掩膜板及蒸镀装置的制作方法

1.本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板及蒸镀装置。


背景技术：

2.有机电致发光显示(organic light emitting display，oled)是一种极具发展前景的显示技术。oled显示装置不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域主力军。
3.oled面板的rgb像素膜层和通用层膜层需要使用掩膜板将待蒸镀材料蒸镀到基板上，在蒸镀前需要将掩膜板进行对位，利用掩膜板框架与对位掩膜条进行搭接并对位，在蒸镀完成后需要清洗蒸镀在掩膜板上面的残留材料，在掩膜板清洗装置通过药液置换，最终洗掉掩膜板表面的附着的残留材料，但是目前，掩膜条框架与对位掩膜条的搭接区易发生药液残留，导致蒸镀过程中发生混色不良。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种掩模板及蒸镀装置，可以提高对掩膜板和蒸镀装置的清洗的质量，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。
5.在本实用新型的一个实施例中，掩膜板包括掩膜框架，由多条边框围设形成；
6.设置在所述边框上的对位掩膜条；
7.所述边框包括靠近所述对位掩膜条的第一表面和远离所述对位掩膜条的第二表面，所述第一表面设置有开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，所述边框的第一表面设置有与所述开口连通的导流槽，所述对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。
8.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述导流槽包括进水口和、出水口，所述进水口与所述开口连通，所述出水口位于所述掩膜框架的边缘。
9.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述边框设置有多个沿第一方向排列的所述开口，与每个所述开口连通的多个导流槽的延伸方向不同，所述第一方向为所述边框的延伸方向。
10.在本实用新型的一个实施例中，可选地，与每个所述开口连通的所述导流槽有两个，两个所述导流槽沿第一方向对称设置。
11.在本实用新型的一个实施例中，可选地，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位掩膜条的投影边缘与所述导流槽的所述出水口的投影重合。
12.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条在所述掩膜框架第一面上的投影完全落入掩膜框架内。
13.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述对位掩膜条有多个，所述多个掩膜条沿所述第一方向排列，每个所述对位掩膜条与所述一个开口对应；所述对位掩膜条上设置有对位孔，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位孔的孔径的投影落入所述开口的投
影范围内。
14.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述导流槽宽度为1
‑
2mm，所述导流槽深度为0.5
‑
1mm。
15.在本实用新型的一个实施例中，可选地，所述通孔的延伸方向与所述第一表面不垂直。
16.在本实用新型的另一实施例中，包括一蒸镀装置，包括如上任一项中所述的掩膜板。
17.本实用新型实施例中的技术方案，在掩膜板边框的第一表面设置开口，且所述开口延伸至第二表面形成通孔，并且在边框的第一表面还设置与所述开口连通的导流槽，对位掩膜条至少部分覆盖所述导流槽。通过在边框和对位掩膜条接触的部分设置所述导流槽，在清洗过程中边框与对位掩膜条的连接处的清洗残留液通过该导流槽将排出，避免其连接处的残留液堵塞，提高掩膜板和掩膜装置的清洗的效果，从而避免未清洗干净的掩膜板和掩膜装置对蒸镀操作的影响，从而可以提高oled显示面板的品质，可以避免出现蒸镀过程中发生混色不良。
18.本技术的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术实施例了解。本技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
