一种ITO卷绕镀膜设备的制作方法

一种ito卷绕镀膜设备
技术领域
1.本技术涉及薄膜生产技术的领域，尤其是涉及一种ito卷绕镀膜设备。


背景技术：

2.目前，ito薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性，随着科技的进步，ito薄膜在市场上有着越来越广泛的需求。
3.卷绕镀膜机器是一种可以在柔性材料上镀制ito薄膜的设备，其主要以磁控溅射为原理，即通过磁控溅射发生器将特定的金属或者化合物靶材镀制在柔性膜的表面。通常ito薄膜的镀制需要在真空条件下完成，以减少灰尘和水汽对镀膜的影响。通常的卷绕镀膜机包括用于镀膜的镀膜仓，以及用于对镀膜仓进行抽制真空的真空装置，通常的真空装置为真空泵或离子泵。将待镀膜的柔性膜卷筒放置在镀膜仓内，进行密封后启动真空装置将镀膜仓抽制成真空，然后再启动磁控溅射发生器进行镀膜。
4.柔性膜卷筒在镀膜室内需要缠绕在多个导向辊上伸展开进行镀膜，因此安装并布设待镀膜的柔性膜的任务量繁多。通常为了镀膜均匀，在柔性膜展开的与路径上需要先后设置两组磁控溅射发生器，但若是因为某些故障导致其中一个磁控溅射发生器断路故障，则会导致柔性膜的表面镀膜不均匀，无法达到出厂要求；此时需要将该卷柔性膜再次进行镀膜，进而就增加了生产的成本。
5.针对上述中的相关技术，发明人认为存在有磁控溅射发生器发生故障会增加生的缺陷。


技术实现要素：

6.为了减少磁控溅射发生器发生故障时造成的生产成本的增加，本技术采用如下的技术方案：一种ito卷绕镀膜设备，其包括镀膜仓以及与镀膜仓连通的抽真空系统；镀膜仓固设有第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2用于对柔性膜进行镀膜，镀膜仓内设置有备用磁控溅射发生器m3；还包括切换模块，切换模块连接于第一磁控溅射发生器m1第二磁控溅射发生器m2以及备用此件发射器的供电回路，在第一磁控溅射发生器m1或第二磁控溅射发生器m2发生断路时输出切换信号，以控制备用磁控溅射发生器m3得电进行镀膜。
7.通过采用上述技术方案，在镀膜的第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2故障断路时，切换模块将备用磁控溅射发生器m3进行连通，已替换故障的磁控溅射发生器工作，减少了柔性膜镀膜不达标需要再次镀膜的几率，降低了加工的成本。
8.可选的，所述切换模块包括第一电磁继电器km1和第二电磁继电器km2，第一电磁继电器km1的线圈串联在第一磁控溅射发生器m1的供电回路中，第二电磁继电器km2的线圈串联在第二磁控溅射发生器m2的供电回路中；第一电磁继电器km1的常闭触点km1
‑
1串联在备用磁控溅射发生器m3的供电回路中，电磁继电器km2的常闭触点km2
‑
1与电磁继电器km1
的常闭触点km1
‑
1并联。
9.通过采用上述技术方案，第一磁控溅射发生器m1或者第二磁控溅射发生器m2发生故障断路时，与第一磁控溅射发生器m1对应的第一电磁继电器km1的线圈失电，或者与第二磁控溅射发生器m2对应的第二电器继电器km2的线圈失电，则对应的常闭触点km1
‑
1闭合或者对应的常闭触点km2
‑
1闭合，进而使得备用磁控溅射发生器m3得电工作，替换发生故障的第一磁控溅射发生器m1或者第二磁控溅射发生器m2进行镀膜工作。
10.可选的，所述镀膜仓的一端可拆卸设置有密封端盖，密封端盖上固设有用于固定待镀膜的柔性膜卷筒的放卷辊、用于收卷镀膜后柔性膜的收卷辊、用于伸展导向柔性膜的导向辊；所述密封端盖上还固设有张紧装置使得柔性膜张紧。
11.通过采用上述技术方案，放卷辊用于将带镀膜的柔性膜卷筒固定，导向辊将柔性膜进行支撑同时能够改变柔性膜的运行方向，收卷辊用以将镀膜后的柔性膜收集成卷，结构简单易于操作。
12.可选的，所述张紧装置包括驱动电机、固定板以及摆动辊，所述固定板与驱动电机的输出轴固定连接，所述摆动辊与所述固定板固定连接。
