时间分辨单晶X射线劳厄衍射靶装置的制作方法

技术特征：
1.时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，包括内部中空的成像盒，成像盒的相对两端分别设置有聚焦瞄准组件和x射线劳厄衍射靶组件；成像盒设置有光学通孔，聚焦瞄准组件封闭连接于该光学通孔外；x射线劳厄衍射靶组件至少设置有衍射孔和背光x射线靶，背光x射线靶由多层金属膜制成，多层金属膜的金属元素对应的k系或l系辐射光子能量差小于等于3 kev；其中，衍射孔、光学通孔及聚焦瞄准组件组成完整光学成像通路。2.根据权利要求1所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述背光x射线靶包括一铝基层及依次镀在铝基层上的多层金属膜层。3.根据权利要求2所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述多层金属膜上金属元素依次为v、cr、fe、co、ni、cu、zn、ge、mo。4.根据权利要求3所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，每层金属膜厚度为0.2~0.4微米。5.根据权利要求1所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述x射线劳厄衍射靶组件包括与成像盒无缝贴合的前屏蔽板，前屏蔽板通过背光x射线靶支架连接所述背光x射线靶，所述前屏蔽板活动连接有定位块，定位块上形成所述衍射孔，所述前屏蔽板上还设置有与衍射孔连通的激光入射孔，所述激光入射孔孔底与所述定位块之间形成单晶靶的放置空间。6.根据权利要求5所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述衍射孔和激光入射孔均为锥形方孔，二者位于放置空间的一端均为方形小口端。7.根据权利要求1所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述成像盒未设置聚焦瞄准组件和x射线劳厄衍射靶组件的剩余端面内侧均依次设置有x射线成像板和x射线成像滤片。8.根据权利要求7所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述x射线成像滤片包括层叠设置的碳氢聚合物层和金属箔层，碳氢聚合物层和金属箔层均双面抛光。9.根据权利要求1所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，所述聚焦瞄准组件包括与成像盒连接的光学透镜支架，光学透镜支架上连接有将光学通孔封闭的光学透镜，光学透镜封闭连接有光纤接口，光纤接口和光学通孔的中心轴均位于光学透镜的光轴上。10.根据权利要求1所述的时间分辨单晶x射线劳厄衍射靶装置，其特征在于，还包括与成像盒内部连通的气路系统，所述气路系统用于成像盒内部抽气或注气。

技术总结
本发明公开了一种时间分辨单晶X射线劳厄衍射靶装置，包括内部中空的成像盒，成像盒相对两端分别设置有聚焦瞄准组件和X射线劳厄衍射靶组件；成像盒设置有光学通孔，聚焦瞄准组件封闭连接于该光学通孔外；X射线劳厄衍射靶组件至少设置有衍射孔和背光X射线靶，背光X射线靶位于衍射孔外侧入射光路范围内并由多层金属膜制成，多层金属膜的金属元素对应的K系或L系辐射光子能量相近；其中，衍射孔、光学通孔及聚焦瞄准组件组成完整光学成像通路。本发明具有时序同步精度高、时间分辨率好的特点，对原子尺度的微观结构变化敏感。对原子尺度的微观结构变化敏感。对原子尺度的微观结构变化敏感。


技术研发人员：胡建波 李江涛 王倩男 杨靖 张航
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院流体物理研究所
技术研发日：2022.01.04
技术公布日：2022/2/6