掩膜板张网制作方法及掩膜板与流程

本公开涉及oled制造的，具体而言，涉及一种掩膜板张网制作方法及掩膜板。

背景技术：

1、金属掩膜版是oled(有机发光二极管)显示面板在制备过程中的重要治工具，主要用于有机材料蒸镀，或者形成封装层等过程中对膜层材料沉积区域的限制。

2、金属掩膜版根据沉积膜层种类不同，具体可分为精密金属掩膜版(fmm)、通用金属掩膜版(cmm)和封装层金属掩模板(cvd mask)等多种类型。目前针对金属掩膜版的制作，常用的方法是将原材蚀刻为整张带图形的网面，然后通过专用的张网设备进行拉伸、调节、焊接等工艺完成制作。

3、伴随着显示面板的产线世代的不断迭代，对于金属掩膜版的尺寸需求也越来越大，现有的金属掩膜版原料片材尺寸较小，无法满足大尺寸掩膜版的生产。而如果选用多个小尺寸片材拼接的方式，则难以保证拼接后的网面开口或图案的精度。

技术实现思路

1、为解决或改善现有技术存在的上述问题，本公开实施例提供一种掩膜板张网制作方法及掩膜板。

2、本公开实施例所提供的掩膜板张网制作方法，具体包括：

3、提供框架、多个网面、至少一个加强金属条和多个延长金属条；

4、形成框架预制件，将加强金属条张紧并横跨固接于框架，加强金属条设置于多个网面在框架上的预设拼接位置；

5、形成网面预制件，将一个或多个延长金属条的一端固接于网面与其他网面的拼接端，并使其另一端向远离网面方向延伸；

6、张网，分别夹持并牵拉延长金属条、网面与框架的拼接端，以使网面张紧；

7、拼接，保持张网状态，将网面与其他网面的拼接端固接于加强金属条，将网面与框架的拼接端固接于框架，其中，相邻网面与同一个加强金属条固接；

8、去除延长金属条。

9、前述技术方案中，利用延长金属条连接网面，使得现有技术方案中网面无法夹持拉伸的方向可以被施加拉力，在张网步骤中，延伸金属条可以用于调节网面的形貌特征，因此本方案形成的金属掩膜板具有很高的网面形貌特征精度，且制作效率较高。

10、本方案另设置了两个拼接网面之间的加强金属条，用于对张网调整后的网面拼接处进行焊接固定。

11、可选的，网面包括镂空的开口或图案，和围绕开口或图案的肋条；

12、进一步的，形成网面预制件，包括将延长金属条的一端与肋条固接，所固接的延长金属条和肋条平行。

13、上述可选方案中，延长金属条和与之平行的肋条连接，避免延长金属条的拉力对掩膜板上的开口形貌造成劣化影响。

14、可选的，形成网面预制件，包括将数量相同的两组延长金属条分别固接于网面相对的两端；

15、可选的，张网，包括分别夹持两组延长金属条，并分别施加方向相反的张力。

16、上述可选方案中，可以通过延长金属条，同时对网面的两端施加张力，尤其适用于两端均与其他网面拼接，而不能直接夹持其边缘的网面。

17、可选的，形成网面预制件，包括在网面的端部设置网面端槽，延长金属条的一端嵌入网面端槽内并与网面固接。

18、在完成张网和网面的拼接之后，前述的延长金属条需要去除，为避免残留的延长金属条影响网面的平面度，设置网面端槽，将延长金属条与网面固定的一端嵌入该槽内，其他部分可以在后续步骤中去除。

19、可选的，延长金属条设置有半刻蚀刻线或虚线状的贯通蚀刻线；

20、其中的，去除延长金属条，包括沿半刻蚀刻线或贯通蚀刻线将延长金属条折断。

21、可选的，去除延长金属条，包括直接通过激光切除延长金属条未嵌入网面端槽内的部分。

22、可选的，形成网面预制件，包括在网面上设置预设切割区域，并且将延长金属条的一端固接于预设切割区域内；

23、去除延长金属条，包括将预设切割区域连同固接于其中的延长金属条一并切除。

24、可选的，在不同的网面预制件中，延长金属条交错设置。用于避免不同网面上延长金属条的夹持产生干涉。

25、可选的，张网，包括对网面的开口或图案进行调整。

26、可选的，前述技术方案中的固接具体可以为激光焊接。

27、本公开实施例还提供一种掩膜板，这种掩膜板是通过前述任一项方案中所记载的掩膜板张网制作方法制作的。

28、综上所述，使用本公开实施例中提供的掩膜板张网制作方法，可实现张网、拼接时对掩膜板网面的四周夹持，可实现对掩膜板中的多段拼接网面的图案进行调节以达到设定的精度要求，从而提升产品的整体制作精度。

技术特征：

1.一种掩膜板张网制作方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述网面(21)包括镂空的开口或图案，和围绕所述开口或图案的肋条；

3.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述形成网面预制件(20)，包括将数量相同的两组延长金属条(22)分别固接于网面相对的两个与其他网面的拼接端；

4.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述形成网面预制件(20)，包括在所述网面(21)的端部设置网面端槽(212)，所述延长金属条(22)的一端嵌入所述网面端槽(212)内并与所述网面(21)固接。

5.根据权利要求4所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述延长金属条(22)设置有半刻蚀刻线(221)或虚线状的贯通蚀刻线(222)；

6.根据权利要求4所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述去除延长金属条(22)，包括通过激光切除所述延长金属条(22)未嵌入所述网面端槽(212)内的部分。

7.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述形成网面预制件(20)，包括在所述网面上设置预设切割区域，并且将所述延长金属条(22)的一端固接于所述预设切割区域内；

8.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，在不同的所述网面预制件(20)中，延长金属条(22)交错设置。

9.根据权利要求1所述的掩膜板张网制作方法，其特征在于，所述张网，包括对所述网面的开口或图案进行调整。

10.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板是通过权利要求1至9任一项所述的掩膜板张网制作方法制作的。

技术总结本公开提供一种掩膜板张网制作方法及掩膜板。其中方法具体包括：提供框架、多个网面、至少一个加强金属条和多个延长金属条；形成框架预制件，形成网面预制件、张网以及拼接步骤，在张网和拼接步骤中，分别夹持并牵拉延长金属条、网面与框架的拼接端，以使网面张紧；并且保持张网状态，将网面与其他网面的拼接端固接于加强金属条，将网面与框架的拼接端固接于框架，相邻网面与同一个加强金属条固接，去除延长金属条。该方法可实现对网面的四周同步施加张力，可实现对掩膜板中的多段拼接网面的图案进行调节以达到设定的精度要求，从而提升产品的整体制作精度。技术研发人员：王亚,甘帅燕受保护的技术使用者：江苏高光半导体材料有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/18