多半导体裸片容器装载端口的制作方法

1.本发明实施例涉及多半导体裸片容器装载端口。


背景技术：

2.裸片是其上制造功能电路的半导体材料的小块。通常，通过例如光刻的过程来在半导体材料的单个晶片上大批量产生集成电路。将半导体晶片切割(例如切块)成若干件(例如裸片)，每一件含有集成电路的复制。


技术实现要素：

3.本发明的实施例涉及一种多裸片容器装载端口，其包括：外壳，其具有开口；升降机，其用于容纳多个不同大小的裸片容器；载物台，其由所述外壳支撑且可通过所述升降机来移动于所述外壳的所述开口内，其中所述载物台包含用于促进所述多个不同大小的裸片容器定位于所述载物台上的一或多个定位机构，其中所述载物台包含可由所述升降机移动以容纳所述多个不同大小的裸片容器的不同部分；及位置传感器，其用于识别定位于所述载物台上的所述多个不同大小的裸片容器中的一者。
4.本发明的实施例涉及一种方法，其包括：检测多裸片容器装载端口的载物台上的裸片容器，其中所述多裸片容器装载端口包含具有开口的外壳、用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机及所述载物台，所述载物台具有可通过所述升降机来移动于所述外壳的所述开口内以容纳所述多个不同大小的裸片容器的不同部分；将所述裸片容器识别为所述多个不同大小的裸片容器中的一者；及由所述升降机基于将所述裸片容器识别为所述多个不同大小的裸片容器的所述一者来移动所述载物台的所述不同部分中的一或多者。
5.本发明的实施例涉及一种多裸片容器装载端口，其包括：外壳；升降机；载物台，其由所述外壳支撑且可通过所述升降机来移动于所述外壳内，其中所述载物台支撑两种或更多种不同类型的裸片容器；及位置传感器，其用于识别由所述载物台支撑的裸片容器的类型，其中当裸片容器的所述类型是托盘时，所述升降机将移动所述载物台的一部分及所述托盘以与传送机对准，其中当裸片容器的所述类型是具有裸片托盘的箱盒时，所述升降机将移动所述载物台及所述箱盒以与所述传送机对准，且其中当裸片容器的所述类型是具有裸片托盘的托盘匣时，所述升降机将使所述托盘匣的所述托盘中的一或多者与所述载物台的所述部分一起移动以与所述传送机对准。
附图说明
6.从结合附图解读的以下详细描述最佳理解本发明的方面。应注意，根据行业标准做法，各种构件未按比例绘制。事实上，为使讨论清楚，可任意增大或减小各种构件的尺寸。
7.图1a到图3d是本文中所描述的多裸片容器装载端口的实例性实施方案的图式。
8.图4是多裸片容器装载端口的实例性组件的图式。
9.图5是使用多裸片容器装载端口来处置裸片容器的实例性过程的流程图。
具体实施方式
10.以下揭示提供用于实施所提供标的物的不同特征的许多不同实施例或实例。下文将描述组件及布置的特定实例以简化本揭示。当然，这些仅为实例且不希望具限制性。例如，在以下描述中，在第二构件上方或第二构件上形成第一构件可包含其中形成直接接触的所述第一构件及所述第二构件的实施例，且还可包含其中额外构件可形成于所述第一构件与所述第二构件之间使得所述第一构件及所述第二构件可不直接接触的实施例。另外，本揭示可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复是为了简单及清楚且其本身不指示所讨论的各种实施例及/或配置之间的关系。
11.此外，为便于描述，例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”及类似物的空间相对术语在本文中可用于描述一元件或构件与另一(些)元件或构件的关系，如图中所说明。除图中所描绘的定向之外，空间相对术语还希望涵盖装置在使用或操作中的不同定向。可依其它方式(旋转90度或以其它定向)定向设备且还可因此解译本文中所使用的空间相对描述词。
12.在一些例子中，使用裸片处理工具(例如裸片分选器)来测试来自半导体晶片的裸片且将其分成不同质量或其它特性的类别。尽管半导体晶片上的所有裸片希望是相同的，但情况并不总是如此。需要根据裸片特性来分选裸片以实现成本效益、高良率裸片附着或接线生产操作。当前，经由存储具有多个裸片的裸片容器的装载端口来将裸片提供到裸片分选器工具。存在不同类型的裸片容器(例如具有不同形状及大小)，例如托盘、箱盒、托盘匣及/或类似物。托盘可存储特定数量的裸片(例如两个或更多个裸片)，其取决于裸片的大小。箱盒及托盘匣可存储多个托盘，但托盘匣可在大小上大于箱盒且可存储比箱盒多的托盘。然而，当前装载端口经设计以存储单个类型的裸片容器且必须针对不同类型的裸片容器来修改。针对不同类型的裸片容器来修改当前装载端口浪费资源(例如人力资源、工具资源、制造资源及/或类似物)且产生不灵活生产要求。
13.根据本文中所描述的一些实施方案，一种多半导体裸片容器装载端口可在无需针对不同半导体裸片容器来修改装载端口的情况下处置多个不同半导体裸片容器。例如，所述多裸片容器装载端口可包含具有开口的外壳及用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机。所述多裸片容器装载端口可包含由所述外壳支撑且可通过所述升降机来移动于所述外壳的所述开口内的载物台。所述载物台可包含用于促进所述多个不同大小的裸片容器定位于所述载物台上的一或多个定位机构，且可包含可由所述升降机移动以容纳所述多个不同大小的裸片容器的不同部分。所述多裸片容器装载端口可包含用于识别定位于所述载物台上的所述多个不同大小的裸片容器中的一者的位置传感器。
