探头的制作方法

1.本发明涉及用于进行连接器的特性检查的探头。


背景技术：

2.以往，公开了用于进行作为被检查体的连接器的特性检查的探头(例如参照专利文献1)。
3.专利文献1的探头是用于进行连接器的特性检查的探头，尤其是，进行设置有多个端子用以流动有多个信号的多极连接器的特性检查的探头。专利文献1的探头具备能够相对于多极连接器的多个端子同时进行接触的多个探针。
4.专利文献1：国际公开第2018/116568号公报
5.在连接器的探头中，要求提高端子的特性检查的精度。如专利文献1的探头那样，在使用弹性部件将探头按压于连接器端子的情况下，因弹性部件的扭转而妨碍特性检查精度的进一步提高。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于提供能够更高精度地进行连接器的端子的特性检查的探头。
7.为了实现上述目的，本发明的一个方式的探头用于进行连接器的特性检查，其中，该探头具备：凸缘，其形成有贯穿孔；外壳，其具有作为一侧的端部的基端部和作为另一侧的端部的顶端部，该外壳穿过上述凸缘的上述贯穿孔，上述基端部能够与上述贯穿孔嵌合，上述外壳内包同轴电缆并沿轴向延伸；插头，其安装于上述外壳的上述顶端部，并在底部形成有供与上述同轴电缆电连接的探针通过的开口部；弹性体，其配置于上述凸缘与上述插头之间，并能够对上述凸缘和上述插头向使它们相互远离的方向沿上述轴向施力；以及推力轴承，其在上述凸缘与上述插头之间绕上述外壳配置，并夹设于上述凸缘与上述插头之间，用以承受上述弹性体所产生的沿上述轴向的作用力。
8.另外，本发明的其它方式的探头用于进行连接器的特性检查，其中，探头具备：凸缘，其形成有贯穿孔；外壳，其具有作为一侧的端部的基端部和作为另一侧的端部的顶端部，该外壳穿过上述凸缘的上述贯穿孔，上述基端部能够与上述贯穿孔嵌合，上述外壳内包同轴电缆并沿轴向延伸；插头，其安装于上述外壳的上述顶端部，并在底部形成有供与上述同轴电缆电连接的探针通过的开口部；弹性体，其配置于上述凸缘与上述插头之间，并能够对上述凸缘和上述插头向使它们相互远离的方向沿上述轴向施力；以及环状部件，其在上述凸缘与上述插头之间绕上述外壳配置，并夹设于上述凸缘与上述插头之间，用以承受上述弹性体所产生的沿上述轴向的作用力，上述环状部件具有与上述弹性体直接接触并承受上述弹性体所产生的上述作用力的第一面，上述第一面与上述弹性体之间的摩擦系数小于上述插头与上述弹性体之间的摩擦系数。
9.根据本发明的探头，能够更高精度地进行连接器的端子的特性检查。
附图说明
10.图1是实施方式的探头的示意立体图。
11.图2是实施方式中的探头的示意立体图。
12.图3是实施方式中的探头的示意纵剖视图。
13.图4是实施方式中的探头的示意分解立体图。
14.图5是实施方式中的探头的示意分解立体图。
15.图6是实施方式中的同轴电缆和探针的示意立体图。
16.图7是实施方式中的插头和探针的示意立体图。
17.图8a是实施方式中的推力轴承的示意分解立体图。
18.图8b是实施方式中的推力轴承的示意分解立体图。
19.图9a是用于对实施方式中的探头的动作进行说明的示意剖切立体图。
20.图9b是用于对实施方式中的探头的动作进行说明的示意剖切立体图。
21.图10是实施例1的推力轴承的示意立体图。
22.图11是实施例2的推力轴承的示意立体图。
具体实施方式
23.根据本发明的第一方式，提供一种探头，其用于进行连接器的特性检查，其中，具备：凸缘，其形成有贯穿孔；外壳，其具有作为一侧的端部的基端部和作为另一侧的端部的顶端部，该外壳穿过上述凸缘的上述贯穿孔，上述基端部能够与上述贯穿孔嵌合，上述外壳内包同轴电缆并沿轴向延伸；插头，其安装于上述外壳的上述顶端部，并在底部形成有供与上述同轴电缆电连接的探针通过的开口部；弹性体，其配置于上述凸缘与上述插头之间，并能够对上述凸缘和上述插头向使它们相互远离的方向沿上述轴向施力；以及推力轴承，其在上述凸缘与上述插头之间绕上述外壳配置，并夹设于上述凸缘与上述插头之间，用以承受上述弹性体所产生的沿上述轴向的作用力。