19.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
20.图1为本实用新型一实施例中掩膜板的结构示意图；
21.图2为本实用新型另一实施例中掩膜板的结构示意图；
22.图3为本实用新型一实施例中掩膜框架的侧视图。
23.附图标记：
24.100
‑
掩膜板
25.10
‑
掩膜框架
26.10a
‑
边框
27.20
‑
对位掩膜条
28.11
‑
第一表面
29.12
‑
第二表面
30.13
‑
开口
31.14
‑
通孔
32.15
‑
导流槽
33.151
‑
进水口
34.152
‑
出水口
具体实施方式
35.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
36.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
37.如背景技术所述，掩膜板包括掩膜框架和对位掩膜条，掩膜框架包括多条边框，多条边框包围形成蒸镀区。例如掩膜框架一般包括四条边框，四条边框围设成矩形，四条边框围设形成的中空区域即为蒸镀区，当然掩膜框架还可以包括其他数量的边框，并且围设形成不同的形状，本技术对此并不做出限制，本领域技术人员可根据不同的蒸镀区形成不同形状的掩膜框架。
38.在掩膜框架的边框上设置有沿厚度方向延伸的通孔，对位掩膜条上设置有对位孔，在进行蒸镀之前，需要将通孔与对位孔进行对位以保证待蒸镀材料蒸镀到玻璃基板合适的位置。在蒸镀完成之后需要对掩膜板进行清洗，通过不同的清洗液进行清洗，清除残留在掩膜板的蒸镀材料。但是，在清洗过程中，由于掩膜框架的边框与对位掩膜条搭接在一起，清洗液容易进入其搭接的区域内，以至于清洗完成后，清洗液仍然残留在边框和对位掩膜条的搭接区域内无法流出。
39.为了解决这种问题，本实用新型在边框靠近对位掩膜条的一侧表面上设置导流槽，导流槽设置在边框和对位掩膜条搭接的区域，对位掩膜条至少部分覆盖导流槽。通过在边框表面设置导流槽，为残留在边框和对位掩膜条搭接区域的清洗液提供一个流通通道，方便清洗液流出。
40.具体的请参见本实用新型图1
‑
图3，图1为本实用新型一实施例中掩膜板的结构示意图；图2为本实用新型另一实施例中掩膜板的结构示意图；图3为本实用新型一实施例中掩膜框架的侧视图。
41.如图1
‑
图3所示，在本实用新型一实施例中，一种掩膜板100包括由多条边框10a围形成的掩膜框架10，设置在所述边框10a上的对位掩膜条20，边框10a和对位掩膜条20搭接用于掩膜板100的对位。边框10a包括靠近所述对位掩膜条20的第一表面11和远离所述对位掩膜条20的第二表面12，所述第一表面11设置有开口13，且所述开口13延伸至第二表面12形成通孔14，所述边框10a的第一表面11设置有与所述开口13连通的导流槽15，所述对位掩膜条20至少部分覆盖所述导流槽15。
42.具体的，对位掩膜条可以覆盖导流槽的一部分，即导流槽的一端与开口连通，而另一端延伸至未被对位掩膜条覆盖的地方，边框和对位掩膜条搭接区域残留的清洗液能够流
入导流槽内，并顺着导流槽的延伸方向导出。
43.当然，对位掩膜条也可以完全覆盖导流槽，当对位掩膜条完全覆盖导流槽时，导流槽的一端与开口连通，另一端延伸至与对位掩膜条的边缘相对应的边框区域，使边框和对位掩膜条搭接区域残留的清洗液能够流入导流槽内，并顺着导流槽的延伸方向导出。
44.在本实施例中，通过在边框和对位掩膜条搭接的区域设置导流槽，且导流槽设置在边框靠近对位掩膜条的一侧表面，为残留在边框和对位掩膜条搭接区域的清洗液提供一个流通通道，方便清洗液流出。
45.在本实用新型另一实施例中，导流槽15包括进水口151和出水口152，所述进水口151与所述开口152连通，所述出水口152位于所述掩膜框架的边缘。
46.通过将出水口设置在边框的边缘，更利于残留清洗液从边框的边缘流出。同时，当导流槽从开口延伸至边框边缘时，对位掩膜条在边框上的投影可以覆盖导流槽的一部分，也可以全部覆盖导流槽，本领域技术人员可根据实际需求进行设置。
47.在本实用新型另一实施例中，所述边框10a设置有多个沿第一方向排列的所述开口13，与每个所述开口13连通的多个导流槽15的延伸方向不同，所述第一方向为所述边框10a的延伸方向。由于边框10a上的开口是为了在蒸镀之前进行蒸镀对位，掩膜框架10的所有边框10a上都可以设置开口13，也可以仅在部分框架10上设置开口13，只要能满足对位的要求即可，当边框10上设置多个沿第一方向延伸的开口13时可以提高对位精度。