14.依此方式，所述多半导体裸片容器装载端口可在无需针对不同半导体裸片容器来修改装载端口的情况下处置多个不同半导体裸片容器。例如，所述多半导体裸片容器装载端口可处置具有裸片的托盘、具有托盘的箱盒、具有托盘的托盘匣及/或类似物。因此，所述多半导体裸片容器装载端口可防止由人为处置裸片容器引起的裸片损坏，可增加裸片生产功能的处理量，可节约资源(例如人力资源、工具资源及/或制造资源)(其原本要用于修改装载端口以支撑不同类型的裸片容器)，及/或类似物。
15.图1a到图1d是本文中所描述的多裸片容器装载端口105的图式100。如图1a中所展示，多裸片容器装载端口105可包含载物台110、外壳115及升降机120。多裸片容器装载端口
105可处置不同类型的裸片容器，例如托盘125、箱盒130、托盘匣135及/或类似物。
16.载物台110包含用于支撑不同裸片容器(例如托盘125、箱盒130、托盘匣135及/或类似物)的机构。例如，载物台110可经设定大小及塑形以支撑不同裸片容器且可包含用于支撑托盘125的第一部分及用于支撑箱盒130及托盘匣135的第二部分，如下文将更完全描述。载物台110可由足够刚性以支撑不同裸片容器的重量的一或若干材料构成。例如，载物台110可由钢、铝、合金、塑料及/或类似物构成。下文将结合图1b到图3d中的一或多者来提供载物台110的进一步细节。
17.外壳115包含支撑载物台110及/或升降机120的结构。例如，外壳115可经设定大小及塑形以使载物台110及/或载物台110的部分能够移动到外壳115内的不同高度。载物台110可由升降机120移动到不同高度以使载物台110与相关联于不同裸片处理工具(例如裸片分选器工具)的传送机的高度对准。外壳115可由足够刚性以支撑不同裸片容器、载物台110、升降机120及/或类似物的重量的一或若干材料构成。例如，外壳115可由钢、铝、合金、塑料及/或类似物构成。下文将结合图1b到图3d中的一或多者来提供外壳115的进一步细节。
18.升降机120包含使载物台110移动到外壳115内的不同高度的类型的垂直运送机构。升降机120可连接到外壳115且由外壳115支撑或可自支撑。升降机120可由驱动牵引索及平衡重系统(例如起重机)的一或多个电动发动机供电。升降机120可经设定大小及塑形以使载物台110移动到外壳115内的不同高度。例如，升降机120可经设定大小及塑形以支撑及移动不同裸片容器及载物台110的重量。升降机120可使载物台110移动到不同高度以使载物台110与相关联于不同裸片处理工具的传送机的高度对准。升降机120可由足够刚性以支撑及移动不同裸片容器及载物台110的重量的一或若干材料构成。例如，升降机120或升降机120的组件可由钢、铝、合金、塑料及/或类似物构成。在一些实施方案中，升降机120包含或可相关联于将裸片或裸片容器提供到与不同裸片处理工具相关联的传送机的机构(例如传送机、机器人及/或类似物)。下文将结合图1b到图3d中的一或多者来提供升降机120的进一步细节。
19.托盘125包含承载多个裸片的支撑结构。例如，托盘125可经设定大小及塑形以承载两个或更多个裸片，其取决于裸片的大小及/或托盘125的大小。在一些实施方案中，托盘125的支撑结构可包含经设定大小及塑形以接纳及保持裸片的嵌件。例如，托盘125的支撑结构可呈矩形以在支撑结构中支撑裸片行。托盘125可由足够刚性以支撑裸片但不损坏裸片的材料(例如塑料、钢及/或类似物)构成。尽管托盘125在图1a中展示为具有矩形形状，但在一些实施方案中，托盘125可具有不同形状。此外，尽管图1a描绘载物台110上的多个托盘125，但在一些实施方案中，载物台110可支撑单个托盘125。
20.箱盒130包含存储多个托盘125的结构。例如，箱盒130可经设定大小及塑形以存储两个或更多个托盘125，其取决于托盘125的大小及/或箱盒130的大小。在一些实施方案中，箱盒130的结构可包含经设定大小及塑形以接纳及保持托盘125的开口。例如，箱盒130的结构可呈盒形，其中前开口用于将托盘125接纳于箱盒130中及/或从箱盒130移出托盘125。箱盒130可由足够刚性以支撑托盘125的材料(例如塑料、钢及/或类似物)构成。在一些实施方案中，箱盒130可占用比由托盘125占用的载物台110的面积大的载物台110的面积。尽管箱盒130在图1a中展示为具有盒形(例如矩形盒形)，但在一些实施方案中，箱盒130可具有不
同形状。
21.托盘匣135包含存储多个托盘125(比箱盒130多的托盘125)的结构。例如，托盘匣135可经设定大小及塑形以存储两个或更多个托盘125，其取决于托盘125的大小及/或托盘匣135的大小。在一些实施方案中，托盘匣135的结构可包含经设定大小及塑形以接纳及保持托盘125的插槽。例如，托盘匣135的结构可呈盒形，其中底部开口用于将托盘125接纳于托盘匣135中及/或从托盘匣135移出托盘125。托盘匣135可由足够刚性以支撑托盘125的材料(例如塑料、钢及/或类似物)构成。在一些实施方案中，托盘匣135可占用比由箱盒130占用的载物台110的面积大的载物台110的面积。尽管托盘匣135在图1a中展示为具有盒形(例如矩形盒形)，但在一些实施方案中，托盘匣135可具有不同形状。
22.如图1b中左边所展示，多裸片容器装载端口105可包含多个升降机120，例如第一升降机120
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1、第二升降机120
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2及第三升降机120