24.根据这种结构，能够通过推力轴承承受弹性体所产生的沿轴向的作用力，并且能够吸收伴随弹性体的扭转而产生的旋转力。由此，能够抑制弹性体的旋转力向插头传递，从而能够抑制配置于插头的探针的错位，由此能够使探针高精度与连接器的端子接触。这样一来，能够提高连接器的特性检查的精度。
25.根据本发明的第二方式，提供第一方式所述的探头，其中，上述推力轴承配置于上述弹性体与上述插头之间。根据这种结构，通过将推力轴承配置于比弹性体接近插头的位置，能够使弹性体的旋转力不易通过插头传递。
26.根据本发明的第三方式，提供第二方式所述的探头，其中，上述推力轴承具有与上述弹性体直接接触并环绕上述贯穿孔的第一面，上述第一面与上述弹性体之间的摩擦系数小于上述弹性体与上述插头之间的摩擦系数。根据这种结构，能够使弹簧相对于环状部件的第一面容易滑动，从而能够通过环状部件吸收弹簧的伴随压缩产生的沿平面方向的力，尤其是旋转力。
27.根据本发明的第四方式，提供第三方式所述的探头，其中，上述推力轴承具有沿着上述第一面的外周的第二面，上述第二面与上述弹性体之间的摩擦系数大于上述第一面与上述弹性体之间的摩擦系数。根据这种结构，通过设置于第一面的外侧的第二面，能够实现
限制弹簧的移动的止动功能。
28.根据本发明的第五方式，提供第三方式或者第四方式所述的探头，其中，上述推力轴承在上述第一面中的与上述弹性体直接接触的部位的四周具有相对于上述第一面突出的突出部。根据这种结构，通过突出部，能够实现限制弹簧的移动的止动功能。
29.根据本发明的第六方式，提供第二方式～第五方式中的任一项所述的探头，其中，上述推力轴承与上述插头直接接触。根据这种结构，通过在推力轴承与插头之间不设置部件，能够减少部件件数。
30.根据本发明的第七方式，提供第一方式或者第二方式所述的探头，其中，上述推力轴承与上述弹性体直接接触。根据这种结构，通过在推力轴承与弹性体之间不设置部件，能够减少部件件数。
31.根据本发明的第八方式，提供第一方式～第七方式中的任一项所述的探头，其中，上述弹性体是配置于上述外壳的四周的弹簧。根据这种结构，能够对于弹性体使用通用结构，从而能够降低探头的制造成本。
32.根据本发明的第九方式，提供第八方式所述的探头，其中，上述弹簧的外径被设定为大于上述推力轴承的中心孔的直径。根据这种结构，能够防止弹簧错误进入至推力轴承的中心孔。
33.根据本发明的第十方式，提供第一方式～第九方式中的任一项所述的探头，其中，上述推力轴承具有环状的第一止推垫圈、配置于比上述第一止推垫圈靠上述外壳的上述顶端部侧处的环状的第二止推垫圈、以及配置于上述第一止推垫圈与上述第二止推垫圈之间并保持多个滚珠的环状的保持器。根据这种结构，作为推力轴承能够使用通用结构，从而能够降低探头的制造成本。
34.根据本发明的第十一方式，提供第十方式所述的探头，其中，上述第一止推垫圈和上述第二止推垫圈中的面对上述保持器那侧的表面平坦。根据这种结构，通过使止推垫圈的内侧的面形成为平坦，从而与设置保持器所保持的滚珠的轨道槽的情况相比，保持器的滚珠能够沿平面方向自由移动。由此，不仅能够通过推力轴承吸收弹性体的伴随扭转产生的旋转力，而且还能够通过推力轴承吸收平面方向上的错位，从而能够进一步抑制探针的错位，由此能够进一步提高连接器的特性检查的精度。
35.根据本发明的第十二方式，提供第一方式～第十一方式中的任一项所述的探头，其中，上述同轴电缆和上述探针被分别设置有多个，上述探头用于进行具有多个端子的多极连接器的特性检查。根据这种结构，针对在进行多极连接器的特性检查时容易因探针的错位产生与端子之间的接触不良的问题，通过抑制伴随弹性体的扭转而产生的探针的错位，能够提高多极连接器的特性检查的精度。
