静电探针电流测量装置的制作方法

技术特征：
1.一种静电探针电流测量装置，包括：采样电阻(1)，用于采集所述静电探针反馈的信号；放大电路(2)，用于接收所述采样电阻(1)采集的信号并进行放大；采集器(3)，用于对经过所述放大的信号进行模数转换；处理器(4)，用于对经过所述模数转换的信号进行处理得到测量结果；其特征在于，所述放大电路(2)对其接收的信号按量程分多路进行放大，所述采集器(3)对经过所述放大的多路信号分别进行模数转换，所述处理器(4)对经过所述模数转换的多路信号进行合并处理。2.根据权利要求1所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述放大电路(2)包括：精密仪表放大器(21)，用于对输入所述放大电路(2)的信号进行放大；子放大电路(22)，用于对所述精密仪表放大器(21)输出的信号按量程进行不同倍数的放大。3.根据权利要求2所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述子放大电路(22)包括：滤波模块(221)，用于对输入所述子放大电路(22)的信号进行低通滤波；运放器(222)，用于对经过所述低通滤波的信号进行放大；分压模块(223)，用于与所述运放器(222)并联组成差分放大电路。4.根据权利要求3所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述滤波模块(221)包括串联的第一、第二滤波电阻(221a，221b)和位于所述第一、第二滤波电阻(221a，221b)之间的接地线路(221c)，所述接地线路(221c)上设有滤波电容(221d)；所述分压模块(223)包括并联的分压电容(223a)和分压电阻(223b)。5.根据权利要求3所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述子放大电路(22)还包括：线性光耦模块(224)，用于使所述差分放大电路输出的信号以光耦形式传递；连接器(225)，用于将所述线性光耦模块(224)传递的信号输出。6.根据权利要求1所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述合并处理为通过上位机软件分析，根据所述采集器(3)最大量程下测量的数据大小，确定其所在的量程区间，并选择对应量程区间内的测量数据作为所述测量结果。7.根据权利要求1所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述采集器(3)为16位数采卡，所述处理器(4)为上位机。8.根据权利要求2所述的静电探针电流测量装置，其特征在于，所述放大电路(2)分别对信号进行100倍和1倍的放大。

技术总结
本发明涉及一种静电探针电流测量装置，包括：采样电阻(1)，用于采集所述静电探针反馈的信号；放大电路(2)，用于接收所述采样电阻(1)采集的信号并进行放大；采集器(3)，用于对经过所述放大的信号进行模数转换；处理器(4)，用于对经过所述模数转换的信号进行处理得到测量结果；所述放大电路(2)对其接收的信号按量程分多路进行放大，所述采集器(3)对经过所述放大的多路信号分别进行模数转换，所述处理器(4)对经过所述模数转换的多路信号进行合并处理。本发明的测量装置可以实现大动态范围信号的自动测量，保证信号测量的精度，可实现无人值守的自动测量，尤其适用于信号大小未知的不可重复试验，保证信号能完整测量。保证信号能完整测量。保证信号能完整测量。


技术研发人员：柴昊 贾军伟 刘展 陈权 李绍飞 卢从俊
受保护的技术使用者：北京东方计量测试研究所
技术研发日：2021.12.03
技术公布日：2022/3/25