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3(统称为升降机120)。升降机120中的每一者可包含升降机发动机140、升降机轴件145及升降机载物台150。升降机发动机140可包含对升降机120供电且经由升降机轴件145来使升降机载物台150沿垂直方向(例如向上朝向载物台110及向下远离载物台110)移动(如由升降机箭头的运动所指示)的一或多个电动发动机。升降机轴件145可包含由足够刚性以支撑载物台110、升降机载物台150及不同类型的裸片容器的重量的材料(例如钢、铝及/或类似物)构成的轴件。升降机载物台150可包含类似于载物台110但经设定大小及塑形以接合及/或支撑载物台110的载物台。
23.如图1b中左边所进一步展示，载物台110可提供于顶部位置处(例如在外壳115的顶部处)以接纳托盘125。因此，顶部位置可称为载物台110的装载位置，因为托盘125在顶部位置处装载于载物台110上。如图1b中右边且由元件符号155所展示，第二升降机120
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2(例如经由升降机轴件145及升降机载物台150)可使载物台110的第一部分及托盘125在外壳115内向下移动远离载物台110的装载位置(例如在外壳115的顶部处)。在一些实施方案中，第二升降机120
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2可使载物台110的第一部分及托盘125移动到与裸片处理工具的传送机对准的高度，使得托盘125可提供到传送机。如图1b中右边所进一步展示，载物台110的第一部分可提供于底部位置处(例如在外壳115的底部处)以卸除托盘125。因此，底部位置可称为载物台110的卸除位置，因为托盘125在底部位置处从载物台110卸除。如由元件符号160所展示，载物台110的第二部分可保持于顶部位置处。
24.如图1c中左边所展示，载物台110可提供于顶部位置处(例如在外壳115的顶部处)以接纳箱盒130。因此，顶部位置可称为载物台110的装载位置，因为箱盒130在顶部位置处装载于载物台110上。如图1c中右边且由元件符号165所展示，第一升降机120
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1、第二升降机120
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2及第三升降机120
‑
3(例如经由升降机轴件145及升降机载物台150)可使整个载物台110(例如载物台110的第一部分及第二部分)及箱盒130在外壳115内向下移动远离载物台110的装载位置(例如在外壳115的顶部处)。在一些实施方案中，第一升降机120
‑
1、第二升降机120
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2及第三升降机120
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3可使载物台110的第一部分及第二部分及箱盒130移动到与裸片处理工具的传送机对准的高度，使得箱盒130的托盘125可提供到传送机。如图1c中右边所进一步展示，整个载物台110可提供于底部位置处(例如在外壳115的底部处)以从箱盒130卸除托盘125。因此，底部位置可称为载物台110的卸除位置，因为箱盒130的托盘125在底部位置处从载物台110卸除。
25.如图1d中左边所展示，载物台110可提供于顶部位置处(例如在外壳115的顶部处)
以接纳托盘匣135(例如具有托盘125)。因此，顶部位置可称为载物台110的装载位置，因为托盘匣135在顶部位置处装载于载物台110上。为从托盘匣135移出托盘125，第二升降机120
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2可向上移动升降机载物台150以接合载物台110的第一部分的底面(例如支撑托盘125)。如图1d中右边且由元件符号170所展示，第二升降机120
‑
2(例如经由升降机轴件145及升降机载物台150)可使载物台110的第一部分及托盘匣135的托盘125在外壳115内向下移动远离载物台110的装载位置(例如在外壳115的顶部处)。在一些实施方案中，第二升降机120
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2可使载物台110的第一部分及托盘匣135的托盘125移动到与裸片处理工具的传送机对准的高度，使得托盘125可提供到传送机。如图1d中右边所进一步展示，载物台110的第一部分可提供于底部位置处(例如在外壳115的底部处)以卸除托盘匣135的托盘125。因此，底部位置可称为载物台110的卸除位置，因为托盘匣135的托盘125在底部位置处从载物台110卸除。如由元件符号175所展示，载物台110的第二部分可保持于顶部位置处且可支撑托盘匣135。
26.如上文所指示，图1a到图1d仅供为一或多个实例。其它实例可不同于相对于图1a到图1d所描述的实例。
27.图2a到图2e是本文中所描述的多裸片容器装载端口105的载物台110的图式200。如图2a中所展示，载物台110可包含托盘载物台部分205、箱盒载物台部分210及托盘匣载物台部分215。托盘载物台部分205可包含支撑及保持托盘125的载物台110的一部分。箱盒载物台部分210可包含支撑及保持箱盒130的载物台110的一部分。托盘匣载物台部分215可包含支撑及保持托盘匣135的载物台110的一部分。在一些实施方案中，托盘匣载物台部分215的面积可大于箱盒载物台部分210的面积，且箱盒载物台部分210的面积可大于托盘载物台部分205的面积。在一些实施方案中，托盘载物台部分205及托盘匣载物台部分215的宽度可相等或基本上相等，且托盘载物台部分205及托盘匣载物台部分215的宽度可大于箱盒载物台部分210的宽度。