48.进一步的，与每个开口连通的导流槽设置有多个，且多个导流槽的延伸方向不同。由于清洗设备、风刀吹扫方向不同以及掩膜版的放置位置不同等因素，掩膜板边框与对位掩膜条搭接区域的残留清洗液可能会向不同方向扩散，通过设置不同延伸方向的导流槽，可以使本实施例中的掩膜板在不同使用环境中都可以将残留清洗液清除。
49.在本实用新型另一实施例中，与每个所述开口13连通的所述导流槽15有两个，两个所述导流槽15沿第一方向对称设置，其中，第一方向为开口13所在的边框的延伸方向，使残留清洗液能够平均的进入不同的导流槽15，避免一个导流槽15内流入残留液较多，而另一个导流槽15流入残留液较少的情况。进一步的，每条边框上设置多个开口13及与多个开口13对应的多个导流槽15，与每个开口13连通的两个导流槽15形成夹角θ，在同一条边框上的两个导流槽15形成的夹角θ的开口方向相同，如此设置，可在干燥清洗液时，将导流槽15形成的夹角θ开口方向向下放置，即向重力方向设置，将掩膜板竖直放置，可利用清洗残留液的自身重力使其在导流槽内流动并最终流出掩膜板。本实用新型的发明人通过研究进一步发现，两个导流槽15形成的夹角范围θ可设置为120
°‑
160
°
，可以在最短的时间内使掩膜框架10和对位掩膜条搭接20的区域的清洗残留液全部流出。当然，本领域技术人员为了满足其他需求，也可以将夹角设计为其他范围，本实施例对此不作具体限制。
50.更进一步的，在掩膜框架的相对的两个边框上，导流槽的夹角的开口方向相同，当开口方向朝向重力方向放置时，可使相对的两个边框上的清洗残留液同时流出，提高工作效率。
51.在本实用新型另一实施例中，如图2所示，在平行于所述第一表面11的平面上，所述对位掩膜条20的投影边缘与所述导流槽15的所述出水口152的投影重合。也就是说本实施例的导流槽15的进水口151与边框10a的开口13连通，导流槽15的出水口152同时延伸至边框10a的边缘以及与对位掩膜条20对应的边缘，在边框10a与对位掩膜条20搭接的区域
内，提供一条完整的路径以供清洗残留液流出。
52.进一步的，为了在掩膜板对位完成后，不影响待蒸镀材料的蒸镀，所述对位掩膜条在所述掩膜框架第一面上的投影完全落入掩膜框架内，避免对位掩膜条的投影落入蒸镀区范围内，影响显示面板膜层的蒸镀。
53.在本实用新型另一实施例中，如图2所示，同一边框10a上的对位掩膜条20有多个，所述多个对位掩膜条20沿所述第一方向排列，每个所述对位掩膜条20与所述一个开口13对应；所述对位掩膜条20上设置有对位孔(图未示)，在平行于所述第一表面的平面上，所述对位孔的孔径的投影落入所述开口13的投影范围内。在掩膜板的对位过程中，利用掩膜框架的边框10a上的开口13和对位掩膜条20上的对位孔进行对位，通过在边框上设置有多个开口和对位孔，提高对位精度。
54.在本实用新型另一实施例中，本技术的发明人认真研究了在清洗过程中，进入边框10a和对位掩膜条20搭接区域的清洗残留液的容量，将导流槽15的尺寸设置为，导流槽宽度为1
‑
2mm，导流槽深度为0.5
‑
1mm。既可以将清洗残留液全部排出，同时又不会因为导流槽的存在而影响边框和对位掩膜条的相对固定。
55.在本实用新型另一实施例中，如图3所示，在掩膜板的张网和蒸镀对位过程中，摄像头通过灰阶识别来抓取掩膜板对位条的对位孔，如果掩膜框架10a上边框的通孔14垂直于框架的第一表面11会造成反光严重，使对位孔区域的灰阶与其他区域相同，摄像头无法识别对位孔区域和其他区域，因此需要将边框10a上的通孔14的延伸方向设计为与边框的第一表面11不垂直，使对位孔对应的区域消光，方便摄像头进行识别。
56.本实用新型还包括一种蒸镀装置，包括以上实施例所涉及的的掩膜板。
57.应当注意的是，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整替代而不会脱离本实用新型的保护范围。对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化，且以上各个实施例均可以相互组合已得到更多的不同组合的实施例。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说地明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。