一种ITO卷绕镀膜设备的制作方法

技术特征：
1.一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：包括镀膜仓(1)以及与镀膜仓(1)连通的抽真空系统(2)；镀膜仓(1)固设有第一磁控溅射发生器m1和第二磁控溅射发生器m2用于对柔性膜进行镀膜，镀膜仓(1)内设置有备用磁控溅射发生器m3；还包括切换模块(3)，切换模块(3)连接于第一磁控溅射发生器m1第二磁控溅射发生器m2以及备用磁溅发生器m3的供电回路，在第一磁控溅射发生器m1或第二磁控溅射发生器m2发生断路时输出切换信号，以控制备用磁控溅射发生器m3得电进行镀膜。2.根据权利要求1所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述切换模块(3)包括第一电磁继电器km1和第二电磁继电器km2，第一电磁继电器km1的线圈串联在第一磁控溅射发生器m1的供电回路中，第二电磁继电器km2的线圈串联在第二磁控溅射发生器m2的供电回路中；第一电磁继电器km1的常闭触点km1
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1串联在备用磁控溅射发生器m3的供电回路中，电磁继电器km2的常闭触点km2
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1与电磁继电器km1的常闭触点km1
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1并联。3.根据权利要求1所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述镀膜仓(1)的一端可拆卸设置有密封端盖(4)，密封端盖(4)上固设有用于固定待镀膜的柔性膜卷筒的放卷辊(41)、用于收卷镀膜后柔性膜的收卷辊(44)、用于伸展导向柔性膜的导向辊(42)；所述密封端盖(4)上还固设有张紧装置(5)使得柔性膜张紧。4.根据权利要求3所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述张紧装置(5)包括驱动电机(51)、固定板(52)以及摆动辊(53)，所述固定板(52)与驱动电机(51)的输出轴固定连接，所述摆动辊(53)与所述固定板(52)固定连接。5.根据权利要求3所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述密封端盖(4)上还固设有伸展辊(43)，伸展辊(43)的外径大于放卷辊(41)、收卷辊(44)以及导向辊(42)的外径。6.根据权利要求1所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述抽真空系统(2)包括第一抽气装置(21)、第二抽气装置(22)和第三抽气装置(23)，第一抽气装置(21)、第二抽气装置(22)和第三抽气装置(23)均与镀膜仓(1)连通。7.根据权利要求3所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述密封端盖(4)的外侧固设有移动组件(6)，所述移动组件(6)能够带动密封端盖(4)靠近或远离镀膜仓(1)。8.根据权利要求7所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述移动组件(6)包括固定台(61)和加固撑杆(62)，密封端盖(4)与固定台(61)固定连接，加固撑杆(62)同时与固定台(61)和密封端盖(4)固定；固定台(61)与设置在地面上的导轨(63)滑动配合。9.根据权利要求1所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述镀膜仓(1)的外壁上固设有观察筒(11)，所述观察筒(11)与镀膜仓(1)的内腔连通；所述观察筒(11)远离镀膜仓(1)的一端固设有密封透镜片(12)。10.根据权利要求3所述的一种ito卷绕镀膜设备，其特征在于：所述密封端盖(4)的内侧固设有密封垫圈(45)，密封垫圈(45)能够和镀膜仓(1)的内壁贴合。

技术总结
本申请涉及薄膜生产技术的领域，尤其是涉及一种ITO卷绕镀膜设备，其包括镀膜仓以及与镀膜仓连通的抽真空系统；镀膜仓固设有第一磁控溅射发生器M1和第二磁控溅射发生器M2用于对柔性膜进行镀膜，镀膜仓内设置有备用磁控溅射发生器M3；还包括切换模块，切换模块连接于第一磁控溅射发生器M1第二磁控溅射发生器M2以及备用磁溅发射器M3的供电回路，在第一磁控溅射发生器M1或第二磁控溅射发生器M2发生断路时输出切换信号，以控制备用磁控溅射发生器M3得电进行镀膜。本申请具有减少磁控溅射发生器发生故障时造成的生产成本的增加的效果。器发生故障时造成的生产成本的增加的效果。器发生故障时造成的生产成本的增加的效果。


技术研发人员：何强民 宋永进
受保护的技术使用者：深圳市康盛光电科技有限公司
技术研发日：2021.06.28
技术公布日：2021/10/15