28.如图2b中所展示，载物台110(例如载物台110的第一部分)可包含将托盘125定位于载物台110上的一或多个托盘定位块220。当托盘125呈矩形形状、正方形形状及/或类似物时，托盘定位块220可经设定大小及塑形以接触托盘125的一或多个角。托盘定位块220可由足够刚性以将托盘125定位于载物台110上的材料(例如塑料、钢、橡胶及/或类似物)构成。如图2b中右边所展示，载物台110可包含对应于托盘125的四个角的四个托盘定位块220。托盘定位块220可将托盘125定向于载物台110上，使得托盘125可与裸片处理工具的传送机对准且可提供到传送机。
29.如图2c中所展示，载物台110可包含用于将箱盒130定位于载物台110上的箱盒导槽225。箱盒导槽225可经设定大小及塑形以接触及保持箱盒130的底部边缘。例如，箱盒导槽225可包含相同于箱盒130的底部边缘的形状的形状，例如矩形形状、正方形形状及/或类似物。箱盒导槽225可提供于载物台110的第二部分中，且箱盒130可装配于箱盒导槽225内，如图2c的顶部处所展示。箱盒导槽225可由足够刚性以将箱盒130定位于载物台110上的材料(例如塑料、钢、橡胶及/或类似物)构成。如图2c中右边所展示，载物台110可包含对应于矩形箱盒130的矩形箱盒导槽225。箱盒导槽225可将箱盒130定向于载物台110上，使得箱盒130的托盘125可与裸片处理工具的传送机对准且可提供到传送机。
30.如图2d中所展示，载物台110(例如载物台110的第二部分)可包含用于将托盘匣
135定位于载物台110上的一或多个托盘匣定位块230。当托盘匣135呈矩形形状、正方形形状及/或类似物时，托盘匣定位块230可经设定大小及塑形以接触托盘匣135的一或多个角。托盘匣定位块230可由足够刚性以将托盘匣135定位于载物台110上的材料(例如塑料、钢、橡胶及/或类似物)构成。如图2d中右边所展示，载物台110可包含对应于托盘匣135的四个角的四个托盘匣定位块230。托盘匣定位块230可将托盘匣135定向于载物台110上，使得托盘匣135的托盘125可与裸片处理工具的传送机对准且可提供到传送机。
31.如图2e中所展示，载物台110可包含一或多个托盘位置传感器235及一或多个托盘存在传感器240。托盘位置传感器235可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第一部分上)的托盘125的位置的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测托盘125的位置可引起托盘位置传感器235产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示托盘125正确定位于载物台110上的信号。如果托盘125不正确定位于载物台110上，那么托盘位置传感器235可将指示托盘125不正确定位于载物台110上的信号提供到多裸片容器装载端口105。依此方式，多裸片容器装载端口105可(例如向多裸片容器装载端口105的操作者)提供指示托盘125不正确定位于载物台110上的通知(例如，使得机械臂或操作者可校正托盘125在载物台110上的位置)。
32.托盘存在传感器240可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第一部分上)的托盘125的存在的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测托盘125的存在可引起托盘存在传感器240产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示托盘125提供于载物台110上的信号。依此方式，多裸片容器装载端口105可确定托盘125可用于由多裸片容器装载端口105操纵。来自托盘位置传感器235的信号、来自托盘存在传感器240的信号或其组合可用于启用升降机120。例如，当来自托盘位置传感器235的信号指示正确定位托盘125时及/或当来自托盘存在传感器240的信号指示托盘125存在时，可启用升降机120供使用，可停用升降机120直到被启用，及/或类似物。
33.如图2e中所进一步展示，载物台110可包含一或多个箱盒位置传感器245及一或多个箱盒存在传感器250。箱盒位置传感器245可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第二部分上)的箱盒130的位置的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测箱盒130的位置可引起箱盒位置传感器245产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示箱盒130正确定位于载物台110上的信号。如果箱盒130不正确定位于载物台110上，那么箱盒位置传感器245可将指示箱盒130不正确定位于载物台110上的信号提供到多裸片容器装载端口105。依此方式，多裸片容器装载端口105可(例如向多裸片容器装载端口105的操作者)提供指示箱盒130不正确定位于载物台110上的通知(例如，使得机械臂或操作者可校正箱盒130在载物台110上的位置)。
