一种组合坩埚的制作方法

1.本实用新型涉及一种热场装置，具体涉及到一种单晶硅或多晶硅的制造过程中的一种组合坩埚。


背景技术：

2.在单晶硅的制作中，目前普遍采用直拉法(cz法)，就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在制造设备中，有一个部件是石墨坩埚，它是用来承载内部的石英坩埚的。在使用过程中，由于石英坩埚和石墨坩埚的膨胀系数不同，而且硅蒸汽与石墨会产生侵蚀反应的原因，存在石墨坩埚龟裂、侵蚀失强等问题。而且，随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗，相应的单晶炉的直径也越做越大，这样对热场的可靠性也要求越来越高。由于石墨坩埚强度的局限性，直径越大那么其壁厚要求也越大，所以重量很重，而且热容很高，导致操作笨重，耗能增加，成本提高。
3.现有技术的坩埚是整体式的坩埚，放置在托盘上后底下连接托杆上盘，坩埚和托盘是分开式的，在坩埚的底部弧形的位置特别容易破裂损坏，一旦破裂则整个坩埚必须报废，成本很高；此外，坩埚和托盘是两部分的，托盘的存在增加成本。
4.因此，现有技术还有提升的地方。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种组合坩埚，结构可靠、产品质量一致，以解决现有的技术问题。
6.为实现上述目的，本实用新型采用了以下的技术方案：
7.一种组合坩埚，包括埚壁和埚底，其中，所述埚壁为一中空圆筒体；所述埚底插入连接所述埚壁。
8.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述埚底包括圆弧内面、外缘面和外缘底面，所述外缘面连接所述埚壁的内壁面。
9.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述埚壁的中空圆筒体是编织结构的或者是实体结构的。
10.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述埚壁的中空圆筒体的编织结构的端口为封边的或不封边的，所述埚壁的中空圆筒体的编织结构为交叉编织的或螺旋编织的。
11.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述埚壁的中空圆筒体的实体结构为碳碳整体埚壁或拼接埚壁。
12.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，还包括一托杆上盘，所述托杆上盘的上表面连接所述埚壁的端面和所述埚底的外缘底面。
13.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述外缘底面包括一第一底面、一第二底面和一底连接面，所述底连接面的两端分别连接所述第一底面和第二底面；所述托杆上盘的上表面对应所述第一底面、第二底面和底连接面的位置分别为第一盘面、第二盘面和盘连
接面。
14.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述第一底面和所述底连接面的夹角是90度。
15.本申请较佳实施例所述的组合坩埚，所述第一盘面和所述埚壁的端面不在一个平面。
16.本申请的设计理念是，设计出一种组合式的坩埚包括埚壁和埚底，组合后直接连接托杆上盘的上端，埚壁和埚底为分开的两个部件；又或者是将埚壁分为两段式，例如分为圆筒部和弧形部，所以在埚底或弧形部损坏时，只要更换埚底或弧形部就好了，不需要报废整个坩埚，既达到安全生产，又有节省材料降低费用的效果，提高企业市场竞争力。
17.由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：
18.第一、本申请只需要更换局部易损件，不需要报废整个坩埚，既达到安全生产，又有节省材料降低费用的效果；
19.第二、本申请结构上少了托盘，材料成本低。
20.当然，实施本申请内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。
附图说明
21.图1为本申请一种组合坩埚示意图；
22.图2为本申请埚底的示意图；
23.图3为本申请另外一种组合坩埚示意图；
24.图4为图3中a部放大示意图；
25.图5为图3中a部另外一种实施例示意图。
具体实施方式
26.为便于理解，以下结合附图对本实用新型的较佳实施例做进一步详细叙述。
27.请参考图1和图2，本申请一种组合坩埚示意图，
