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一种具有循环供液能力的硅片插片机的制作方法

2021-11-25 13:49:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及插片机技术领域,尤其涉及一种具有循环供液能力的硅片插片机。


背景技术:

2.在光伏或半导体领域,将硅块成硅片大多是采用多线切割工艺,由于该工艺是采用钢线带动碳化硅磨料来进行切割,然后需要对硅片进行插片,现有技术中,都是采用插片机来完成分片。
3.然而在切割完成后硅片上会附着很多杂质,必须通过清洗才能将这些杂质去除,现有的插片机在其使用过程中往往能发现一些不足:插片机使用时,供给液消耗较快,频繁的更换供给液浪费了较多时间,影响了硅片生产的效率,现有的插片机用供液装置大多还不能很好地契合实际需要。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种具有循环供液能力的硅片插片机。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种具有循环供液能力的硅片插片机,包括底板,所述底板的顶部固定连接有水箱,水箱的顶部固定连接有支撑板,支撑板的顶部固定连接有水泵,水泵的进水端与水箱连通,水泵出水端插接有输液管,所述底板的顶部固定连接有两个固定板,固定板的顶部固定连接有运输板,运输板内设有空腔,输液管的另一端与空腔连通,运输板的顶部设有多个出液孔,出液孔与空腔连通,所述运输板的一端设有多个泄水槽,所述底板的顶部固定连接有支撑块,支撑块的顶部固定连接有导流板,导流板顶部的两侧均固定连接有侧板,导流板位于泄水槽下方,且导流板倾斜设置,导流板与水箱连通。
7.作为本实用新型再进一步的方案,所述底板的顶部固定连接有固定台,固定台的底部固定连接有气缸,气缸活塞杆的一端固定连接有固定箱。
8.作为本实用新型再进一步的方案,所述固定台的一侧通过螺丝固定有滑道,固定箱在滑道内滑动。
9.作为本实用新型再进一步的方案,所述固定箱内设有放置箱,固定箱的一侧内壁固定连接有固定块,固定块的另一端与放置箱接触,固定箱的一侧螺纹连接有固定螺栓,固定螺栓的另一端抵在放置箱的一侧外壁上。
10.作为本实用新型再进一步的方案,所述放置箱的两侧内壁均设有多个插槽,放置箱和固定箱的底部设有多个通孔,通孔位于导流板的上方。
11.作为本实用新型再进一步的方案,所述运输板的两侧内壁均固定连接有限位板。
12.作为本实用新型再进一步的方案,所述底板的一端固定连接有定位板。
13.作为本实用新型再进一步的方案,所述水箱的顶部固定连接有滤网。
14.本实用新型的有益效果为:
15.1.本实用新型通过水泵、运输板和导流板的设置,在水泵的作用下使得水箱内的供给液被抽进输液管内,然后,供给液进入运输板的空腔内,接着,供给液从出液孔流出空腔,对硅片进行输送和清洗,输送后的供给液从泄水槽落到导流板上,经导流板回到水箱内重复利用,从而不需频繁地更换供给液,提高硅片的生产效率。
16.2.本实用新型通过在水箱的顶部设有滤网的设置,滤网对清洗过后的供给液进行过滤,将其中含杂的杂质过滤出来,方便后期的使用。
17.3.本实用新型通过气缸、滑道和插槽的设置,在气缸的带动下固定箱在滑道内向上滑动,从而带动插接好硅片的插槽向上移动,进而保证硅片与插槽的准确地插接。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种具有循环供液能力的硅片插片机的立体结构示意图;
19.图2为本实用新型提出的一种具有循环供液能力的硅片插片机的局部正视结构示意图;
20.图3为本实用新型提出的一种具有循环供液能力的硅片插片机的局部侧视结构示意图;
21.图4为本实用新型提出的一种具有循环供液能力的硅片插片机的局部俯视结构示意图。
22.图中:1、底板;2、固定台;3、滑道;4、气缸;5、固定箱;6、放置箱;7、插槽;8、固定螺栓;9、固定块;10、通孔;11、水箱;12、支撑板;13、滤网;14、水泵;15、输液管;16、运输板;17、出液孔;18、限位板;19、泄水槽;20、支撑块;21、导流板;22、侧板;23、固定板;24、定位板。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
24.参照图1