34.箱盒存在传感器250可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第二部分上)的箱盒130的存在的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测箱盒130的存在可引起箱盒存在传感器250产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示箱盒130提供于载物台110上的信号。依此方式，多裸片容器装载端口105可确定箱盒130可用于由多裸片容器装载端口105操纵。来自箱盒位置传感器245的信号、来自箱盒存在传感器250的信号或其组合可用于启用升降机120。例如，当来自箱盒位置传感器245的信号指示正确定位箱盒130时及/或当来自箱盒存在传感器250的信号指
示箱盒130存在时，可启用升降机120供使用，可停用升降机120直到被启用，及/或类似物。
35.如图2e中所进一步展示，载物台110可包含一或多个托盘匣位置传感器255及一或多个托盘匣存在传感器260。托盘匣位置传感器255可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第二部分上)的托盘匣135的位置的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测托盘匣135的位置可引起托盘匣位置传感器255产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示托盘匣135正确定位于载物台110上的信号。如果托盘匣135不正确定位于载物台110上，那么托盘匣位置传感器255可将指示托盘匣135不正确定位于载物台110上的信号提供到多裸片容器装载端口105。依此方式，多裸片容器装载端口105可(例如向多裸片容器装载端口105的操作者)提供指示托盘匣135不正确定位于载物台110上的通知(例如，使得机械臂或操作者可校正托盘匣135在载物台110上的位置)。
36.托盘匣存在传感器260可包含识别及检测载物台110上(例如载物台110的第二部分上)的托盘匣135的存在的光学传感器、压力传感器及/或类似物。在一些实施方案中，检测托盘匣135的存在可引起托盘匣存在传感器260产生向多裸片容器装载端口105(例如多裸片容器装载端口105的处理器)指示托盘匣135提供于载物台110上的信号。依此方式，多裸片容器装载端口105可确定托盘匣135可用于由多裸片容器装载端口105操纵。来自托盘匣位置传感器255的信号、来自托盘匣存在传感器260的信号或其组合可用于启用升降机120。例如，当来自托盘匣位置传感器255的信号指示正确定位托盘匣135时及/或当来自托盘匣存在传感器260的信号指示托盘匣135存在时，可启用升降机120供使用，可停用升降机120直到被启用，及/或类似物。
37.如上文所指示，图2a到图2e仅供为一或多个实例。其它实例可不同于相对于图2a到图2e所描述的实例。
38.图3a到图3d是本文中所描述的多裸片容器装载端口105的图式300。图3a提供多裸片容器装载端口105的透视图。如图中所展示，外壳115可包含收容第二升降机120
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2且使多裸片容器装载端口105能够将托盘125提供到裸片处理工具的一或多个传送机的开口305。如图3a中且由元件符号310所进一步展示，整个载物台110可在开口305内向上及向下移动(例如经由升降机120)。在一些实施方案中，当裸片容器是托盘125或托盘匣135时，第二升降机120
‑
2可使载物台的第一部分240在开口305内向上及向下移动。在一些实施方案中，当裸片容器是箱盒130时，升降机120可使载物台110的第一部分及第二部分在开口305内向上及向下移动。如图3a中且由元件符号315所进一步展示，第二升降机120
‑
2可在开口305内向上及向下移动以使载物台110的第一部分向上及向下移动。
39.图3b提供多裸片容器装载端口105的俯视图且展示载物台110及外壳115。载物台110及外壳115可包含本文中别处所描述的特征。如图3b中且由元件符号320所进一步展示，载物台110及外壳115可经设定大小及塑形使得整个载物台110可装配于外壳115的开口305内。如图3b中所进一步展示，载物台110可包含两个部分：内第一部分325及外第二部分330。第二部分330可在大小上大于第一部分325，且开口335可分离第一部分325与第二部分330。在一些实施方案中，载物台110的第一部分325可用于支撑及运送托盘125及/或来自托盘匣135的一或多个托盘125到传送机(例如经由第二升降机120
‑
2)。在一些实施方案中，载物台110的第二部分330可用于支撑及运送箱盒130到传送机(例如经由升降机120)及/或支撑托
盘匣135。
40.图3c提供多裸片容器装载端口105的侧视图且展示载物台110、外壳115及第一升降机120
‑
2。载物台110、外壳115及第一升降机120
‑
1可包含本文中别处所描述的特征。如图3c中所进一步展示，额外开口340可提供于载物台110的装载位置附近的外壳115的侧上。额外开口340可确保在载物台110向下移动到外壳115中时附着到载物台110且在外壳115外部延伸的组件不接触外壳115。
41.图3d提供多裸片容器装载端口105的俯视图且展示载物台110、托盘125、箱盒130及托盘匣135。载物台110、托盘125、箱盒130及托盘匣135可包含本文中别处所描述的特征。如图3d中所进一步展示，托盘125可由载物台110的第一面积支撑，箱盒130可由载物台的第二面积支撑，且托盘匣135可由载物台的第三面积支撑。第三面积(例如由托盘匣135包围的面积)可大于第二面积(例如由箱盒130包围的面积)，且第二面积可大于第一面积(例如由托盘125包围的面积)。
