一种镀膜匀称的镀膜构件的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜匀称的镀膜构件。


背景技术：

2.当前的常见镀膜设备，真空腔室构成一个空间，真空腔室外壁由耐腐蚀的不锈钢材料构成，由于基片的温度范围控制在300～1200℃，而根据实际需要及安全考虑，腔室外壁不能超过60℃，所以，腔室外壁会设计有冷却水系统，确保工艺过程中，腔室壁温度稳定。当前，加热一般采用红外灯管作为加热源，通过热辐射，基片升温速度很快，可达到20度/秒以上，甚至可以把基片的加热分别在两个腔室分段进行，第一个腔室的作用是预热，比如加热到500摄氏度，然后再传入第二个腔室，即加工箱室，能迅速加热到工艺温度(比如700℃)，节省加热所需的时间，提高设备的产能。
3.但在加工箱室内，基片在不同工艺阶段需要切换成不同的温度，部分相邻工艺步骤之间需要降低温度，并且在工艺结束后，基片温度必须降低到一定范围才能传出加工箱室，一般在400℃左右，如果在较高温度下传出长有膜层的基片，新生成的膜层将在高温下挥发分解，造成膜层质量下降，并污染传输腔室。在这些温度降低的过程中，当前常用的方法是停止红外灯管的能量，通过腔室壁(恒温，25℃)的冷却系统将热量带走，基片冷却时间较长，从而降低了设备产能。为此，我们提出一种镀膜匀称的镀膜构件。


