对匹配网络中的损害的检测的制作方法

技术特征：
1.一种用于操作匹配网络的方法，所述方法包括：将来自发生器的功率通过所述匹配网络耦合至等离子体负载；测量所述匹配网络的第一侧的一个或多个参数，以获得所述匹配网络的所述第一侧的至少一个基于测量的属性；测量所述匹配网络的第二侧的一个或多个参数，以获得所述匹配网络的所述第二侧的至少一个基于测量的属性，所述匹配网络的所述第一侧和所述第二侧是所述匹配网络的在电学上相反的两侧；获得所述匹配网络的当前电抗设置；访问所述匹配网络的模型，所述模型基于所述匹配网络的所述当前电抗设置使所述匹配网络的所述第一侧的所述至少一个基于测量的属性与所述匹配网络的所述第二侧的至少一个预期属性相关联；以及将所述匹配网络的所述第二侧的所述至少一个基于测量的属性与所述至少一个预期属性对比，以评估所述匹配网络是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种。2.根据权利要求1所述的方法，其中：测量所述匹配网络的所述第二侧的所述一个或多个参数包括获得所述匹配网络的所述第二侧的电压或电流中的至少一个；并且测量所述匹配网络的所述第一侧的所述一个或多个参数包括获得所述匹配网络的所述第一侧的电压或电流中的至少一个。3.根据权利要求2所述的方法，其中：所述至少一个基于测量的属性包括测量电压值，并且所述至少一个预期属性包括预期电压值。4.根据权利要求2所述的方法，其中：所述至少一个基于测量的属性包括测量电流值，并且所述至少一个预期属性包括预期电流值。5.根据权利要求2所述的方法，其中：所述至少一个基于测量的属性既包括测量电压值又包括测量电流值，并且所述至少一个预期属性既包括预期电压值又包括预期电流值，其中，所述对比包括：确定所述测量电压值与所述预期电压值之间的差；以及确定所述测量电流值与所述预期电流值之间的差；其中，所述测量电压值与所述预期电压值之间的差或者所述测量电流值与所述预期电流值之间的差中的至少一个超过对应的阈值。6.根据权利要求2所述的方法，其中，所述匹配网络的所述第二侧的所述基于测量的属性包括基于在所述匹配网络的输出处测量的电压和电流计算的输出阻抗；其中，所述匹配网络的所述第一侧的所述基于测量的属性包括基于一个或多个测量输入参数值计算的输入阻抗。其中，所述预期属性包括所述匹配网络的所述输出处的预期阻抗，所述预期阻抗是通过使用所述输入阻抗和所述匹配网络的所述当前电抗设置访问所述模型获得的；其中，所述对比包括将所述匹配网络的所述输出处的所述输出阻抗与所述匹配网络的
所述输出处的所述预期阻抗对比，以评估所述匹配网络是否受到损害。7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一侧是所述匹配网络的输入或输出之一，并且所述第二侧是所述匹配网络的电学相反侧。8.一种匹配系统，包括：可变电抗部，用于将所述可变电抗部的输出处的阻抗变换为呈现在所述可变电抗部的输入处的输入阻抗；至少一个输入传感器，用于测量所述可变电抗部的输入处的一个或多个输入参数；至少一个输出传感器，用于测量所述可变电抗部的输出处的一个或多个输出参数；非易失性存储器，包括至少定义所述可变电抗部的模型的数据；用于使用所述一个或多个输入参数测量结果、所述一个或多个输出参数测量结果、所述可变电抗部的电抗设置以及所述匹配网络的模型来评估所述可变电抗部是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种的模块。9.根据权利要求8所述的匹配系统，其中，用于评估的所述模块包括：用于将所述模型应用于所述可变电抗部的第一侧的所述一个或多个参数测量结果，以获得所述可变电抗部的第二侧的一个或多个预期参数值的模块，所述可变电抗部的所述第一侧和所述第二侧是所述可变电抗部的电学上相反的两侧；以及用于将所述一个或多个预期参数值与所述一个或多个参数测量结果进行对比，以评估所述可变电抗部是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种的模块。10.根据权利要求9所述的匹配系统，其中：所述至少一个输入传感器包括位于所述可变电抗部的所述输入处的电压传感器或电流传感器中的至少一个；所述至少一个输出传感器包括位于所述可变电抗部的所述输出处的电压传感器或电流传感器中的至少一个；并且用于评估的所述模块包括用于将所述模型应用于所述可变电抗部的所述第一侧的电压或电流测量结果中的一个或多个，以获得一个或多个预期电压值或预期电流值的模块；以及用于将所述一个或多个预期电压值或预期电流值与所述可变电抗部的所述第二侧的一个或多个对应电压测量结果或电流测量结果进行对比的模块。11.根据权利要求8所述的匹配系统，其中所述至少一个输入传感器包括位于所述可变电抗部的所述第一侧的电压传感器和电流传感器；所述至少一个输出传感器包括位于所述可变电抗部的所述第二侧的电压传感器和电流传感器；并且其中，用于评估的所述模块包括：用于基于在所述可变电抗部的所述第二侧测量的电压和电流计算所述第二侧的阻抗的模块；用于基于在所述可变电抗部的所述第一侧测量的电压和电流计算所述可变电抗部的所述第一侧的阻抗的模块；用于获得所述可变电抗部的所述第二侧的预期阻抗并且将所述可变电抗部的所述第