42.如上文所指示，图3a到图3d仅供为一或多个实例。其它实例可不同于相对于图3a到图3d所描述的实例。
43.图4是装置400的实例性组件的图式。装置400可对应于多裸片容器装载端口105。在一些实施方案中，多裸片容器装载端口105可包含一或多个装置400及/或装置400的一或多个组件。如图4中所展示，装置400可包含总线410、处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460及通信接口470。
44.总线410包含允许装置400的组件之间的通信的组件。处理器420实施于硬件、软件或硬件及软件的组合中。处理器420是中央处理单元(cpu)、图形处理单元(gpu)、加速处理单元(apu)、微处理器、微控制器、数字信号处理器(dsp)、场可编程门阵列(fpga)、专用集成电路(asic)或另一类型的处理组件。在一些实施方案中，处理器420包含能够经编程以执行功能的一或多个处理器。存储器430包含随机存取存储器(ram)、只读存储器(rom)及/或存储由处理器420使用的信息及/或指令的另一类型的动态或静态存储装置(例如闪存、磁性存储器及/或光学存储器)。
45.存储组件440存储与装置400的操作及使用相关的信息及/或软件。例如，存储组件440可包含硬盘(例如磁盘、光盘、磁光盘及/或固态硬盘)、光盘(cd)、数字多功能光盘(dvd)、软盘、盒式磁带、磁带及/或另一类型的非暂时性计算机可读媒体及对应驱动。
46.输入组件450包含允许装置400(例如)经由用户输入来接收信息的组件(例如触控屏幕显示器、键盘、键区、鼠标、按钮、开关及/或麦克风)。另外或替代地，输入组件450可包含用于感测信息的传感器(例如全球定位系统(gps)组件、加速度计、陀螺仪及/或致动器)。输出组件460包含从装置400提供输出信息的组件(例如显示器、扬声器及/或一或多个led)。
47.通信接口470包含使装置400能够(例如)经由有线连接、无线连接或有线及无线连接的组合来与其它装置通信的收发器式组件(例如收发器及/或分离接收器及发射器)。通信接口470可允许装置400从另一装置接收信息及/或将信息提供到另一装置。例如，通信接口470可包含以太网络接口、光学接口、同轴接口、红外线接口、rf接口、通用串行总线(usb)接口、无线区域接口、蜂窝网络接口及/或类似物。
48.装置400可执行本文中所描述的一或多个过程。装置400可基于处理器420执行由
非暂时性计算机可读媒体(例如存储器430及/或存储组件440)存储的软件指令来执行这些过程。计算机可读媒体在本文中界定为非暂时性存储器装置。存储器装置包含单个物理存储装置内的存储器空间或跨多个物理存储装置散布的存储器空间。
49.软件指令可从另一计算机可读媒体或另一装置经由通信接口470读取到存储器430及/或存储组件440中。存储于存储器430及/或存储组件440中的软件指令可在被执行时引起处理器420执行本文中所描述的一或多个过程。另外或替代地，固线式电路系统可用于代替软件指令或与软件指令组合使用以执行本文中所描述的一或多个过程。因此，本文中所描述的实施方案不受限于硬件电路系统及软件的任何特定组合。
50.图4中所展示的组件的数目及布置仅供示范。实际上，装置400可包含额外组件、较少组件、不同组件或不同于图4中所展示的组件布置的组件。另外或替代地，装置400的一组组件(例如一或多个组件)可执行描述为由装置400的另一组组件执行的一或多个功能。
51.图5是用于处置裸片容器的实例性过程500的流程图。在一些实施方案中，图5的一或多个过程块可由多裸片容器装载端口(例如多裸片容器装载端口105的一或多个组件)执行。在一些实施方案中，图5的一或多个过程块可由与多裸片容器装载端口分离或包含多裸片容器装载端口的另一装置或装置群组及/或多裸片容器装载端口的其它组件执行。另外或替代地，图5的一或多个过程块可由装置400的一或多个组件(例如处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)执行。
52.如图5中所展示，过程500可包含检测多裸片容器装载端口的载物台上的裸片容器，其中多裸片容器装载端口包含具有开口的外壳、用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机及载物台，载物台具有可通过升降机来移动于外壳的开口内以容纳多个不同大小的裸片容器的不同部分(框510)。例如，多裸片容器装载端口的托盘位置传感器235、托盘存在传感器240、箱盒位置传感器245、箱盒存在传感器250、托盘匣位置传感器255或托盘匣存在传感器260可检测多裸片容器装载端口的载物台110上的裸片容器，如上文所描述。在一些实施方案中，多裸片容器装载端口包含具有开口305的外壳115、用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机120及载物台110，载物台110具有可通过升降机120来移动于外壳115的开口305内以容纳多个不同大小的裸片容器的不同部分。
53.如图5中所进一步展示，过程500可包含将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者(框520)。例如，多裸片容器装载端口的托盘位置传感器235、托盘存在传感器240、箱盒位置传感器245、箱盒存在传感器250、托盘匣位置传感器255或托盘匣存在传感器260可将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者，如上文所描述。