36.根据本发明的第十三方式，提供一种探头，其用于进行连接器的特性检查，其中，探头具备：凸缘，其形成有贯穿孔；外壳，其具有作为一侧的端部的基端部和作为另一侧的端部的顶端部，该外壳穿过上述凸缘的上述贯穿孔，上述基端部能够与上述贯穿孔嵌合，上述外壳内包同轴电缆并沿轴向延伸；插头，其安装于上述外壳的上述顶端部，并在底部形成有供与上述同轴电缆电连接的探针通过的开口部；弹性体，其配置于上述凸缘与上述插头之间，并能够对上述凸缘和上述插头向使它们相互远离的方向沿上述轴向施力；以及环状部件，其在上述凸缘与上述插头之间绕上述外壳配置，并夹设于上述凸缘与上述插头之间，
用以承受上述弹性体所产生的沿上述轴向的作用力，上述环状部件具有与上述弹性体直接接触并承受上述弹性体所产生的上述作用力的第一面，上述第一面与上述弹性体之间的摩擦系数小于上述插头与上述弹性体之间的摩擦系数。
37.根据这种结构，能够通过环状部件承受弹性体所产生的沿轴向的作用力，并且能够吸收弹性体的伴随扭转而产生的旋转力。由此，能够抑制弹性体的旋转力向插头传递，从而能够抑制配置于插头的探针的错位，由此能够使探针高精度地与连接器的端子接触。这样一来，能够提高连接器的特性检查的精度。
38.根据本发明的第十四方式，提供第十三方式所述的探头，其中，上述环状部件具有沿着上述第一面的外周的第二面，上述第二面与上述弹性体之间的摩擦系数大于上述第一面与上述弹性体之间的摩擦系数。根据这种结构，通过设置于第一面的外侧的第二面，能够实现限制弹簧的移动的止动功能。
39.根据本发明的第十五方式，提供第十三方式或者第十四方式所述的探头，其中，上述环状部件在上述第一面中的与上述弹性体直接接触的部位的四周具有相对于上述第一面突出的突出部。根据这种结构，通过突出部，能够实现限制弹簧的移动的止动功能。
40.以下，基于附图对本发明的实施方式详细地进行说明。
41.(实施方式)
42.图1～图5是表示实施方式中的探头2的示意结构的图。图1、图2分别是从不同角度观察探头2的立体图。图3是图1、图2所示的探头2的纵剖视图。图4、图5分别是从不同角度观察探头2的分解立体图。
43.探头2是进行连接器3的特性检查的检查器具。实施方式的连接器3是具有多个端子的多极连接器。在图1～图3中，简化图示了连接器3的外形，在图4、图5中省略了连接器3的图示。
44.探头2具备凸缘4、外壳6、同轴电缆8、插头10、弹簧12(弹性体)以及推力轴承14。
45.凸缘4是用于将探头2安装于规定的设备的部件。规定的设备例如是用于基于连接器3的特性检查的结果分选安装有连接器3的印刷电路基板的分选机。
46.如图3、图4所示，在凸缘4的中心部设置有用于穿过外壳6的贯穿孔20。凸缘4配置为沿水平方向延伸，贯穿孔20设置为沿铅垂方向延伸。实施方式的贯穿孔20为圆柱形状。
47.在凸缘4的上表面11形成有用于接受外壳6的基端部21的凹部13。凹部13设置为在凸缘4的上表面11处使贯穿孔20沿水平方向扩张的部分。贯穿孔20和凹部13在空间中连续形成。
48.外壳6是穿过凸缘4的贯穿孔20、与贯穿孔20嵌合并且保持后述的插头10等的部件。外壳6内包同轴电缆8并且形成为沿轴向a延伸的筒状。轴向a也可以与铅垂方向大致一致。
49.外壳6具备基端部21、顶端部22以及中间部23。
50.基端部21是外壳6的靠一侧(在实施方式中为上侧)的端部，顶端部22是外壳6的靠另一侧(在实施方式中为下侧)的端部。基端部21和顶端部22均具有相对于中间部23进行了扩径的形状。
51.基端部21是收纳于凸缘4的凹部13的部分。在凹部13设置有倾斜成朝向内侧引导基端部21的倾斜面。在基端部21收纳于凹部13的状态下，基端部21在凹部13之中能够沿横
向、即水平方向稍微移动。另一方面，顶端部22是被压入至插头10的部分。顶端部22被压入至插头10，由此插头10固定于外壳6。中间部23是在基端部21与顶端部22之间延伸的部分，在中间部23四周配置有弹簧12。
52.插头10是用于使连接器3嵌合而对连接器3进行定位的部件。插头10具备供连接器3从下方嵌合的嵌合部10a和安装于外壳6的安装部10b。嵌合部10a从安装部10b的端部起向下方突出地安装于安装部10b。在嵌合部10a形成有用于使连接器3嵌合的突起24(图7)。