13.通过采用上述技术方案，驱动电机带动固定板与摆动辊转动，进而能够改变摆动辊的位置，进而改变了与柔性膜的接触位置，进而改变了对柔性膜的张紧力。
14.可选的，所述密封端盖上还固设有伸展辊，伸展辊的外径大于放卷辊、收卷辊以及导向辊的外径。
15.通过采用上述技术方案，伸展辊能够将柔性膜展开，同时伸展辊的外径大，使得柔性膜在伸展时提付伸展辊被镀膜的面积大，使得镀膜更充分更均匀。
16.可选的，所述抽真空系统包括第一抽气装置、第二抽气装置和第三抽气装置，第一抽气装置、第二抽气装置和第三抽气装置均与镀膜仓连通。
17.通过采用上述技术方案，第一抽气装置、第二抽气装置和第三抽气装置均能够对镀膜仓进行抽真空，便于提升镀膜仓在镀膜室的真空度。
18.可选的，所述密封端盖的外侧固设有移动组件，所述移动组件能够带动密封端盖靠近或远离镀膜仓。
19.通过采用上述技术方案，移动组件便于带动密封端盖沿着导轨运动，进而便于端盖与镀膜仓的安装和拆卸，提升了便利性。
20.可选的，所述移动组件包括固定台和加固撑杆，密封端盖与固定台固定连接，加固撑杆同时与固定台和密封端盖固定；固定台与设置在地面上的导轨滑动配合。
21.通过采用上述技术方案，加固撑杆加强了固定台与密封端盖之间的稳定性和结构强度。
22.可选的，所述镀膜仓的外壁上固设有观察筒，所述观察筒与镀膜仓的内腔连通；所述观察筒远离镀膜仓的一端固设有密封透镜片。
23.通过采用上述技术方案，通过密封头镜片和观察筒，便于工人查看镀膜仓内的柔性膜的镀膜状态，提升了便利性和实用性。
24.可选的，所述密封端盖的内侧固设有密封垫圈，密封垫圈能够和镀膜仓的内壁贴合。
25.通过采用上述技术方案，在密封端盖与镀膜仓盖合时，密封垫圈与镀膜仓的内腔
贴合，进一步减小了密封端盖与镀膜仓之间空气的泄露，有利于维持镀膜仓内的真空度。
26.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：1.在镀膜的第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2故障断路时，切换模块将备用磁控溅射发生器m3进行连通，已替换故障的磁控溅射发生器工作，减少了柔性膜镀膜不达标需要再次镀膜的几率，降低了加工的成本；2.驱动电机带动固定板与摆动辊转动，进而能够改变摆动辊的位置，进而改变了与柔性膜的接触位置，进而改变了对柔性膜的张紧力；3.第一抽气装置、第二抽气装置和第三抽气装置均能够对镀膜仓进行抽真空，便于提升镀膜仓在镀膜室的真空度。
附图说明
27.图1是本技术实施例中镀膜仓与端盖分离的状态示意图；图2是本技术实施例中切换模块的原理图；图3是本技术实施例中镀膜仓内部结构与抽真空系统的结构简图；图4是本技术实施例中图1中的局部三维图；图5是本技术实施例中展示清洁板的示意图。
28.附图标记说明：1、镀膜仓；11、观察筒；12、密封透镜片；2、抽真空系统；21、第一抽气装置；22、第二抽气装置；23、第三抽气装置；3、切换模块；4、密封端盖；41、放卷辊；42、导向辊；43、伸展辊；44、收卷辊；45、密封垫圈；5、张紧装置；51、驱动电机；52、固定板；53、摆动辊；6、移动组件；61、固定台；62、加固撑杆；63、导轨；64、导轮；7、清洁板；71、让位槽。
具体实施方式
29.以下结合附图1
‑
5对本技术作进一步详细说明。
