一种热电偶的安装支架结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种热电偶的安装支架结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，真空蒸镀机的主腔体内是真空的状态，因此对穿过主腔体板的部件具有较高的要求，其中，热电偶及其安装支架结构需要穿过主腔体板，热电偶的一部分在主腔体外一部分在主腔体内，热电偶用于检测真空蒸镀机的主腔体内的温度，热电偶的安装支架结构用于固定及密封热电偶，在现有技术中，热电偶安装支架结构复杂，不容易安装以及拆卸，并且用到很多密封圈，由于密封圈使用时间长了之后会出现变形、老化等现象，因此容易出现漏气的情况。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种热电偶的安装支架结构，用于真空蒸镀机，该热电偶的安装支架结构简单，容易安装及拆卸，并且用到的密封圈少减少了漏气的风险。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种热电偶的安装支架结构，用于真空蒸镀机，该热电偶的安装支架结构简单，容易安装及拆卸，并且用到的密封圈少减少了漏气的风险。
6.本技术的热电偶的安装支架结构，其中的主体支架部分为一体式的，并且与现有技术的结构相比更加简单有效，方便安装和拆卸，并且降低了漏气的风险，具体的，支架部分不再是分体的，并且固定支架与主腔体的固定件不再需要两套，密封圈也相应的减少。支架与主腔体板固定，仅需要一个螺母与主体支架的下端固定即可，而热电偶与支架固定，也仅需要一个橡胶圈、螺母与主题支架的上端固定即可。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种热电偶的安装支架结构，应用于真空蒸镀机，所述热电偶包括软管和一段套设在软管外的硬质中空圆柱体，热电偶的硬质中空圆柱体穿过所述安装支架结构，所述安装支架结构起到固定热电偶及密封的作用，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架1，所述一体式支架1是中空的，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架1的中空部分，所述一体式支架1从上到下包括：凹槽上部11、圆环部12和螺纹下部13，所述一体式支架1的螺纹下部13穿过真空蒸镀机的主腔体板的通孔，圆环部12的外直径大于所述主腔体板通孔的直
径，所述圆环部12的下表面与所述主腔体板的外表面接触，所述一体式支架1的螺纹下部13的下端具有螺纹，采用第一螺母2与所述螺纹下部13下端的螺纹拧紧使得所述一体式支架1与所述主腔体板固定，所述一体式支架1的凹槽上部11的顶端外具有螺纹、顶端内具有一凹槽111，凹槽111放置有一橡胶圈3，橡胶圈3的上方依次设置有压圆片4和第二螺母5，采用第二螺母5与所述凹槽上部11的顶端外螺纹拧紧使得热电偶的硬质中空圆柱体与所述一体式支架1固定及密封。
8.在一些实施方式中，所述一体式支架1的圆环部12的下表面设置有一密封凹槽121，所述密封凹槽121为圆环形，密封凹槽121用于放置密封圈，该密封圈在一体式支架1与所述主腔体板固定时起到密封的作用。
9.在一些实施方式中，所述一体式支架1的凹槽上部11和螺纹下部13为中空圆柱体，圆环部12为中空圆环，凹槽上部11和螺纹下部13的外直径小于圆环部12的外直径，所述螺纹下部13的外直径小于主腔体板通孔的直径。
10.进一步的，所述凹槽上部11的外直径小于螺纹下部13的外直径。
11.进一步的，所述螺纹下部13的内直径大于圆环部12和凹槽上部11的内直径。
12.进一步的，所述圆环部12的内直径与凹槽上部11的内直径相同。
13.在一些实施方式中，所述凹槽上部11的凹槽111为圆环形，凹槽111的深度小于凹槽上部11的高度，凹槽111的宽度小于凹槽上部11的环宽，凹槽111的下表面为向凹槽上部11的下端倾斜的斜面，并且该斜面的倾斜角度为10
°‑
60
°
。
14.进一步的，所述橡胶圈3的直径大于所述凹槽111的内直径并且小于凹槽111的外直径。
15.在一些实施方式中，所述压圆片4为圆形或者中空圆环形，所述压圆片4的直径或者外直径小于所述凹槽111的外直径。
16.进一步优选的，所述压圆片4为中空圆环形，所述压圆片4的内直径与所述凹槽111的内直径相同，所述压圆片4的下表面为向压圆片4的上端倾斜的斜面，并且该该斜面的倾斜角度为10
°‑
60
°
，热电偶与一体式支架1固定时压圆片4的上表面与第二螺母5接触、下表面与橡胶圈3的上表面接触。
