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一种镀膜匀称的镀膜构件的制作方法

2021-11-10 10:12:00 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种镀膜匀称的镀膜构件,包括加工箱(1)和基片(2),基片(2)位于加工箱(1)的内部,其特征在于:所述加工箱(1)的内部下端通过轴承活动安装有驱动件(6),驱动件(6)上等距设置有多组密封旋转装置(7);所述加工箱(1)的外侧安装有内部设置电机的电机箱(8),加工箱(1)的内部设置有主连接管(9),主连接管(9)位于基片(2)的上端,主连接管(9)上等距固定安装有多组固定套(10),固定套(10)的内侧固定安装有冷却液流动管一(11),加工箱(1)的内部开设有滑动槽(16),滑动槽(16)的内部活动连接有滑动管(15),所述滑动管(15)靠近主连接管(9)固定安装有多组冷却液流动管二(13)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述加工箱(1)的内部通过连接柱(3)固定安装有加热灯管(4),加热灯管(4)的外圆处设置有加热灯罩(5)。3.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述电机箱(8)内部电机的输出端与主连接管(9)固定连接,主连接管(9)的左侧通过轴承与加工箱(1)的内部壁面活动连接。4.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:左侧所述滑动槽(16)贯穿加工箱(1)的左侧壁面,滑动管(15)的左端贯穿左侧滑动槽(16)与外界冷却液回流管连通。5.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述冷却液流动管二(13)与冷却液流动管一(11)靠近的一端通过连接软管(12)连接。6.根据权利要求1所述的一种镀膜匀称的镀膜构件,其特征在于:所述冷却液流动管二(13)与冷却液流动管一(11)内部连通,冷却液流动管二(13)与滑动管(15)的内部连通,冷却液流动管一(11)与冷却液流动管二(13)相互靠近的一端外壁面上均活动安装有连接齿轮(14),两组连接齿轮(14)之间相互紧密贴合并啮合连接在一起。

技术总结
本实用新型涉及镀膜设备技术领域,且公开了一种镀膜匀称的镀膜构件,包括加工箱,加工箱的内部平行设置有基片,所述加工箱的内部下端通过轴承活动安装有驱动件,驱动件与基片呈上下平行设置,驱动件上等距固定安装有多组密封旋转装置,所述加工箱的外壁面固定安装有内部设置电机的电机箱。本实用新型中,冷却液可以继续在冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二和滑动管的内部流动,由于冷却液流动管一、连接软管和冷却液流动管二呈伸展状态,这时冷却液流动管一、连接软管、冷却液流动管二内部的冷却液可以快速流动,使得基片可以快速冷却下来,大大提高了镀膜后的冷却时间,达到了提高了冷却效率的效果。了提高了冷却效率的效果。了提高了冷却效率的效果。


技术研发人员:邓韦伟 刘俊杰
受保护的技术使用者:福州欧冶光电有限公司
技术研发日:2021.04.22
技术公布日:2021/11/9
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