30.本技术实施例公开一种ito卷绕镀膜设备，参照图1和图2，其包括镀膜仓1、抽真空系统2、第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2、备用磁控溅射发生器m3和切换模块3；其中第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2以及备用磁控溅射发生器m3均固设于镀膜仓1内；切换模块3连接于第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2以及备用磁控溅射发生器m3的供电回路。为柔性膜镀膜时，首先将柔性膜卷筒放置在镀膜仓1内，然后通过抽真空装置将镀膜仓1抽成近真空状态，然后启动第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2对柔性膜进行镀膜，当第一磁控溅射发生器m1或第二磁控溅射发生器m2出现故障断路时，切换模块3能够输出切换信号以自动控制备用磁控溅射发生器m3对柔性膜进行镀膜，减少了因某个磁控溅射发生器故障造成的柔性膜镀膜不达标的几率，减少了柔性膜再返工镀膜的几率，降低了加工成本。
31.参照图1和图3，进一步地，镀膜仓1为水平设置的圆筒状，镀膜仓1与固设于地面上的底座固定连接，且镀膜仓1的轴线水平平行。镀膜仓1的一端可拆卸连接有矩形的密封端盖4，密封端盖4固定连接有移动组件6，移动组件6能够带动密封端盖4沿着镀膜仓1的轴线方向靠近或远离镀膜仓1。密封端盖4内靠近镀膜仓1的内侧固设有放卷辊41、收卷辊44、多个导向辊42、张紧装置5以及伸展辊43。放卷辊41、放卷辊41、导向辊42以及伸展辊43均沿着平行于镀膜仓1的轴线方向水平设置，放卷辊41、导向辊42以及伸展辊43的一端均与密封端
盖4的内侧固定连接。具体地，放卷辊41和收卷辊44的外径相同，导向辊42的中心线小于收卷辊44的中心线，伸展辊43的外径大于收卷辊44的外径。
32.参照图1和图3，具体地，放卷辊41用以将待镀膜的柔性膜卷筒固定，导向辊42用以对柔性膜进行支撑并改变其运动方向，伸展辊43用以使得柔性膜贴附展开，便于第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2进行镀膜；收卷辊44用以将镀膜后的柔性膜收卷成筒状。其中，放卷辊41和收卷辊44关于密封端盖4内侧端面在竖直方向上的中心线对称，同时伸展辊43位于密封端盖4内侧端面圆心的下方。导向辊42在密封端盖4内侧的竖直中心线的左右两侧的数量相同且一一对称。
33.参照图1和图4，具体地，张紧装置5包括驱动电机51、固定板52以及摆动辊53，驱动电机51的一端与密封端盖4的内侧固定连接，驱动电机51的输出轴平行于放卷辊41；固定板52与驱动电机51的输出轴固定连接，摆动辊53的一端与固定杆固定连接，摆动辊53与放卷辊41平行。张紧装置5设置有至少两组，两组张紧装置5关于密封端盖4内侧的竖直中心线对称设置。启动驱动电机51，固定杆带动摆动辊53进行转动，进而使得摆动辊53的位置和高度改变，摆动辊53与柔性膜的接触位置也相应变化，进而改变了柔性膜受到的张力；调整张紧装置5使得柔性膜保持一定的张紧力，减少褶皱和松垮的状态，便于镀膜均匀和稳定。
34.参照图2和图4，第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2和备用磁控溅射发生器m3均固定在镀膜仓1的内腔，且第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2和备用磁控溅射发生器m3的发射端均朝向收卷辊44的外壁。在镀膜时，将待镀膜的柔性膜卷筒套设在放卷辊41上，然后将柔性膜依次经过绕过导向辊42和摆动辊53之后，将柔性膜绕过伸展辊43；绕过收卷辊44后的柔性膜在绕过收卷辊44一侧的导向辊42后与套设在收卷辊44上的空卷筒固定。柔性膜在经过伸展辊43时，柔性膜背离伸展辊43的一侧被镀膜。
35.参照图1和图4，密封端盖4的内侧粘接有圆环形的橡胶材质的密封垫圈45，在密封端盖4与镀膜仓1的一端对接时，密封垫圈45的外侧与镀膜仓1的内腔抵触形成密封。
36.参照图1，镀膜仓1的外壁上焊接有多个两端开口的观察筒11，观察筒11的一端与镀膜仓1内腔连通，观察筒11的另一端法兰连接有透明的密封透镜片12，以便于工人观察镀膜仓1内部镀膜的状态。