53.如图2、图3所示，在外壳6的内部穿过有多个同轴电缆8。同轴电缆8是用于与连接器3的端子进行电导通的部件。
54.图6是表示一根同轴电缆8的立体图。同轴电缆8构成为棒状，在其顶端部电连接有探针16。一个同轴电缆8与一个探针16连接。同轴电缆8的靠另一侧的端部与测定连接器(未图示)连接。测定连接器是用于将同轴电缆8与外部的测定器(未图示)连接的连接器。
55.探针16是与连接器3的各端子接触而形成导通的棒状的部件。探针16的内侧由导电性材料形成，探针16的外侧由绝缘性部件形成。探针16穿过插头10的嵌合部10a。探针16的顶端是导电性部分，从嵌合部10a的底部暴露。
56.图7是插头10的立体图。如图7所示，插头10的嵌合部10a在其底部具有使探针16的顶端暴露的开口部。从嵌合部10a的开口部暴露的探针16的顶端向与嵌合部10a嵌合的连接器3的端子突出并可与该端子接触。
57.在实施方式的探头2中，设置有多个同轴电缆8和多个探针16。根据这种结构，作为被检查体的连接器3即便是具备多个端子的多极连接器，也能够同时实施连接器3的各端子的特性检查。在实施方式中，尤其是设置有8个同轴电缆8和8个探针16，从而能够同时实施具有8个端子的多极连接器3的特性检查。
58.嵌合部10a具有一对突起24。一对突起24是从嵌合部10a的底部向下方突出的突起，并相互隔开间隔地配置。在一对突起24之间形成有将连接器3的端子朝向探针16引导的引导槽28。引导槽28的表面形状被设计成与连接器3相对应的形状。
59.插头10的安装部10b具有承受前述的推力轴承14的大致圆板状的部分和与嵌合部10a连接的部分。
60.若返回图1～图5，则弹簧12是用于将前述的探针16以适当的载荷向连接器3的端子按压的弹性体。弹簧12在凸缘4与插头10之间配置于外壳6的四周。一方面，如图1、图3所示，弹簧12的靠一侧(上侧)的端部被圧入至形成于凸缘4的下表面的槽。另一方面，如图2、图3所示，弹簧12的靠另一侧(下侧)的端部与推力轴承14的表面接触。弹簧12与推力轴承14未被相互固定。
61.在图1、图2所示那样的使连接器3与嵌合部10a嵌合之前的状态下，弹簧12处于比自然长度短的状态，即处于压缩状态。处于压缩状态的弹簧12沿轴向a施力，以使位于上方的凸缘4与位于下方的推力轴承14和插头10相互远离。处于压缩状态的弹簧12以欲朝向自然长度延伸的弹力的形式具有沿轴向a的作用力f。
62.实施方式中的弹簧12是螺旋状的螺旋弹簧，能够容易调节长度和弹力。弹簧12具有弹性模量k1和收缩量x1，作用力f能够估算为弹性模量k1乘以收缩量x1而得的值。弹性模量可以称为“弹性率”、“弹性常数”，也可以代用为“弹簧常数”。
63.如图3所示，弹簧12的外径d1被设定为大于推力轴承14的中心孔的直径d2。通过这
种长度的设定，而防止未固定于推力轴承14的弹簧12错误进入至推力轴承14的中心孔。
64.推力轴承14是以承受前述的弹簧12所产生的沿轴向a的作用力f的方式夹设的部件。与弹簧12同样，推力轴承14在凸缘4与插头10之间配置于外壳6的四周。推力轴承14未固定于弹簧12和插头10的任一者，并以能够沿以轴向a为中心的旋转方向r旋转的状态配置于外壳6的四周。
65.在实施方式中，将弹簧12配置于上侧，将推力轴承14配置于下侧。弹簧12配置于凸缘4与推力轴承14之间，推力轴承14配置于弹簧12与插头10之间。弹簧12与凸缘4和推力轴承14直接接触，推力轴承14与弹簧12和插头10直接接触。根据这种结构，与在这些部件之间夹设其它部件的情况相比，能够减少部件件数。
66.图8a、图8b分别是从不同角度观察推力轴承14的分解立体图。如图8a、图8b所示，推力轴承14具有第一止推垫圈30、第二止推垫圈32以及保持器34。
67.第一止推垫圈30、第二止推垫圈32以及保持器34分别是形成有中心孔30a、32a、34a的环状的部件。中心孔30a、32a、34a的直径被设定为都大致相同。
