晶圆缺陷检测设备在检测晶圆时，大多都是将晶圆平放在光学检测器下端的，然后通过光学检测器完成照射检测工作，这会导致晶圆表面细小划痕等缺陷不易被检测出来，从而会导致部分存在缺陷的晶圆无法精准检测出来，影响晶圆的品质。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中，晶圆检测精度不高而容易影响品质的问题，而提出的一种晶圆缺陷检测装置及方法。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种晶圆缺陷检测装置，包括装置箱，还包括：顶板，固定连接在所述装置箱的上端，其中，所述顶板的下端固定安装有主检测头，所述顶板的下端安装有位于主检测头两侧的副检测头，所述副检测头不与主检测头平行；转动安装在所述装置箱上的检测台，其中，所述主检测头垂直于检测台的上端，所述装置箱内设有驱动检测台旋转的驱动部。

4、为了驱动检测台转动，优选地，所述驱动部包括固定连接在检测台下端的支撑柱，所述装置箱内转动连接有套管，所述支撑柱的下端固定连接有插杆，其中，所述插杆纵向滑动连接在套管内，所述装置箱内固定安装有电机，所述电机的输出轴固定安装有主动齿轮，所述套管的外壁固定安装有与主动齿轮啮合连接的从动齿轮，所述装置箱上设有驱动检测台上下移动的升降部。

5、为了带动检测台上下移动，优选地，所述升降部包括转动连接在装置箱上端的螺纹杆，所述螺纹杆上螺纹连接有升降块，所述升降块上固定连接有升降板，其中，所述支撑柱转动连接在升降板上，所述螺纹杆与套管之间通过链传动连接。

6、为了便于调节副检测头的偏角，优选地，所述顶板上固定连接有支座，所述支座上转动安装有转轴，所述副检测头固定安装在转轴上，所述顶板上设有驱动转轴转动的偏转部。

7、为了便于带动转轴转动，优选地，所述偏转部包括固定安装在转轴上的主卷筒，所述螺纹杆上固定安装有副卷筒，其中，所述主卷筒的外壁上固定缠绕有拉绳，所述拉绳的末端固定连接在副卷筒上，所述转轴与支座之间安装有扭簧。

8、为了自动调整晶圆的位置，优选地，所述检测台上设有圆周分布的多个滑槽，多个所述滑槽内均滑动安装有滑块，多个所述滑块上均转动安装有滚轴，所述检测台上设有驱动多个滑块向检测台中心靠近的定位部。

9、为了使多个滑块同时向检测台的轴线方向移动，优选地，所述定位部包括转动连接在多个滑槽内的往复丝杠，所述往复丝杠的一端延伸至检测台的外壁并固定安装有被动齿轮，其中，所述滑块螺纹连接在往复丝杠的外壁上，所述装置箱上安装有与被动齿轮啮合连接的弧形齿条。

10、为了使被动齿轮可以与弧形齿条保持一段时间，优选地，所述装置箱上固定连接有环形座，所述环形座上固定连接有滑柱，所述滑柱上纵向滑动安装有外管；其中，所述弧形齿条固定安装在外管上，所述弧形齿条与环形座之间安装有顶升弹簧，所述升降板上设有与弧形齿条对应的弧形槽。

11、为了使晶圆稳固的置于检测台的上端面，进一步地，所述检测台的上端中部固定安装有吸盘，所述检测台上固定连接有环绕吸盘的橡胶座，其中，所述滑块与滑槽的内壁之间安装有伸缩气囊，所述伸缩气囊上固定连接有延伸至吸盘内的连接管。

