一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构的制作方法

技术特征：

1.一种stm探针针尖制备装置的探针往复推动机构，其特征在于，包括：

底座（2）；

伸缩机构本体（6-4），所述伸缩机构本体（6-4）固定连接在底座（2）上，伸缩机构本体（6-4）上设有螺纹孔（6-4-1）；

丝杆（6-2），所述丝杆（6-2）与螺纹孔（6-4-1）相匹配，丝杆（6-2）螺纹连接在螺纹孔（6-4-1）上，丝杆（6-2）右端与探针夹持座（4）连接；

正多边形杆（6-3），所述正多边形杆（6-3）固定连接在丝杆（6-2）右端，正多边形杆（6-3）的外接圆柱与丝杆（6-2）同轴；

步进电机（6-1），所述步进电机（6-1）固定连接底座（2）上，步进电机（6-1）位于伸缩机构本体（6-4）右侧，步进电机（6-1）的转轴上开有于正多边形杆（6-3）相匹配的正多边形孔（6-1-1），步进电机（6-1）转轴与正多边形孔（6-1-1）的外接圆同轴，正多边形孔（6-1-1）的外接圆柱与正多边形杆（6-3）的外接圆柱同轴，正多边形杆（6-3）插入正多边形孔（6-1-1）中，步进电机（6-1）与控制器（17）电连接。

2.根据权利要求1所述stm探针针尖制备装置的探针往复推动机构，其特征在于，还包括：

控制器（17），所述控制器（17）与步进电机（6-1）电连接；

控制按钮（18），所述控制按钮（18）与控制器（17）电连接，控制按钮（18）控制步进电机（6-1）在停止、左右反复伸缩、收缩和伸长状态之间转换。

3.根据权利要求1所述stm探针针尖制备装置的探针往复推动机构，其特征在于，还包括：

探针夹持座（4），所述探针夹持座（4）上设有与探针相匹配的探针夹持孔（4-2-1），探针夹持孔（4-2-1）与探针相匹配，探针夹持孔（4-2-1）的中轴线与金属圈（3）所在的平面垂直，探针夹持孔（4-2-1）中轴线通过金属圈（3）的中心点，探针夹持座（4）与直流电源（1）负极电连接，探针夹持座（4）与丝杆（6-2）连接；

导杆（6-4-2），所述导杆（6-4-2）包括3根，导杆（6-4-2）一端固定连接在伸缩机构本体（6-4）右侧面，导杆（6-4-2）与螺纹孔（6-4-1）中轴线平行，3根导杆（6-4-2）绕螺纹孔（6-4-1）中轴线均匀分布；

导孔（4-4），所述导孔（4-4）包括3个，导孔（4-4）开设在探针夹持座（4）上，3个导孔（4-4）绕探针夹持孔（4-2-1）均匀分布，导孔（4-4）与导杆（6-4-2）相匹配，探针夹持座（4）通过导孔（4-4）与导杆（6-4-2）的配合左右滑动安装在导杆（6-4-2）上。

4.根据权利要求3所述stm探针针尖制备装置的探针往复推动机构，其特征在于，还包括：

永磁体（6-5），所述永磁体（6-5）固定连接在丝杆（6-2）右端，探针夹持座（4）为铁磁性材料，探针夹持座（4）与永磁体（6-5）磁吸连接。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述stm探针针尖制备装置的探针往复推动机构，其特征在于，所述探针夹持座（4）包括：

接触板（4-1）；

夹接件（4-2），所述夹接件（4-2）圆台型，夹接件（4-2）的外径从左到右逐渐增大，夹接件（4-2）固定连接在接触板（4-1）右侧，探针夹持孔（4-2-1）开设在夹接件（4-2）右侧面，夹接件（4-2）侧部开有内外壁贯通的缝隙（4-2-2），夹接件（4-2）侧壁开有从夹接件（4-2）左端到右端的螺纹；

紧固螺栓（4-3），所述紧固螺栓（4-3）螺纹连接在夹接件（4-2）外侧面，紧固螺栓（4-3）内径大于夹接件（4-2）最小外径，紧固螺栓（4-3）内径小于夹接件（4-2）最大外径。

技术总结
本实用新型公开了一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构，包括：底座；伸缩机构本体，所述伸缩机构本体固定连接在底座上，伸缩机构本体上设有螺纹孔；丝杆，所述丝杆与螺纹孔相匹配，丝杆螺纹连接在螺纹孔上，丝杆右端与探针夹持座连接；正多边形杆，所述正多边形杆固定连接在丝杆右端；步进电机，所述步进电机固定连接底座上，步进电机位于伸缩机构本体右侧，步进电机的转轴上开有于正多边形杆相匹配的正多边形孔，正多边形杆插入正多边形孔中，步进电机与控制器电连接。以解决现有技术不能同时满足高精度和低速下运行的要求，达不到探针针尖制作时条件的问题。

技术研发人员：王一;郭祥;王继红;李军丽;杨晨;罗子江;丁召
受保护的技术使用者：贵州大学
技术研发日：2020.09.27
技术公布日：2021.06.18