17.在一些实施方式中，所述第二螺母5为具有圆形上盖的中空圆环形螺母，第二螺母5的下端的内表面上具有螺纹，能够与凹槽上部11的上端的外表面上的螺纹齿合，第二螺母5的内直径大于压圆片4的外直径，第二螺母5沿着凹槽上部11的顶端外螺纹旋转使得压圆片4挤压橡胶圈3，使得橡胶圈3与热电偶的硬质中空圆柱体固定并同时起到密封的作用。
18.在一些实施方式中，所述热电偶的安装支架结构还包括垫片6，垫片6设置在第一螺母2的上方，一体式支架1与所述主腔体板固定时，垫片6的上表面接触所述主腔体板的内表面，垫片6的下表面接触第一螺母2的上表面。
附图说明
19.图1为本技术的热电偶的安装支架结构、热电偶及主腔体板的结构示意图。
20.图2为本技术的热电偶的安装支架结构和热电偶的结构示意图。
21.图3为本技术的热电偶的安装支架结构的爆炸图。
22.图4为本技术的热电偶的安装支架结构的截面图。
23.主要元件符号说明：
24.一体式支架1、第一螺母2、橡胶圈3、压圆片4、第二螺母5、垫片6、凹槽上部11、凹槽111、圆环部12、密封凹槽121、螺纹下部13。
具体实施方式
25.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
26.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
27.同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
28.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
29.实施例1：
30.一种热电偶的安装支架结构，如图1
‑
图4所示，应用于真空蒸镀机，所述热电偶包括软管和一段套设在软管外的硬质中空圆柱体，热电偶的硬质中空圆柱体穿过所述安装支架结构，所述安装支架结构起到固定热电偶及密封的作用，所述热电偶的安装支架结构包括一体式支架1，所述一体式支架1是中空的，热电偶的硬质中空圆柱体穿过一体式支架1的中空部分，所述一体式支架1从上到下包括：凹槽上部11、圆环部12和螺纹下部13，所述一体式支架1的螺纹下部13穿过真空蒸镀机的主腔体板的通孔，圆环部12的外直径大于所述主腔体板通孔的直径，所述圆环部12的下表面与所述主腔体板的外表面接触，所述一体式支架1的螺纹下部13的下端具有螺纹，采用第一螺母2与所述螺纹下部13下端的螺纹拧紧使得所述一体式支架1与所述主腔体板固定，所述一体式支架1的凹槽上部11的顶端外具有螺纹、顶端内具有一凹槽111，凹槽111放置有一橡胶圈3，橡胶圈3的上方依次设置有压圆片4和第二螺母5，采用第二螺母5与所述凹槽上部11的顶端外螺纹拧紧使得热电偶的硬质中空圆柱体与所述一体式支架1固定及密封。
31.所述一体式支架1的圆环部12的下表面设置有一密封凹槽121，所述密封凹槽121为圆环形，密封凹槽121用于放置密封圈，该密封圈在一体式支架1与所述主腔体板固定时起到密封的作用。所述一体式支架1的凹槽上部11和螺纹下部13为中空圆柱体，圆环部12为中空圆环，凹槽上部11和螺纹下部13的外直径小于圆环部12的外直径，所述螺纹下部13的
外直径小于主腔体板通孔的直径。所述凹槽上部11的外直径小于螺纹下部13的外直径。所述螺纹下部13的内直径大于圆环部12和凹槽上部11的内直径。所述圆环部12的内直径与凹槽上部11的内直径相同。
32.所述凹槽上部11的凹槽111为圆环形，凹槽111的深度小于凹槽上部11的高度，凹槽111的宽度小于凹槽上部11的环宽，凹槽111的下表面为向凹槽上部11的下端倾斜的斜面，并且该斜面的倾斜角度为30
°
。所述橡胶圈3的直径大于所述凹槽111的内直径并且小于凹槽111的外直径。所述压圆片4为中空圆环形，所述压圆片4的内直径与所述凹槽111的内直径相同，所述压圆片4的下表面为向压圆片4的上端倾斜的斜面，并且该该斜面的倾斜角度为30
°
，热电偶与一体式支架1固定时压圆片4的上表面与第二螺母5接触、下表面与橡胶圈3的上表面接触。所述第二螺母5为具有圆形上盖的中空圆环形螺母，第二螺母5的下端的内表面上具有螺纹，能够与凹槽上部11的上端的外表面上的螺纹齿合，第二螺母5的内直径大于压圆片4的外直径，第二螺母5沿着凹槽上部11的顶端外螺纹旋转使得压圆片4挤压橡胶圈3，使得橡胶圈3与热电偶的硬质中空圆柱体固定并同时起到密封的作用。所述热电偶的安装支架结构还包括垫片6，垫片6设置在第一螺母2的上方，一体式支架1与所述主腔体板固定时，垫片6的上表面接触所述主腔体板的内表面，垫片6的下表面接触第一螺母2的上表面。
33.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。