一种单晶炉放空氩尾气全回收装置的制作方法

技术特征：
1.一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，与输出氩尾气的单晶炉相连接，其特征在于：所述单晶炉放空氩尾气全回收装置包括主真空泵、副真空泵、高含量回收装置、低含量回收装置、第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，所述副真空泵的进口与所述单晶炉的一端相连接，所述副真空泵的出口与所述第一控制阀的输入端相连接，所述第一控制阀的输出端与所述高含量回收装置相连接，所述主真空泵的进口与所述单晶炉的另一端相连接，所述主真空泵的出口与所述第二控制阀的输入端相连接，所述第二控制阀的输出端与所述低含量回收装置相连接，所述第三控制阀的输入端与所述副真空泵的出口相连接，所述第三控制阀的输出端与所述低含量回收装置相连接，所述第一氧含量分析仪设置于所述副真空泵与所述第一控制阀的输入端之间，所述第二氧含量分析仪设置于所述主真空泵与所述第二控制阀的输入端之间。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：所述单晶炉放空氩尾气全回收装置还包括分别与所述第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀相连接从而根据所述第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪所检测出的氧气含量自动控制所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀的控制器。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：所述单晶炉放空氩尾气全回收装置还包括除尘器，所述除尘器的进口与所述单晶炉的另一端相连接，所述除尘器的出口与所述主真空泵的进口相连接。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：所述除尘器为简谐式除尘器。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：所述第一控制阀、所述第二控制阀、所述第三控制阀均为电磁阀或气动调节阀。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，其特征在于：设置多个所述单晶炉，一个所述单晶炉与一个所述主真空泵、一个所述副真空泵、一个所述第一氧含量分析仪、一个所述第二氧含量分析仪、一个所述第一控制阀、一个所述第二控制阀、一个所述第三控制阀连接构成一套同类别装置，设置多套所述同类别装置并且各个所述同类别装置中的各个所述第一控制阀的输出端并联后与所述高含量回收装置相连接，各个所述同类别装置中的各个所述第二控制阀的输出端并联后与所述低含量回收装置相连接。

技术总结
本实用新型涉及一种单晶炉放空氩尾气全回收装置，包括主真空泵、副真空泵、高含量回收装置、低含量回收装置、第一氧含量分析仪、第二氧含量分析仪、第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，副真空泵的进口与单晶炉相连接、出口与第一控制阀相连接，第一控制阀与高含量回收装置相连接，主真空泵的进口与单晶炉相连接、出口与第二控制阀相连接，第二控制阀与低含量回收装置相连接，第三控制阀与副真空泵的出口、低含量回收装置相连接，第一氧含量分析仪设置于副真空泵与第一控制阀之间，第二氧含量分析仪设置于主真空泵与第二控制阀之间。本实用新型能够对氩尾气中不同杂质含量分别进行回收，避免气体资源浪费，降低设备整体能耗。降低设备整体能耗。降低设备整体能耗。


技术研发人员：孙宁 肖龙昆 黄岩岩
受保护的技术使用者：苏州市兴鲁空分设备科技发展有限公司
技术研发日：2021.03.08
技术公布日：2021/11/30