68.第一止推垫圈30和第二止推垫圈32是相同尺寸的圆筒状的部件。第一止推垫圈30配置于保持器34的上侧，第二止推垫圈32配置于保持器34的下侧。第一止推垫圈30具有上表面30b和下表面30c，第二止推垫圈32具有上表面32b和下表面32c。第一止推垫圈30以下表面30c面对保持器34，第二止推垫圈32以上表面32b面对保持器34。
69.保持器34是配置于第一止推垫圈30与第二止推垫圈32之间的环状的部件。实施方式的保持器34保持多个滚珠36。多个滚珠36被设置为能够以被第一止推垫圈30的下表面30c和第二止推垫圈32的上表面32b夹住的状态相对于止推垫圈30、32向旋转方向r相对移动。
70.如图8a、图8b所示，第一止推垫圈30的上表面30b和下表面30c以及第二止推垫圈32的上表面32b和下表面32c均形成为平坦。尤其是，通过将第一止推垫圈30的与保持器34的滚珠36接触那侧的面亦即下表面30c和第二止推垫圈32的与保持器34的滚珠36接触那侧的面亦即上表面32b形成为平坦，从而保持器34的滚珠36能够沿水平方向移动。对于某些种类推力轴承，在止推垫圈中的与保持器的滚珠接触那侧的面形成圆周状的凹部作为滚珠的轨道而限制滚珠的移动，但通过下表面30c和上表面32b形成为平坦，则不限制保持器34的滚珠36的移动。因此，保持器34的滚珠36不仅能够相对于止推垫圈30、32向旋转方向r相对旋转，而且也能够进行水平方向上的横向移动。
71.如图4、图5所示，探头2还具备板状部件26。
72.板状部件26是用于防止同轴电缆8向上方脱离的部件。板状部件26配置于插头10的安装部10b，并配置于外壳6的顶端部22与插头10之间。
73.在外壳6的顶端部22借助板状部件26安装于插头10的状态下，外壳6和插头10能够沿作为周向的旋转方向r一体旋转。未安装于外壳6和插头10任一者的弹簧12和推力轴承14不是一体旋转。
74.使用图9a、图9b对具有上述结构的探头2的动作进行说明。图9a是表示连接器3嵌合之前的外壳6的剖切立体图，图9b是表示连接器3嵌合之后的外壳6的剖切立体图。在图9a、图9b中省略了连接器3、插头10、弹簧12以及推力轴承14等的图示，仅图示了凸缘4和外壳6。
75.在图9a所示的状态下，外壳6的基端部21收纳于凹部13，处于压缩状态的弹簧12(未图示)具有作用力f1。从图9a所示的状态起，连接器3与插头10的嵌合部10a(未图示)嵌合，从连接器3经由插头10对外壳6赋予向上方的按压力。由此，如图9b所示，外壳6相对于凸缘4向上方浮起，从而外壳6的基端部21与凸缘4之间的卡合被解除。
76.在图9b所示的状态下，外壳6能够在贯穿孔20之中的范围内向水平方向移动，并且能够向旋转方向r(未图示)旋转。与嵌合于插头10的连接器3的端子的位置相对应地，外壳6向水平方向横向移动并且向旋转方向r旋转。由此，与连接器3的端子的位置相对应地调整外壳6和插头10的姿势，从而能够进行安装于插头10的探针16与连接器3的端子之间的对位。
77.图9b所示的弹簧12从图9a所示的状态开始进一步收缩，具有比作用力f1大的作用力f2。通过弹簧12具有作用力f2，从而能够将配置于插头10的探针16以适当的载荷对连接器3进行按压。
78.之后，若连接器3的特性检查结束，则连接器3与插头10之间的嵌合被解除，并返回至图9a所示的状态。
79.若反复执行连接器3的特性检查，则重复图9b所示那样的外壳6的水平方向上的横向移动和向旋转方向r的旋转。绕外壳6配置的弹簧12的靠上侧的端部固定于凸缘4的下表面，若插头10与连接器3嵌合，则弹簧12压缩，但在压缩的弹簧12上产生向卷绕方向或向与节距相对应的旋转方向r的扭转。该扭转作为弹簧12的旋转力w而作用于其它部件。通过在弹簧12上产生旋转力w，从而向与弹簧12连结的插头10传递旋转力w，由此有在配置于插头10的探针16上产生错位的可能性。