图4,一种具有循环供液能力的硅片插片机,包括底板1,底板1的顶部通过螺栓固定有水箱11,水箱11的顶部通过螺栓固定有支撑板12,支撑板12的顶部通过螺栓固定有水泵14,水泵14的进水端与水箱11连通,水泵14出水端插接有输液管15,底板1的顶部通过螺栓固定有两个固定板23,固定板23的顶部通过螺栓固定有运输板16,运输板16内设有空腔,输液管15的另一端与空腔连通,运输板16的顶部设有多个出液孔17,将硅片放置在运输板16的出液孔17处,在供给液的带动硅片向下运动,充分利用供给液的动力,出液孔17与空腔连通,运输板16的一端设有多个泄水槽19,底板1的顶部通过螺栓固定有支撑块20,支撑块20的顶部通过螺栓固定有导流板21,导流板21顶部的两侧均通过螺栓固定有侧板22,导流板21位于泄水槽19下方,且导流板21倾斜设置,导流板21与水箱11连通,在水泵14的作用下使得水箱11内的供给液被抽进输液管15内,然后,供给液进入运输板16的空腔
内,接着,供给液从出液孔17流出空腔,对硅片进行清洗,清洗过后的供给液从泄水槽19落到导流板21上,经导流板21回到水箱11内重复利用。
25.本实用新型中,底板1的顶部通过螺栓固定有固定台2,固定台2的底部通过螺栓固定有气缸4,气缸4活塞杆的一端通过螺栓固定有固定箱5,固定台2的一侧通过螺丝固定有滑道3,固定箱5在滑道3内滑动,在气缸4的带动下固定箱5在滑道3内向上滑动,保证硅片的准确地插接,固定箱5内设有放置箱6,固定箱5的一侧内壁通过螺栓固定有固定块9,固定块9的另一端与放置箱6接触,固定箱5的一侧螺纹连接有固定螺栓8,固定螺栓8的另一端抵在放置箱6的一侧外壁上,将放置箱6放进固定箱5内,然后,拧动固定螺栓8,将其的一端抵在放置箱6上,再在固定块9的配合下,将放置箱6固定在固定箱5内,放置箱6的两侧内壁均设有多个插槽7,从而方便硅片的放置,放置箱6和固定箱5的底部设有多个通孔10,方便供给液的流出,通孔10位于导流板21的上方,运输板16的两侧内壁均通过螺栓固定有限位板18,限位板18对硅片进行限位,保证硅片沿着导流板21的表面运动,底板1的一端通过螺栓固定有定位板24,工作人员站在定位板24上,防止工作人员的鞋打湿,水箱11的顶部通过螺栓固定有滤网13,滤网13对清洗过后的供给液进行过滤,将其中含杂的杂质过滤出来,方便后期的使用。
26.工作原理:使用时,首先,将放置箱6放进固定箱5内,然后,拧动固定螺栓8,将其的一端抵在放置箱6上,再在固定块9的配合下,将放置箱6固定在固定箱5内,然后,工作人员站在定位板24上,然后,启动水泵14,在水泵14的作用下使得水箱11内的供给液被抽进输液管15内,然后,供给液进入运输板16的空腔内,接着,供给液从出液孔17流出空腔,然后,供给液沿着运输板16的表面向下流动,这是,将硅片放置在运输板16的出液孔17处,在供给液的带动硅片向下运动,从而使得硅片插进放置箱6的插槽7内,同时对硅片进行清洗,此时,启动气缸4,在气缸4的带动下固定箱5在滑道3内向上滑动,从而带动插接好硅片的插槽7向上移动,清洗过后的供给液从泄水槽19落到导流板21上,然后,水路沿着导流板21的表面向下流动,经过滤网13时,滤网13对清洗过后的供给液进行过滤,将其中含杂的杂质过滤出来,最后回到水箱11内重复利用。
27.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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