防微振微位移调节装置的制作方法

技术特征：
1.一种防微振微位移调节装置，其特征在于，包括：基体，所述基体内具有腔室，所述基体上设有开口，所述开口与所述腔室连通；磁性组件，所述磁性组件设在所述腔室内且与所述基体相连；承载组件，所述承载组件包括平台和悬浮构件，所述悬浮构件的一端与所述平台相连，所述悬浮构件的另一端通过所述开口伸入所述腔室内，且所述悬浮构件的另一端与所述磁性组件相对且间隔布置以形成容纳腔；储液器，所述储液器内储存有磁性液体；驱动装置，所述驱动装置与所述储液器和所述容纳腔连通，所述驱动装置可将所述储液器内的磁性液体通入所述容纳腔内且可将所述容纳腔内的磁性液体排出并储存在所述储液器内，以驱动所述承载组件远离所述磁性组件移动和靠近所述磁性组件移动。2.根据权利要求1所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述腔室的底部壁面上设有环形凸起，所述磁性组件设在所述腔室的壁面上且位于所述环形凸起内。3.根据权利要求2所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述磁性组件包括铁芯、第一环形永磁体和第二环形永磁体，所述第一环形永磁体套设在所述铁芯上，所述第二环形永磁体套设在所述第一环形永磁体上，且所述第二环形永磁体的外周面与所述环形凸起的内周面相贴合。4.根据权利要求3所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述铁芯的轴向尺寸、所述第一环形永磁体的轴向尺寸和所述第二环形永磁体的轴向尺寸均与所述环形凸起的轴向尺寸相同。5.根据权利要求2所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述驱动装置包括控制泵、进液管道和出液管道，所述出液管道的一端与所述储液器连通，所述出液管道的另一端与所述控制泵的一端连通，所述控制泵的另一端与所述进液管道的一端连通，所述进液管道的一端与所述容纳腔连通。6.根据权利要求5所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述控制泵为蠕动泵。7.根据权利要求5所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述环形凸起内设有液体通道，所述液体通道与所述容纳腔和所述进液管道连通。8.根据权利要求7所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述液体通道、所述进液管道、所述出液管道均为多个，且多个所述液体通道和多个所述进液管道对应连通，多个所述进液管道和多个所述出液管道对应连通。9.根据权利要求1
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8中任一项所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，所述承载组件的邻近所述磁性组件的一端设有凹槽，所述凹槽位于所述腔室内，所述凹槽的横截面积沿从所述承载组件朝向所述磁性组件的方向减小。10.根据权利要求9所述的防微振微位移调节装置，其特征在于，还包括缓冲套，所述缓冲套设在所述基体的内周面上，所述承载组件的一部分位于所述缓冲套内，所述缓冲套用于避免所述基体与所述承载组件刚性冲击。

技术总结
本实用新型公开了一种防微振微位移调节装置，所述防微振微位移调节装置包括基体、磁性组件、承载组件、储液器和驱动装置，所述基体内具有腔室，所述基体上设有开口，所述开口与所述腔室连通，所述磁性组件设在所述腔室内且与所述基体相连，所述承载组件包括平台和悬浮构件，所述储液器内储存有磁性液体，所述驱动装置与所述储液器和所述容纳腔连通，所述驱动装置可将所述储液器内的磁性液体通入所述容纳腔内且可将所述容纳腔内的磁性液体排出并储存在所述储液器内。本实用新型的防微振微位移调节装置利用磁性液体控制，具有响应迅速、结构紧凑的特点。结构紧凑的特点。结构紧凑的特点。


技术研发人员：李德才 韩鹏栋 任思杰 李英松
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2020.11.26
技术公布日：2021/10/23