80.与此相对，在实施方式的探头2中，将弹簧12没有固定于外壳6和插头10中任一者，而是以固定于凸缘4的下表面的状态配置于外壳6的四周。由此，即便是在改变了外壳6和插头10的姿势的情况下，也抑制伴随于该改变地在弹簧12上产生扭转和旋转力w。此外，在实施方式的探头2中，在弹簧12与插头10之间夹设推力轴承14。推力轴承14具有承受弹簧12的沿轴向a的作用力f，并且吸收伴随弹簧12的扭转所产生的旋转力w的功能。由此，即便是在伴随弹簧12的扭转而产生了旋转力w的情况下，也能够防止旋转力w向插头10传递，因此能够抑制配置于插头10的探针16的错位。这样一来，能够提高连接器3的特性检查的精度。
81.如上述那样，实施方式的探头2具备凸缘4、外壳6、插头10、弹簧12以及推力轴承14。凸缘4是形成有贯穿孔20的部件。外壳6具有作为靠一侧的端部的基端部21和作为靠另一侧的端部的顶端部22，外壳6穿过凸缘4的贯穿孔20，基端部21能够与贯穿孔20嵌合，外壳6内包同轴电缆8并沿轴向a延伸。插头10安装于外壳6的顶端部22，并在底部形成有供与同轴电缆8电连接的探针16通过的开口部。弹簧12是配置于凸缘4与插头10之间、并能够对凸缘4和插头10向使它们相互远离的方向沿轴向a施力的弹性体。推力轴承14在凸缘4与插头10之间绕外壳6配置，并夹设于凸缘4与插头10之间，用以承受弹簧12所产生的沿轴向a的作用力f。
82.根据这种结构，能够利用推力轴承14承受弹簧12所产生的沿轴向a的作用力f，并且能够吸收弹簧12的伴随扭转而产生的旋转力w。由此，能够抑制弹簧12的旋转力w向插头10传递，从而能够抑制配置于插头10的探针16的错位，由此能够使探针16高精度地与连接器的端子接触。这样一来，能够提高连接器的特性检查的精度。
83.并且，在实施方式的探头2中，推力轴承14配置于弹簧12与插头10之间。根据这种结构，通过将推力轴承14配置于比弹簧12接近插头10的位置，能够使弹簧12的旋转力不易通过插头10传递。
84.并且，在实施方式的探头2中，推力轴承14与插头10直接接触。根据这种结构，在推力轴承14与插头10之间没有设置部件，由此能够减少部件件数。
85.并且，在实施方式的探头2中，推力轴承14与弹簧12直接接触。根据这种结构，在推力轴承14与弹簧12之间没有设置部件，由此能够减少部件件数。
86.并且，在实施方式的探头2中，作为产生作用力f的弹性体，使用配置于外壳6四周的弹簧12。根据这种结构，能够对于弹性体使用通用结构，从而能够降低探头2的制造成本。
87.并且，在实施方式的探头2中，弹簧12的外径d1被设定为大于推力轴承14的中心孔的直径d2。根据这种结构，能够防止弹簧12错误进入至推力轴承14的中心孔。
88.并且，在实施方式的探头2中，推力轴承14具有环状的第一止推垫圈30、环状的第二止推垫圈32以及环状的保持器34。第二止推垫圈32配置于比第一止推垫圈30靠外壳6的顶端部22侧处。保持器34配置于第一止推垫圈30与第二止推垫圈32之间，并保持多个滚珠36。根据这种结构，作为推力轴承14能够使用通用结构，从而能够降低探头2的制造成本。
89.并且，在实施方式的探头2中，第一止推垫圈30和第二止推垫圈32中的面对保持器34那侧的下表面30c和上表面32b平坦。根据这种结构，与在止推垫圈30、32的靠内侧的面设置保持器34的滚珠36的轨道槽的情况相比，保持器34的滚珠36能够沿平面方向自由移动。由此，不仅能够通过推力轴承14吸收弹簧12的伴随扭转而产生的旋转力w，而且还能够通过推力轴承14吸收平面方向上的错位。因此，能够进一步抑制探针16的错位，从而能够进一步提高连接器3的特性检查的精度。
90.并且，在实施方式的探头2中，同轴电缆8和探针16被分别设置有多个，该探头2进行具有多个端子的多极连接器3的特性检查。根据这种结构，针对由于多极连接器3具有多个端子所以容易由于探针16的错位而产生与端子之间的接触不良的问题，通过抑制伴随弹簧12的扭转而产生的探针16的错位，能够提高多极连接器3的特性检查的精度。