12、一种晶圆缺陷检测装置的方法，操作步骤如下：

13、步骤一：将晶圆放置于检测台上，并使晶圆处于检测台的正中部；

14、步骤二：通过主检测头以及倾斜的副检测头对晶圆进行缺陷检测；

15、步骤三：使检测台带动晶圆转动，以改变晶圆与副检测头之间的位置；

16、步骤四：在晶圆转动期间，使晶圆靠近主检测头与副检测头；

17、步骤五：在晶圆转动期间，使副检测头改变照射检测角度。

18、与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置，具备以下有益效果：

19、1、该晶圆缺陷检测装置，通过副检测头倾斜的照射检测会使晶圆的缺陷更加明显，从而显著提升对晶圆检测的精度，保障了晶圆的最终品质。

20、2、该晶圆缺陷检测装置，通过电机带动检测台转动，检测台即可带动晶圆转动，从而可以使副检测头以不同的角度来对晶圆进行照射检测，显著提升晶圆缺陷检测的精度。

21、3、该晶圆缺陷检测装置，通过螺纹杆带动检测台向上移动，检测台则会带动晶圆靠近主检测头与副检测头，以使主检测头与副检测头更精准的检测晶圆的缺陷。

22、4、该晶圆缺陷检测装置，通过螺纹杆带动副卷筒转动，主卷筒会在副卷筒的作用下转动，并通过转轴带动副检测头发生角度偏转，以使副检测头通过不同的检测角度对晶圆进行缺陷检测，使检测精度更进一步提升。

23、5、该晶圆缺陷检测装置，通过检测台带动被动齿轮在弧形齿条上滚动，多个滑块则会带动多个滚轴间歇性靠近与远离晶圆的四周，从而使晶圆自动移动到检测台的中部，以提升对晶圆检测的效果。

24、6、该晶圆缺陷检测装置，通过滑块挤压伸缩气囊，吸盘则会通过上端口对晶圆的底部吹气，使晶圆的底部会产生空气墙，此时晶圆与检测台之间的摩擦力会减小，于是在滚轴推动晶圆时，晶圆的阻力会更小，进而减少晶圆出现磨损。

技术特征：

1.一种晶圆缺陷检测装置，包括装置箱(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述驱动部包括固定连接在检测台(5)下端的支撑柱(7)，所述装置箱(1)内转动连接有套管(9)，所述支撑柱(7)的下端固定连接有插杆(8)，

3.根据权利要求2所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述升降部包括转动连接在装置箱(1)上端的螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)上螺纹连接有升降块(14)，所述升降块(14)上固定连接有升降板(6)，

4.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述顶板(2)上固定连接有支座(16)，所述支座(16)上转动安装有转轴(17)，所述副检测头(4)固定安装在转轴(17)上，所述顶板(2)上设有驱动转轴(17)转动的偏转部。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述偏转部包括固定安装在转轴(17)上的主卷筒(18)，所述螺纹杆(13)上固定安装有副卷筒(19)，

6.根据权利要求3所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述检测台(5)上设有圆周分布的多个滑槽(21)，多个所述滑槽(21)内均滑动安装有滑块(23)，多个所述滑块(23)上均转动安装有滚轴(24)，所述检测台(5)上设有驱动多个滑块(23)向检测台(5)中心靠近的定位部。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述定位部包括转动连接在多个滑槽(21)内的往复丝杠(22)，所述往复丝杠(22)的一端延伸至检测台(5)的外壁并固定安装有被动齿轮(25)，

8.根据权利要求7所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述装置箱(1)上固定连接有环形座(27)，所述环形座(27)上固定连接有滑柱(28)，所述滑柱(28)上纵向滑动安装有外管(29)；

9.根据权利要求6所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，所述检测台(5)的上端中部固定安装有吸盘(31)，所述检测台(5)上固定连接有环绕吸盘(31)的橡胶座(34)，

10.一种晶圆缺陷检测装置的方法，包括权利要求1-9任一项所述的一种晶圆缺陷检测装置，其特征在于，操作步骤如下：

技术总结本发明公开了一种晶圆缺陷检测装置及方法，属于晶圆检测领域。一种晶圆缺陷检测装置，包括装置箱，还包括：顶板，固定连接在所述装置箱的上端，其中，所述顶板的下端固定安装有主检测头，所述顶板的下端安装有位于主检测头两侧的副检测头，所述副检测头不与主检测头平行；转动安装在所述装置箱上的检测台，其中，所述主检测头垂直于检测台的上端，所述装置箱内设有驱动检测台旋转的驱动部；本发明可以显著提升对晶圆检测的精度，保障了晶圆的最终品质。技术研发人员：刘永辉受保护的技术使用者：济南诺来电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29