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一种便于定位的炉体石英管的制作方法

2021-12-04 13:19:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及石英管的技术领域,特别是涉及一种便于定位的炉体石英管。


背景技术:

2.在光伏行业,高温扩散炉与其内的石英管配合使用主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行掺杂,形成pn结,目前常规石英管设置在扩散炉的腔体内,通过加热扩散炉来加温,并在石英管上设有进气口和排气口。在扩散工艺过程中,待扩散的硅片置于石英管中央,扩散炉开始升温,杂质源气体从进气口进入管内,杂质源气体在高温下反应并扩散进入硅片内,在石英管进入高温扩散炉中时由于管体较大,管体光滑易碎,不太容易确定位置,于是在管体的两端增加定位结构,帮助管体在高温扩散炉内定位。


技术实现要素:

3.本实用新型目的是要提供一种便于定位的炉体石英管,解决了较大型石英管在高温炉中定位困难的问题。
4.为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
5.本实用新型提供了一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述石英管体的内腔相连通,所述石英管体靠近端部的外侧壁上还设置多个定位件,多个所述的定位件在所述石英管外侧壁上间隔均匀设置,所述尾部上还连接有空心环状结构,所述空心环状结构延伸方向与所述空心管的延伸方向相同。
6.优选地,所述石英管体为一体成型结构。
7.优选地,所述定位件通过杆状体和所述石英管体连接。
8.优选地,所述定位件包括第一部分和第二部分,所述第一部分和第二部分为轴对称结构。
9.由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
10.本实用新型的一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,石英管体的两端分别为端部和尾部,端部开口设置并连接有多个空心的环状法兰用于连接在高温扩散炉上,尾部设置有多个空心管,空心管与石英管体的内腔连通,空心管用于气体和废渣的排出,尾部还设置有空心环状结构,空心环状结构延伸方向与空心管的延伸方向相同,空心环状结构可以用于石英管体尾部的定位,端部的外侧壁上设置有定位件,定位件间隔均匀的设置,用于端部的定位。端部和尾部共同设置有定位结构。可以帮助石英管体的快速定位,减少石英管体位置调整的频率,提升高温扩散炉的组装速率,提高生产加工的效率。
附图说明
11.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,
这些附图未必是按比例绘制的。附图中:
12.图1是本实用新型优选实施例的结构示意图;
13.图2是图1的截面示意图。
14.其中,附图标记说明如下:
15.1、石英管体;2、端部;3、尾部;4、空心管;5、定位件;6、杆状体;7、空心环状结构。
具体实施方式
16.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
17.在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
18.参照图1和图2所示,本实用新型石英管体,石英管体1的一端为端部2,端部2开口设置,且开口处连接有多个空心的环状法兰,空心法兰用于石英管连接时的密封,另一端为尾部3,尾部3上设置有多个空心管4,空心管4与石英管体1的内腔相连通并用于使用时插入各种管道用于扩散反应的发生。尾部3上还设置有空心环状结构7,空心环状结构7设置在空心管4的外围,空心环状结构7用于石英管的定位,空心环状结构7一端连接在石英管体1上,另一端向着空心管4的延伸方向进行延伸。端部2的外壁上还设置有定位件5,定位在一般多组设置,在本实施例中,定位件5有三组,三组定位件5间隔均匀设置。用于端部2的定位。
19.定位件5通过杆状体和石英管体1连接,采用定位件5和石英管体1相连接是由于定位件5与石英管体1的接触面较大,焊接时可能会导致石英管体1的炸裂。定位件5由对称的第一部分和第二部分组成,二者轴对称设置,对称设置在定位时可以相互配合,扣合在扩散炉内的定位装置上。
20.石英管体1为一体成型的结构设置,其他结构包括法兰、空心管等均为焊接结构。
21.具体使用时,石英管体1进入扩散炉中时,端部2使用空心环状结构7进行定位,空心环状结构7还有使得空心管有一定的密闭的空间,定位件5用于石英管体1尾部的定位。两端定位能最大程度上保证定位的准确。
22.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征:
1.一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,其特征在于,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述石英管体的内腔相连通,所述石英管体靠近端部的外侧壁上还设置多个定位件,多个所述的定位件在所述石英管外侧壁上间隔均匀设置,所述尾部上还连接有空心环状结构,所述空心环状结构延伸方向与所述空心管的延伸方向相同。2.根据权利要求1所述的一种便于定位的炉体石英管,其特征在于:所述石英管体为一体成型结构。3.根据权利要求1所述的一种便于定位的炉体石英管,其特征在于:所述定位件通过杆状体和所述石英管体连接。4.根据权利要求1所述的一种便于定位的炉体石英管,其特征在于:所述定位件包括第一部分和第二部分,所述第一部分和第二部分为轴对称结构。

技术总结
本实用新型涉及一种便于定位的炉体石英管,包括石英管体,所述石英管体的一端为端部,所述端部开口设置并连接有多个空心环状法兰,另一端为尾部,所述尾部设置有多个空心管,所述空心管与所述石英管体的内腔相连通,所述石英管体靠近端部的外侧壁上还设置多个定位件,多个所述的定位件在所述石英管外侧壁上间隔均匀设置,所述尾部上还连接有空心环状结构,所述空心环状结构延伸方向与所述空心管的延伸方向相同;空心环状结构可以用于石英管体尾部的定位,定位件用于端部的定位。端部和尾部共同设置有定位结构。可以帮助石英管体的快速定位,减少石英管体位置调整的频率,提升高温扩散炉的组装速率,提高生产加工的效率。提高生产加工的效率。提高生产加工的效率。


技术研发人员:陈文
受保护的技术使用者:苏州安融石英有限公司
技术研发日:2021.04.23
技术公布日:2021/12/3
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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