91.以上，举上述实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，对将弹簧12配置于上侧，将推力轴承14配置于下侧的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。例如，也可以将弹簧12配置于下侧，将推力轴承14配置于上侧等，只要位于凸缘4与插头10之间就能够分别配置于任意的位置。
92.另外，在上述实施方式中，对设置有一个推力轴承14的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。例如，也可以设置有两个推力轴承14。在设置有两个推力轴承14的情况下，在图1、图2所示的探头2中，也可以在凸缘4与弹簧12之间夹设与推力轴承14不同的推力轴承。
93.另外，在上述实施方式中，对使用弹簧12来作为产生沿轴向a的作用力f的弹性体的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。只要产生沿轴向a的作用力f，就可以使用任意的弹性体。
94.另外，在上述实施方式中，对具有多个端子的多极连接器3，尤其是，具有8个端子的多极连接器3为探头2的检查对象的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。也可以将具有任意数量的端子的连接器作为检查对象。
95.另外，在上述实施方式中，对推力轴承14为图8a、图8b所示那样的具有多个滚珠36的结构的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。只要是承受弹簧12的沿轴向a的作用力f并吸随弹簧12的收伴扭转而产生的旋转力w的“旋转力吸收部件”，就可以使用任意种类的推力轴承。这里，使用图10、图11对上述实施方式的推力轴承14的不同实施例进行说明。
96.(实施例1)
97.图10是表示实施例1的推力轴承的示意立体图。
98.如图10所示，实施例1的推力轴承是在中心部具有贯穿孔102的环状部件100。在贯穿孔102配置有外壳6(未图示)。环状部件100具有主表面104来作为与弹簧12(未图示)对置那侧的面。
99.如图10所示，主表面104具有第一面106和第二面108。第一面106是环绕贯穿孔102的面，并与弹簧12直接接触。第二面108是沿着第一面106的外周110的面，并设置于第一面106的外侧。
100.在实施例1中，环状部件100由pom等树脂一体构成。另一方面，与环状部件100接触的弹簧12和插头10的材质例如为sus。这里，sus彼此间的摩擦系数例如为0.6～0.9。与此相对，sus与pom之间的摩擦系数例如为约0.15，低于sus彼此间的摩擦系数。
101.根据这种结构，pom制的第一面106与sus制的弹簧12之间的摩擦系数(例如0.15)小于sus制的弹簧12与sus制的插头10之间的摩擦系数(例如0.6～0.9)。根据这种摩擦系数的关系，与未设置有环状部件100而使弹簧12与插头10直接接触的结构相比，能够通过夹设环状部件100而使弹簧12在环状部件100的主表面104之上容易滑动。由此，能够通过环状部件100吸收伴随弹簧12的压缩而产生的沿平面方向的力，尤其是旋转力w，从而能够抑制旋转力w向插头10传递。这样一来，能够起到与实施方式的推力轴承14(例如金属制)相同的效果。
102.此外，在实施例1中，使第二面108与弹簧12之间的摩擦系数大于第一面106与弹簧12之间的摩擦系数。为了形成为这种摩擦系数，也可以例如在通过相同的材质一体形成第一面106和第二面108之后，实施使第二面108的表面粗糙的加工。
103.根据这种第一面106与第二面108之间的摩擦系数的不同，在弹簧12相对于第一面106沿平面方向滑动时，若弹簧12移动至第一面106的外侧，则弹簧12与摩擦系数较大的第二面108接触，因此能够抑制弹簧12的进一步移动。通过在第一面106的外侧设置比第一面106表面粗糙的第二面108，能够具有限制弹簧12的移动的止动功能。