二侧的所述预期阻抗与所计算的阻抗进行对比以评估所述匹配网络是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种的模块。12.根据权利要求11所述的匹配系统，其中，所述可变电抗部包括可变电容器或者固定电容器中的至少一种。13.根据权利要求8所述的匹配系统，其中，所述可变电抗部、所述至少一个输入传感器、所述至少一个输出传感器和用于评估的所述模块符合下述情况之一：与公共外壳集成或者分布在两个或更多单独部件当中。14.一种匹配系统，包括：可变电抗部，用于将所述可变电抗部的输出处的阻抗变换为呈现在所述可变电抗部的输入处的输入阻抗；至少一个输入传感器，用于测量所述可变电抗部的输入处的一个或多个输入参数；至少一个输出传感器，用于测量所述可变电抗部的输出处的一个或多个输出参数；非暂态计算机可读介质，包括：存储于所述非暂态计算机可读介质上的至少定义所述可变电抗部的模型的数据；以及存储于所述非暂态计算机可读介质上的由处理器执行或者用于配置现场可编程门阵列的指令，所述指令包括用于执行下述操作的指令：测量所述可变电抗部的第一侧的一个或多个参数，以获得所述可变电抗部的所述第一侧的至少一个基于测量的属性；测量所述可变电抗部的第二侧的一个或多个参数，以获得所述可变电抗部的所述第二侧的至少一个基于测量的属性，所述可变电抗部的所述第一侧和所述第二侧位于所述可变电抗部的电学上相反的两侧上；获得所述可变电抗部的当前电抗设置；基于所述匹配网络的所述当前电抗设置，使用所述匹配网络的所述第一侧的所述至少一个基于测量的属性访问所述可变电抗部的模型，以获得所述匹配网络的所述第二侧的至少一个预期属性；以及将所述至少一个基于测量的属性与所述至少一个预期属性对比，以评估所述匹配网络是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种。15.根据权利要求14所述的匹配系统，其中，用于测量一个或多个输出参数的所述指令包括用于获得所述匹配网络的所述输出处的电压或电流中的至少一个的指令；并且用于测量一个或多个输入参数的所述指令包括用于获得所述匹配网络的所述输入处的电压或电流中的至少一个的指令。16.根据权利要求15所述的匹配系统，其中：所述至少一个基于测量的输出属性包括测量电压值，并且所述至少一个预期属性包括预期电压值。17.根据权利要求15所述的匹配系统，其中：所述至少一个基于测量的输出属性包括测量电流值，并且所述至少一个预期输出属性包括预期电流值。18.根据权利要求15所述的匹配系统，其中：所述至少一个基于测量的输出属性既包括测量电压值又包括测量电流值，并且所述至
少一个预期输出属性既包括预期电压值又包括预期电流值，其中，用于进行对比的所述指令包括进行下述操作的指令：确定所述测量电压值与所述预期电压值之间的差；以及确定所述测量电流值与所述预期电流值之间的差；其中，所述测量电压值与所述预期电压值之间的差以及所述测量电流值与所述预期电流值之间的差中的至少一个超过对应的阈值。19.根据权利要求15所述的匹配系统，其中，所述基于测量的输出属性包括基于在所述匹配网络的所述输出处测量的电压和电流计算的输出阻抗；其中，所述基于测量的属性包括基于所述一个或多个测量输入参数值计算的输入阻抗；其中，所述预期属性包括所述匹配网络的所述输出处的预期阻抗，所述预期阻抗是通过使用所述输入阻抗和所述匹配网络的所述当前电抗设置访问所述模型而获得的；其中，用于进行对比的所述指令包括用于将所述匹配网络的所述输出处的所述输出阻抗与所述匹配网络的所述输出处的所述预期阻抗进行对比以评估所述匹配网络是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种的指令。20.根据权利要求14所述的匹配系统，其中，所述可变电抗部包括与固体开关相结合的可变电容器或者固定电容器中的至少一个。21.根据权利要求14所述的匹配系统，其中，所述可变电抗部、所述至少一个输入传感器、所述至少一个输出传感器和所述非暂态计算机可读介质符合下述情况之一：与公共外壳集成或者分布在两个或更多单独部件当中。22.根据权利要求14所述的匹配系统，其中，用于测量一个或多个输出参数的所述指令包括用于获得所述匹配网络的所述输出处的正向功率或反射功率中的至少一个的指令；并且用于测量一个或多个输入参数的所述指令包括用于获得所述匹配网络的所述输入处的正向功率或反射功率中的至少一个的指令。

技术总结
公开了用于操作匹配网络的系统和方法。一种方法包括获得匹配网络的第一侧的至少一个基于测量的属性以及匹配网络的第二侧的至少一个基于测量的属性。获得匹配网络的当前电抗设置，并且访问匹配网络的模型，该模型基于匹配网络的当前电抗设置使匹配网络的第一侧的所述至少一个基于测量的属性与匹配网络的第二侧的至少一个预期属性相关联。将匹配网络的第二侧的至少一个基于测量的属性与至少一个预期输出属性对比，以评估匹配网络是否存在受到损害或者在规格外工作这两种情况中的至少一种。一种。一种。


技术研发人员：C
受保护的技术使用者：先进工程解决方案全球控股私人有限公司
技术研发日：2020.03.03
技术公布日：2021/12/7