技术实现要素：

4.本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种镀膜匀称的镀膜构件。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，一种镀膜匀称的镀膜构件，包括加工箱和基片，基片位于加工箱的内部，所述加工箱的内部下端通过轴承活动安装有驱动件，驱动件上等距设置有多组密封旋转装置；
6.所述加工箱的外侧安装有内部设置电机的电机箱，加工箱的内部设置有主连接管，主连接管位于基片的上端，主连接管上等距固定安装有多组固定套，固定套的内侧固定安装有冷却液流动管一，加工箱的内部开设有滑动槽，滑动槽的内部活动连接有滑动管，所述滑动管靠近主连接管固定安装有多组冷却液流动管二。
7.作为优选，所述加工箱的内部通过连接柱固定安装有加热灯管，加热灯管的外圆处设置有加热灯罩。
8.作为优选，所述电机箱内部电机的输出端与主连接管固定连接，主连接管的左侧通过轴承与加工箱的内部壁面活动连接。
9.作为优选，左侧所述滑动槽贯穿加工箱的左侧壁面，滑动管的左端贯穿左侧滑动槽与外界冷却液回流管连通。
10.作为优选，所述冷却液流动管二与冷却液流动管一靠近的一端通过连接软管连接。
11.作为优选，所述冷却液流动管二与冷却液流动管一内部连通，冷却液流动管二与滑动管的内部连通，冷却液流动管一与冷却液流动管二相互靠近的一端外壁面上均活动安装有连接齿轮，两组连接齿轮之间相互紧密贴合并啮合连接在一起。
12.有益效果
13.本实用新型提供了一种镀膜匀称的镀膜构件。具备以下有益效果：
14.(1)、该一种镀膜匀称的镀膜构件，通过电机的控制作用，使电机带动主连接管和固定套一起顺时针转动，这时多组固定套顺时针转动带动冷却液流动管一向前移动，直到冷却液流动管一与水平面呈平行，这时冷却液流动管一一对应的连接齿轮带动连接软管上对应的连接齿轮做逆时针转动，冷却液流动管二上对应的连接齿轮逆时针转动带动冷却液流动管二不再挤压连接软管并向后侧移动，直到冷却液流动管一、连接软管和冷却液流动管二都在同一水平线上，冷却液流动管一和冷却液流动管二呈拉伸状态时，多组冷却液流动管二将推动滑动管在滑动槽的内部向前侧滑动，这时连接软管不再受到冷却液流动管一和冷却液流动管二之间的挤压力，使得冷却液可以继续在冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二和滑动管的内部流动，由于冷却液流动管一、连接软管和冷却液流动管二呈伸展状态，这时冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二内部的冷却液可以快速流动，使得基片可以快速冷却下来，大大提高了镀膜后的冷却时间，达到了提高了冷却效率的效果。
15.(2)、该一种镀膜匀称的镀膜构件，当需要对基片加热时，通过启动电机箱内部的电机，在电机的控制作用下，使主连接管带动固定套一起逆时针转动，多组固定套逆时针转动带动冷却液流动管一向后竖起呈直立状态，这时多组冷却液流动管一带动对应的连接齿轮向后移动并逆时针旋转，冷却液流动管一上对应的连接齿轮带动连接软管上对应的连接齿轮做顺时针转动，这时冷却液流动管二上对应的多组连接齿轮将带动连接齿轮向靠近冷却液流动管一的一端移动并呈竖立状态，直到冷却液流动管一和冷却液流动管二相互并立竖起，多组冷却液流动管二向靠近冷却液流动管一的一端移动带动滑动管在滑动槽的内部向后侧滑动，这时连接软管受到冷却液流动管一和冷却液流动管二相互靠近的挤压力挤压折叠，这时冷却液将无法在冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二、和滑动管的内部流动，加热加热灯管后可以使加工箱的内部快速升温，使基片可以提升温度，通过限制冷却液的流动和减小冷却范围，提高了基片的加热效率，实现镀膜工艺温度的快速切换，降低镀膜工艺生产时间，达到了提高设备产能的效果。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图
17.本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
18.图1为本实用新型内部结构示意图；
19.图2为本实用新型滑动管与滑动槽位置结构示意图；
20.图3为本实用新型主连接管与滑动管结构示意图；
21.图4为本实用新型图3中a处结构放大示意图。
22.图例说明：
23.1、加工箱；2、基片；3、连接柱；4、加热灯管；5、加热灯罩；6、驱动件；7、密封旋转装置；8、电机箱；9、主连接管；10、固定套；11、冷却液流动管一；12、连接软管；13、冷却液流动管二；14、连接齿轮；15、滑动管；16、滑动槽。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.实施例：一种镀膜匀称的镀膜构件，如图1
‑
图4所示，包括加工箱1，加工箱1为矩形箱体，加工箱1的内部平行设置有基片2，加工箱1的左右内壁面上均等距固定安装有多组连接柱3，连接柱3为圆柱形块且连接柱3设置在基片2的下方，前后相对应的两组所述连接柱3之间均固定安装有加热灯管4，加热灯管4的外圆处设置有加热灯罩5,加热加热灯管4后可以使加工箱1的内部快速升温，使基片2可以提升温度。
26.加工箱1的内部下端通过轴承活动安装有驱动件6且驱动件6与外界驱动装置连接，驱动件6在外部驱动装置的驱动可以实现旋转，驱动件6与基片2呈上下平行设置，驱动件6上等距固定安装有多组密封旋转装置7。
27.加工箱1的外壁面固定安装有内部设置电机的电机箱8，电机箱8内部电机的输出端贯穿加工箱1的后侧面延伸到加工箱1的内部并与主连接管9固定连接，主连接管9为圆形空心管且主连接管9位于基片2的上端，主连接管9的左侧通过轴承与加工箱1的内部壁面活动连接且主连接管9的左端与外界冷却液输送管连通，主连接管9上等距固定安装有多组固定套10，电机箱8内的电机可以带动主连接管9和固定套10一起同步转动，固定套10的内侧固定安装有与主连接管9内部连通的冷却液流动管一11，冷却液流动管一11为圆形管，加工箱1左右两侧内壁面上均开设有相互对称的滑动槽16，位于左侧滑动槽16贯穿加工箱1的左侧壁面，滑动槽16的内部活动连接可以自由前后移动的滑动管15且滑动管15的左端贯穿左侧滑动槽16与外界冷却液回流管连通，所述滑动管15靠近主连接管9的一侧上固定安装有多组冷却液流动管二13，冷却液流动管二13与冷却液流动管一11的数量一致，冷却液流动管二13与冷却液流动管一11相互靠近的一端通过连接软管12连接，所述连接软管12为橡胶材质的圆形管且连接软管12能弯折产生形变，冷却液流动管二13与冷却液流动管一11内部连通，冷却液流动管二13与滑动管15的内部连通，冷却液流动管一11与冷却液流动管二13相互靠近的一端外壁面上均活动安装有连接齿轮14，两组连接齿轮14之间相互紧密贴合并啮合连接在一起。
28.本实用新型的工作原理：
29.当需要对基片2加热时，通过启动电机箱8内部的电机，在电机的控制作用下，使主
连接管9带动固定套10一起逆时针转动，多组固定套10逆时针转动带动冷却液流动管一11向后竖起呈直立状态，这时多组冷却液流动管一11带动对应的连接齿轮14向后移动并逆时针旋转，冷却液流动管一11上对应的连接齿轮14带动连接软管12上对应的连接齿轮14做顺时针转动，这时冷却液流动管二13上对应的多组连接齿轮14将带动连接齿轮14向靠近冷却液流动管一11的一端移动并呈竖立状态，直到冷却液流动管一11和冷却液流动管二13相互并立竖起，多组冷却液流动管二13向靠近冷却液流动管一11的一端移动带动滑动管15在滑动槽16的内部向后侧滑动，这时连接软管12受到冷却液流动管一11和冷却液流动管二13相互靠近的挤压力挤压折叠，这时冷却液将无法在冷却液流动管一11、连接软管12、冷却液流动管二13、和滑动管15的内部流动，加热加热灯管4后可以使加工箱1的内部快速升温，使基片2可以提升温度。
30.当加工好后需要降温时，通过电机的控制作用，使电机带动主连接管9和固定套10一起顺时针转动，这时多组固定套10顺时针转动带动冷却液流动管一11向前移动，直到冷却液流动管一11与水平面呈平行，这时冷却液流动管一11一对应的连接齿轮14带动连接软管12上对应的连接齿轮14做逆时针转动，冷却液流动管二13上对应的连接齿轮14逆时针转动带动冷却液流动管二13不再挤压连接软管12并向前侧移动，直到冷却液流动管一11、连接软管12和冷却液流动管二13都在同一水平线上，冷却液流动管一11和冷却液流动管二13呈拉伸状态时，多组冷却液流动管二13将推动滑动管15在滑动槽16的内部向前侧滑动，这时连接软管12不再受到冷却液流动管一11和冷却液流动管二13之间的挤压力，使得冷却液可以继续在冷却液流动管一11、连接软管12、冷却液流动管二13和滑动管15的内部流动，由于冷却液流动管一11、连接软管12和冷却液流动管二13呈伸展状态，这时冷却液流动管一11、连接软管12、冷却液流动管二13内部的冷却液可以快速流动，使得基片2可以快速冷却下来。
31.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。