一种制备薄膜的旋涂装置的制作方法

1.本实用新型涉及旋涂装置领域，尤其涉及一种制备薄膜的旋涂装置。


背景技术：

2.使用旋涂法制备薄膜是常见的方式，旋涂过程一般使用旋涂机等，其工作原理是利用高速旋转时产生的离心力，使基片上的胶液由中心向外扩散而形成薄膜。
3.常出现以下问题：
4.1、旋涂后薄膜厚度不均，尤其大尺寸基板，边缘薄膜厚度与中心比较，不均更为明显；
5.2、溶胶-凝胶粘度影响，粘度大，甩胶更不均匀，如果配置粘度较小的凝胶，会使凝胶成膜后形成更多空洞，影响成膜质量。
6.为解决上述问题，本申请中提出一种制备薄膜的旋涂装置。


技术实现要素：

7.(一)实用新型目的
8.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种制备薄膜的旋涂装置，本实用新型不断改变喷头的位置，并配合旋转台的转动，以进行旋涂，提高薄膜成型后的均匀性和质量。
9.(二)技术方案
10.为解决上述问题，本实用新型提供了一种制备薄膜的旋涂装置，包括底板，所述底板的一侧固定安装有安装架；
11.所述安装架上设有位置调节机构，所述调节机构上固定安装有连通管，所述连通管上分别固定安装有流量计和电磁阀，所述连通管的排液端固定连通有喷头；
12.所述连通管的进液端连通有供液件；
13.所述底板的顶部设有旋转台；
14.所述底板上设有控制器。
15.优选的，所述位置调节机构包括电动推杆和无杆气缸，所述电动推杆固定安装在安装架上，所述无杆气缸固定安装在电动推杆驱动杆的端部，所述连通管固定安装在电动推杆活动台上，所述电动推杆和无杆气缸均与控制器通讯连接。
16.优选的，所述供液件包括抽取泵和供液管，所述抽取泵的供液口通过供液管与连通管的进液端连通，所述抽取泵与控制器通讯连接。
17.优选的，所述旋转台包括伺服电机和圆台，所述伺服电机固定安装在底板上，所述圆台固定安装在伺服电机驱动轴上，所述伺服电机与控制器通讯连接。
18.优选的，所述控制器与流量计通讯连接。
19.优选的，所述底板上安装有干燥机构，且干燥机构位于圆台的一侧。
20.本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
21.通过由抽取泵对胶液进行抽取，抽取后的胶水通过供液管进入至连通管内，经过流量计对经过的流量进行计量，电磁阀控制通过流量的量，胶水通过喷头喷出，无杆气缸带动喷头变换不同位置进行喷胶，伴随伺服电机带动圆台转动，使得喷出的胶在离心的作用下，分散开，以提高成薄膜后的均匀性。进而提高成薄膜后的质量。
附图说明
22.图1为本实用新型提出的一种制备薄膜的旋涂装置的结构示意图。
23.图2为本实用新型提出的一种制备薄膜的旋涂装置的系统图。
24.附图标记：1、底板；2、安装架；3、调节机构；31、电动推杆；32、无杆气缸；4、连通管；5、流量计；6、电磁阀；7、喷头；8、供液件；81、抽取泵；82、供液管；9、旋转台；91、伺服电机；92、圆台；10、控制器。
具体实施方式
25.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
26.如图1-2所示，本实用新型提出的一种制备薄膜的旋涂装置，包括底板1，底板1的一侧固定安装有安装架2；
27.安装架2上设有位置调节机构3，调节机构3上固定安装有连通管4，连通管4上分别固定安装有流量计5和电磁阀6，连通管4的排液端固定连通有喷头7；
28.连通管4的进液端连通有供液件8；
29.底板1的顶部设有旋转台9；
30.底板1上设有控制器10。
31.在一个可选的实施例中，位置调节机构3包括电动推杆31和无杆气缸32，电动推杆31固定安装在安装架2上，无杆气缸32固定安装在电动推杆31驱动杆的端部，连通管4固定安装在电动推杆31活动台上，电动推杆31和无杆气缸32均与控制器10通讯连接，电动推杆31用于调节喷头7在水平方向的位置，无杆气缸32用于调节喷头7在竖直方向的位置。
32.在一个可选的实施例中，供液件8包括抽取泵81和供液管82，抽取泵81的供液口通过供液管82与连通管4的进液端连通，抽取泵81与控制器10通讯连接，抽取泵81的进液口通过管道连接胶水处。
33.在一个可选的实施例中，旋转台9包括伺服电机91和圆台92，伺服电机91固定安装在底板1上，圆台92固定安装在伺服电机91驱动轴上，伺服电机91与控制器10通讯连接，伺服电机91的启动带动圆台92转动，以使得位于圆台92上的胶水在离心的作用下分散开。
34.在一个可选的实施例中，控制器10与流量计5通讯连接，使得流量计5对流过的胶水量进行严格把控，以保持一个薄膜制备所需要的量，进而提高薄膜制成后的均匀性。
35.在一个可选的实施例中，底板1上安装有干燥机构，且干燥机构位于圆台92的一侧，进而在喷胶后，利于使得喷胶后成膜。
36.本实用新型中，通过由抽取泵81对胶液进行抽取，抽取后的胶水通过供液管82进
入至连通管4内，经过流量计5对经过的流量进行计量，电磁阀6控制通过流量的量，胶水通过喷头7喷出，无杆气缸32带动喷头7变换不同位置进行喷胶，伴随伺服电机91带动圆台92转动，使得喷出的胶在离心的作用下，分散开，以提高成薄膜后的均匀性。进而提高成薄膜后的质量。
37.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。