54.如图5中所进一步展示，过程500可包含由升降机基于将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者来移动载物台的不同部分中的一或多者(框530)。例如，多裸片容器装载端口可由升降机120
‑
1、升降机120
‑
2或升降机120
‑
3基于将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者来移动载物台110的不同部分中的一或多者，如上文所描述。
55.过程500可包含额外实施方案，例如下文及/或结合本文中别处所描述的一或多个其它过程所描述的任何单个实施方案或实施方案的任何组合。
56.在第一实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的一者是托盘125时，升降机120
‑
2将移动载物台110的一部分及托盘125以与传送机对准且引起托盘125提供到传送机。
57.在单独或结合第一实施方案的第二实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的
一者是具有托盘125的箱盒130时，升降机120
‑
1、120
‑
2及120
‑
3将移动载物台110及箱盒130以与传送机对准且引起箱盒130的一或多个托盘125提供到传送机。
58.在单独或结合第一实施方案及第二实施方案中的一或多者的第三实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的一者是具有托盘125的托盘匣135时，升降机120
‑
2将使托盘匣135的一或多个托盘125与载物台110的一部分一起移动以与传送机对准且引起托盘匣135的一或多个托盘125提供到传送机。
59.在单独或结合第一实施方案到第三实施方案中的一或多者的第四实施方案中，多个不同大小的裸片容器的第一类型由载物台110的第一面积支撑，多个不同大小的裸片容器的第二类型由载物台110的第二面积支撑，多个不同大小的裸片容器的第三类型由载物台110的第三面积支撑，第三面积大于第二面积，且第二面积大于第一面积。
60.在单独或结合第一实施方案到第四实施方案中的一或多者的第五实施方案中，多裸片容器装载端口与裸片处理工具相关联。
61.在单独或结合第一实施方案到第五实施方案中的一或多者的第六实施方案中，载物台110进一步包含用于支撑多个不同大小的裸片容器的第一类型的第一部分325及用于支撑多个不同大小的裸片容器的第二类型及第三类型的第二部分330。
62.在单独或结合第一实施方案到第六实施方案中的一或多者的第七实施方案中，将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者包含由多裸片容器装载端口的托盘位置传感器235、箱盒位置传感器245或托盘匣位置传感器255将裸片容器识别为多个不同大小的裸片容器中的一者。
63.在单独或结合第一实施方案到第七实施方案中的一或多者的第八实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的一者是托盘125时，移动载物台110的不同部分中的一或多者包含由升降机120移动载物台110的一部分及托盘125以与传送机对准且引起托盘125提供到传送机。
64.在单独或结合第一实施方案到第八实施方案中的一或多者的第九实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的一者是具有裸片托盘125的箱盒130时，移动载物台110的不同部分中的一或多者包含由升降机120移动载物台110的不同部分及箱盒130以与传送机对准且引起箱盒130的一或多个托盘125提供到传送机。
65.在单独或结合第一实施方案到第九实施方案中的一或多者的第十实施方案中，当多个不同大小的裸片容器中的一者是具有裸片托盘125的托盘匣135时，移动载物台110的不同部分中的一或多者包含由升降机120使托盘匣135的一或多个托盘125与载物台110的一部分一起移动以与传送机对准且引起托盘匣135的一或多个托盘125提供到传送机。
66.在单独或结合第一实施方案到第十实施方案中的一或多者的第十一实施方案中，检测载物台110上的裸片容器包含利用托盘存在传感器240、箱盒存在传感器250或托盘匣存在传感器260来检测载物台上的裸片容器。
67.在单独或结合第一实施方案到第十一实施方案中的一或多者的第十二实施方案中，过程500包含依由提供于载物台110上的托盘位置传感器235、箱盒位置传感器245或托盘匣位置传感器255中的一或多者确定的定向接收载物台110上的裸片容器。
68.在单独或结合第一实施方案到第十二实施方案中的一或多者的第十三实施方案中，裸片容器存储待处理的多个裸片。
69.在单独或结合第一实施方案到第十三实施方案中的一或多者的第十四实施方案中，托盘125由载物台110的第一面积支撑，箱盒130由载物台110的第二面积支撑，托盘匣135由载物台110的第三面积支撑，第三面积大于第二面积，且第二面积大于第一面积。
70.在单独或结合第一实施方案到第十四实施方案中的一或多者的第十五实施方案中，多裸片容器装载端口包含用于检测由载物台110支撑的裸片容器的类型的存在的托盘存在传感器240、箱盒存在传感器250及托盘匣存在传感器260。