37.参照图1，移动组件6包括固定台61和加固撑杆62，密封端盖4的底部与固定台61焊接固定，地面上沿着镀膜仓1的轴线方向设置有导轨63，固定台61的底部设置有与导轨63滚动配合的导轮64。加固撑杆62的一端与密封端盖4的外侧焊接固定，加固撑杆62的另一端与固定台61的上端面焊接固定，进一步加强固定条与密封端盖4之间的稳定性。
38.参照图2和图3，切换模块3包括第一电磁继电器km1和第二电磁继电器km2，第一电磁继电器km1的线圈串联在第一磁控溅射发生器m1的供电回路中，第二电磁继电器km2的线圈串联在第二磁控溅射发生器m2的供电回路中；第一电磁继电器km1的常闭触点km1
‑
1串联在备用磁控溅射发生器m3的供电回路中，电磁继电器km2的常闭触点km2
‑
1与电磁继电器km1的常闭触点km1
‑
1并联。
39.在第一磁控溅射发生器m1或者第二磁控溅射发生器m2均正常工作时，第一电磁继电器km1和第二电磁继电器km2的线圈均得电，则对应的常闭触点km1
‑
1和常闭触点km2
‑
1处于断开状态，备用磁控溅射发生器m3不得电。在第一磁控溅射发生器m1或者第二磁控溅射发生器m2发生故障断路时，则与第一磁控溅射发生器m1对应的第一电磁继电器km1的线圈
失电，或者与第二磁控溅射发生器m2对应的第二电器继电器km2的线圈失电，则对应的常闭触点km1
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1闭合或者对应的常闭触点km2
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1闭合，常闭触点km1
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1闭合或者对应的常闭触点km2
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1闭合即为切换信号，进而使得备用磁控溅射发生器m3得电工作，以替换发生故障的第一磁控溅射发生器m1或者第二磁控溅射发生器m2进行镀膜工作。
40.参照图1和图3，抽真空系统包括第一抽气装置21、第二抽气装置22和第三抽气装置23；第一抽气装置21包括罗茨泵和维持泵，罗茨泵的进气口与镀膜仓1连通，罗茨泵的出气口与维持泵的进气口连通。第二抽气装置22包括扩散冷井、扩散泵和粗轴泵，具体地，扩散冷井与镀膜仓1连通，扩散泵的进气口与扩散冷井连通，扩散泵的出气口与罗茨泵的进气口连通，罗茨泵的出气口连通粗轴泵的进气口。第三抽气装置23包括扩散冷井、扩散泵与维持泵；扩散冷井与镀膜仓1连通，扩散泵的进气口与扩散冷井连通，扩散泵的出气口与维持泵的进气口连通。其中粗轴泵为旋片式机械泵、扩散泵为分子泵。
41.在第一抽气装置21、第二抽气装置22和第三抽气装置23的作用下，能够使得镀膜仓1内的真空度得到进一步提高，以使得柔性膜的镀膜环境更可靠。
42.参照图5，为了减少在镀膜仓1内镀膜时，磁控溅射发生器射出的粒子污染镀膜仓1的内底璧，本技术实施例中在镀膜仓1内设置有可拆卸的清洁板7。具体地，清洁板7为弧形，且清洁板7的外弧面和镀膜仓1的内弧面相适配，清洁板7的外弧面设置有沿着清洁板7长度方向的导向板，固定仓1的内壁开设有导向槽，导向板与导向槽滑动配合使得清洁板7能够沿着镀膜仓1的长度方向固定在镀膜仓1内腔的底部。同时清洁板7的一端开设有让位槽71，第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2以及第三磁控溅射发生器m3均位于让位槽71内，使得在安装或拆卸清洁板时，不会对磁控溅射发生器产生影响。第一磁控溅射发生器m1、第二磁控溅射发生器m2以及第三磁控溅射发生器m3在工作时产生的溅射粒子会会跌落在清洁板7的内弧面，减少了对镀膜仓1内壁的污染。
43.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。