104.另外，通过将环状部件100形成为pom等树脂制，从而无需如为金属制的情况那样进行切削加工等，由此能够容易通过树脂成型改变厚度等的形状。由此，能够简便地进行弹簧12的作用力的调整。
105.另外，环状部件100的与第一面106和第二面108对置的面亦即第三面与弹簧12之间的摩擦系数优选为小于弹簧12与插头10之间的摩擦系数。在该情况下，能够进一步抑制旋转力向插头10的传递。
106.(实施例2)
107.图11是表示实施例2的推力轴承的示意立体图。
108.如图11所示，实施例2的推力轴承是在中心部具有贯穿孔202的环状部件200。在贯穿孔202配置有外壳6(未图示)。环状部件200具有第一面204来作为与弹簧12(未图示)对置
那侧的主表面。
109.与实施例1同样，由pom等树脂构成第一面204，并使第一面204与弹簧12之间的摩擦系数(例如0.15)小于弹簧12与插头10之间的摩擦系数(例如0.6～0.9)。由此，能够起到与实施例1相同的效果。
110.在实施例2中，如图11所示，在第一面204的四周设置有向与第一面204正交的方向突出的突出部206。通过设置这种突出部206，从而与实施例1同样，能够具有在弹簧12沿平面方向滑动时限制弹簧12的移动的止动功能。此外，与实施例1同样，也可以对第一面204实施表面加工。
111.在实施例1、2中，对环状部件100、200为在周向上连续的完整的环状的情况进行了说明，但并不局限于这种情况，也可以为具有局部不连续的部分的不完整的环状。即，环状部件100、200只要至少局部环绕外壳6的四周即可。
112.在上述实施方式中，对将弹簧12配置于上侧，将环状部件100、200配置于下侧的情况进行了说明，但并不限定于这种情况。例如，也可以将弹簧12配置于下侧，将环状部件100、200配置于上侧等，只要位于凸缘4与插头10之间，就能够分别配置于任意的位置。此外，在将弹簧12配置于下侧，将环状部件100、200配置于上侧的情况下，环状部件100、200与凸缘4之间的摩擦系数优选为小于弹簧12与凸缘4之间的摩擦系数。
113.上述实施例1、2的结构也可以相互组合。
114.本公开参照附图与优选的实施方式相关地进行了充分记载，但熟练该技术的人明显能够进行各种变形或修正。只要不脱离添附的权利要求书中的本公开的范围，这种变形或修正就应被理解为被包含其中。另外，各实施方式中的要素的组合或顺序的变化能够在不脱离本公开的范围和思想的前提下实现。
115.此外，通过将上述各种实施方式和变形例中的任意的实施方式或变形例适当组合，能够起到各自具有的效果。
116.工业上的利用可行性
117.本发明能够应用于进行连接器的特性检查的探头。
118.附图标记说明：
[0119]2…
探头；3
…
连接器(多极连接器)；4
…
凸缘；6
…
外壳；8
…
同轴电缆；10
…
插头；10a
…
嵌合部；10b
…
安装部；11
…
上表面；12
…
弹簧(弹性体)；13
…
凹部；14
…
推力轴承；16
…
探针；20
…
贯穿孔；21
…
基端部；22
…
顶端部；23
…
中间部；24
…
突起；26
…
板状部件；28
…
引导槽；30
…
第一止推垫圈；30a
…
中心孔；30b
…
上表面；30c
…
下表面；32
…
第二止推垫圈；32a
…
中心孔；32b
…
上表面；32c
…
下表面；34
…
保持器；34a
…
中心孔；36
…
滚珠；a
…
轴向；f、f1、f2
…
作用力；r
…
旋转方向(周向)；w
…
旋转力；100
…
环状部件(推力轴承)；102
…
贯穿孔；104
…
主表面；106
…
第一面；108
…
第二面；110
…
外周；200
…
环状部件(推力轴承)；202
…
贯穿孔；204
…
第一面；206
…
突出部。