28.一种组合坩埚包括埚壁10、埚底20和托杆上盘30，其中，如图1所示，所述埚壁10为一中空圆筒体；所述埚底20插入连接所述埚壁10，如图2所示，所述埚底20是一个实心圆形块体，所述埚底20包括圆弧内面21、外缘面22和外缘底面23，所述外缘面22连接所述埚壁10的内壁面；所述托杆上盘30的上表面连接所述埚壁10的端面和所述埚底20的外缘底面23。所述托杆上盘30的上表面连接所述埚壁10的端面起到固定、支撑的作用。
29.优选的，所述埚壁10的中空圆筒体可以是编织结构的或者是实体结构的。所述埚壁10的中空圆筒体的编织结构的端口可以是封边的或不封边的，所述埚壁10的中空圆筒体的编织结构可以是交叉编织的或螺旋编织的。另外，所述埚壁10的中空圆筒体的实体结构可以是碳碳整体埚壁或拼接埚壁其中的一种。
30.优选的，所述外缘底面23包括一第一底面231、一第二底面233和一底连接面232，所述底连接面232的两端分别连接所述第一底面231和第二底面233；所述托杆上盘30的上表面对应所述第一底面231、第二底面233和底连接面232的位置分别为第一盘面、第二盘面和盘连接面。如图2所示，所述外缘底面23由外到内依序为第一底面231、底连接面232和第
二底面233，优选的，所述第一底面231和所述底连接面232的夹角是90度，但是不能用来限制本申请，大于90度的话，只要方便埚底20和托杆上盘30的连接，都应该是本申请的保护范围。
31.此外，优选的，所述第一盘面和所述埚壁10的端面不在一个平面，但是不能用来限制本申请，如图1所示，所述第一盘面和所述埚壁10的端面形成阶梯状，这种连接方式更稳定，埚壁10的支撑力更大，不容易偏移。
32.请参考图3和图4，本申请另外一种组合坩埚示意图，所述组合坩埚包括埚壁10和托杆上盘30，所述埚壁10设置在所述托杆上盘30上，其中，所述埚壁10为一中空圆筒体，所述埚壁10包括圆筒部11和弧形部12，所述埚壁10和所述托杆上盘30连接的地方为弧形部12，如图4所示，图4为图3中a部放大示意图，所述弧形部12的端面为一凸台或凹台；所述托杆上盘30和所述弧形部12的端面连接的地方对应的为一凹台或凸台。请参考图5，图5为图3中a部另外一种实施例示意图，弧形部12的端面的另外一种凸台或凹台的实施例。这种凸台或凹台的连接设计可以使得埚壁10和托杆上盘30的连接更加稳定。
33.由于采用了以上的技术方案，使得本实用新型具有如下的优点效果：
34.第一、本申请只需要更换局部易损件，不需要报废整个坩埚，既达到安全生产，又有节省材料降低费用的效果；
35.第二、本申请结构上少了托盘，材料成本低。
36.当然，实施本实用新型内容的任何一个具体实施例，并不一定同时具有以上全部的技术效果。
37.以上公开的仅仅是本实用新型的较佳实施例，但并非用来限制其本身，任何熟习本领域的技术人员在不违背本实用新型精神内涵的情况下，所做的均等变化和更动，均应落在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种组合坩埚，其特征在于，包括埚壁和埚底，其中，所述埚壁为一中空圆筒体；所述埚底插入连接所述埚壁；所述埚底包括圆弧内面、外缘面和外缘底面，所述外缘面连接所述埚壁的内壁面；所述埚壁的中空圆筒体是编织结构的或者是实体结构的。2.如权利要求1所述的组合坩埚，其特征在于，所述埚壁的中空圆筒体的编织结构的端口为封边的或不封边的，所述埚壁的中空圆筒体的编织结构为交叉编织的或螺旋编织的。3.如权利要求1所述的组合坩埚，其特征在于，所述埚壁的中空圆筒体的实体结构为碳碳整体埚壁或拼接埚壁。4.如权利要求1所述的组合坩埚，其特征在于，还包括一托杆上盘，所述托杆上盘的上表面连接所述埚壁的端面和所述埚底的外缘底面。5.如权利要求4所述的组合坩埚，其特征在于，所述外缘底面包括一第一底面、一第二底面和一底连接面，所述底连接面的两端分别连接所述第一底面和第二底面；所述托杆上盘的上表面对应所述第一底面、第二底面和底连接面的位置分别为第一盘面、第二盘面和盘连接面。6.如权利要求5所述的组合坩埚，其特征在于，所述第一底面和所述底连接面的夹角是90度。7.如权利要求6所述的组合坩埚，其特征在于，所述第一盘面和所述埚壁的端面不在一个平面。

技术总结
本实用新型涉及一种组合坩埚，包括埚壁、埚底和托杆上盘，其中，所述埚壁为一中空圆筒体；所述埚底插入连接所述埚壁，所述埚底包括圆弧内面、外缘面和外缘底面，所述外缘面连接所述埚壁的内壁面；所述托杆上盘的上表面连接所述埚壁的端面和所述埚底的外缘底面。本申请只需要更换局部易损件，不需要报废整个坩埚，既达到安全生产，又有节省材料降低费用的效果。果。果。


技术研发人员：申富强
受保护的技术使用者：上海骐杰碳素材料有限公司
技术研发日：2020.10.21
技术公布日：2021/11/2