71.在单独或结合第一实施方案到第十五实施方案中的一或多者的第十六实施方案中，载物台110进一步包含用于支撑托盘125的第一部分325及用于支撑箱盒及托盘匣135的第二部分330。
72.在单独或结合第一实施方案到第十六实施方案中的一或多者的第十七实施方案中，载物台110包含用于促进两种或更多种不同类型的裸片容器定位于载物台110上的托盘位置传感器235、箱盒位置传感器245及托盘匣位置传感器255。
73.尽管图5展示过程500的实例性块，但在一些实施方案中，过程500可包含额外块、较少块、不同块或不同于图5中所描绘的块布置的块。另外或替代地，过程500的两个或更多个块可并行执行。
74.依此方式，多裸片容器装载端口105可在无需针对不同裸片容器来修改装载端口105的情况下处置多个不同裸片容器。例如，多裸片容器装载端口105可处置具有裸片的托盘125、具有托盘的箱盒130、具有托盘125的托盘匣135及/或类似物。因此，多裸片容器装载端口105可防止由人为处置裸片容器引起的裸片损坏，可增加裸片生产功能的处理量，可节约资源(例如人力资源、工具资源及/或制造资源)，及/或类似物。
75.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种多裸片容器装载端口。所述多裸片容器装载端口可包含具有开口的外壳及用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机。所述多裸片容器装载端口可包含由所述外壳支撑且可通过所述升降机来移动于所述外壳的所述开口内的载物台。所述载物台可包含用于促进所述多个不同大小的裸片容器定位于所述载物台上的一或多个定位机构，且可包含可由所述升降机移动以容纳所述多个不同大小的裸片容器的不同部分。所述多裸片容器装载端口可包含用于识别定位于所述载物台上的所述多个不同大小的裸片容器中的一者的位置传感器。
76.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种由多裸片容器装载端口执行的方法。所述方法可包含检测多裸片容器装载端口的载物台上的裸片容器，其中所述多裸片容器装载端口可包含具有开口的外壳、用于容纳多个不同大小的裸片容器的升降机及所述载物台，所述载物台具有可通过所述升降机来移动于所述外壳的所述开口内以容纳所述多个不同大小的裸片容器的不同部分。所述方法可包含将所述裸片容器识别为所述多个不同大小的裸片容器中的一者及由所述升降机基于将所述裸片容器识别为所述多个不同大小的裸片容器的所述一者来移动所述载物台的所述不同部分中的一或多者。
77.如上文所更详细描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种多裸片容器装载端口。所述多裸片容器装载端口可包含外壳、升降机及由所述外壳支撑且可通过所述升降机来移动于所述外壳内的载物台。所述载物台可支撑两种或更多种不同类型的裸片容器。所述多裸片容器装载端口可包含用于识别由所述载物台支撑的裸片容器的类型的位置传感器。当裸片容器的所述类型是托盘时，所述升降机可移动所述载物台的一部分及所述托盘
以与传送机对准。当裸片容器的所述类型是具有裸片托盘的箱盒时，所述升降机可移动所述载物台及所述箱盒以与所述传送机对准。当裸片容器的所述类型是具有裸片托盘的托盘匣时，所述升降机可使所述托盘匣的所述托盘中的一或多者与所述载物台的所述部分一起移动以与所述传送机对准。
78.上文已概述若干实施例的特征，使得所属领域的技术人员可较佳理解本发明的方面。所属领域的技术人员应了解，其可易于将本揭示用作设计或修改其它过程及结构的基础以实施相同于本文中所引入的实施例的目的及/或实现相同于本文中所引入的实施例的优点。所属领域的技术人员还应认识到，这些等效建构不应背离本发明的精神及范围，且其可在不背离本发明的精神及范围的情况下对本文作出各种改变、替代及更改。
79.符号说明
80.100:图式
81.105:多裸片容器装载端口
82.110:载物台
83.115:外壳
84.120:升降机
85.120
‑
1:第一升降机
86.120
‑
2:第二升降机
87.120
‑
3:第三升降机
88.125:托盘
89.130:箱盒
90.135:托盘匣
91.140:升降机发动机
92.145:升降机轴件
93.150:升降机载物台
94.155:载物台的第一部分移动
95.160:载物台的第二部分不移动
96.165:整个载物台移动
97.170:载物台的第一部分移动
98.175:载物台的第二部分不移动
99.200:图式
100.205:托盘载物台部分
101.210:箱盒载物台部分
102.215:托盘匣载物台部分
103.220:托盘定位块
104.225:箱盒导槽
105.230:托盘匣定位块
106.235:托盘位置传感器
107.240:托盘存在传感器
108.245:箱盒位置传感器
109.250:箱盒存在传感器
110.255:托盘匣位置传感器
111.260:托盘匣存在传感器
112.300:图式
113.305:开口
114.310:整个载物台可在开口内向上及向下移动
115.315:升降机可在开口内向上及向下移动
116.320:整个载物台在外壳的开口内
117.325:第一部分
118.330:第二部分
119.335:开口
120.340:额外开口
121.400:装置
122.410:总线
123.420:处理器
124.430:存储器
125.440:存储组件
126.450:输入组件
127.460:输出组件
128.470:通信接口
129.500:过程
130.510:框
131.520:框
132.530:框。