技术特征：
1.一种制备薄膜的旋涂装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的一侧固定安装有安装架(2)；所述安装架(2)上设有位置调节机构(3)，所述调节机构(3)上固定安装有连通管(4)，所述连通管(4)上分别固定安装有流量计(5)和电磁阀(6)，所述连通管(4)的排液端固定连通有喷头(7)；所述连通管(4)的进液端连通有供液件(8)；所述底板(1)的顶部设有旋转台(9)；所述底板(1)上设有控制器(10)。2.根据权利要求1所述的一种制备薄膜的旋涂装置，其特征在于，所述位置调节机构(3)包括电动推杆(31)和无杆气缸(32)，所述电动推杆(31)固定安装在安装架(2)上，所述无杆气缸(32)固定安装在电动推杆(31)驱动杆的端部，所述连通管(4)固定安装在电动推杆(31)活动台上，所述电动推杆(31)和无杆气缸(32)均与控制器(10)通讯连接。3.根据权利要求1所述的一种制备薄膜的旋涂装置，其特征在于，所述供液件(8)包括抽取泵(81)和供液管(82)，所述抽取泵(81)的供液口通过供液管(82)与连通管(4)的进液端连通，所述抽取泵(81)与控制器(10)通讯连接。4.根据权利要求1所述的一种制备薄膜的旋涂装置，其特征在于，所述旋转台(9)包括伺服电机(91)和圆台(92)，所述伺服电机(91)固定安装在底板(1)上，所述圆台(92)固定安装在伺服电机(91)驱动轴上，所述伺服电机(91)与控制器(10)通讯连接。5.根据权利要求1所述的一种制备薄膜的旋涂装置，其特征在于，所述控制器(10)与流量计(5)通讯连接。6.根据权利要求4所述的一种制备薄膜的旋涂装置，其特征在于，所述底板(1)上安装有干燥机构，且干燥机构位于圆台(92)的一侧。

技术总结
本实用新型涉及旋涂装置技术领域，且公开了一种制备薄膜的旋涂装置，包括底板，所述底板的一侧固定安装有安装架；所述安装架上设有位置调节机构，所述调节机构上固定安装有连通管，所述连通管上分别固定安装有流量计和电磁阀，所述连通管的排液端固定连通有喷头；所述连通管的进液端连通有供液件；所述底板的顶部设有旋转台；所述底板上设有控制器。本实用新型提出一种制备薄膜的旋涂装置，本实用新型不断改变喷头的位置，并配合旋转台的转动，以进行旋涂，提高薄膜成型后的均匀性和质量。提高薄膜成型后的均匀性和质量。提高薄膜成型后的均匀性和质量。


技术研发人员：谈逊 谈谦 曾龙辉 谈宇清
受保护的技术使用者：华厦半导体（深圳）有限公司
技术研发日：2021.07.24
技术公布日：2022/2/22