一种真空腔体中微波量值的测量方法与流程

1.本发明涉及微波测量技术领域，特别涉及一种真空腔体中微波量值的测量方法。


背景技术：

2.微波是指工作频率在300mhz~300ghz范围内的一种超高频电磁波，波长为1mm~1m之间。微波可以通过大功率磁控管获得，利用电子在磁场作用下做高速圆周运动实现能量转换，产生微波能。微波具有频率高、频谱宽、高定向性等特点。目前微波技术最重要的两大应用领域为雷达和移动通信；微波技术也可用于生物体的加热。此外，高功率微波可以利用高频强电磁辐射对半导体器件进行干扰，甚至进行破坏。
3.得益于微波广泛的应用领域和方向，产生微波能量的微波源工作环境因此也随之具有较大差异，比如效应目标需要放置于真空环境接受辐照，真空环境由真空腔体提供，此时微波源同样需要放置于真空环境中。如果将微波测量仪器整体放置于真空环境中，那么普通测量仪器自身的放气会影响腔体真空度，对仪器材质和可靠性要求都很高。同时测试人员从外部操作腔体内的测量仪器，操作难度大、不方便、成本高。因此亟需开发一种简单、方便能直接测量真空腔体中微波源发射微波量值的方法。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种真空腔体中微波量值的测量方法，以解决背景技术中的问题。
5.为解决上述技术问题，本发明提供了一种真空腔体中微波量值的测量方法，包括：将真空腔体上的盲法兰换成转接引线法兰，所述转接引线法兰的内外侧均配置有sma接头；所述转接引线法兰的内侧接触真空腔体内的真空环境，将转接线一配置有sma接头的一端与转接引线法兰内侧的sma接头互连，另一端连接真空腔体内的微波探头；所述转接引线法兰的外侧接触真空腔体外的大气环境，将转接线二配置有sma接头的一端与转接引线法兰外侧的sma接头互连，另一端连接衰减器；将衰减器通过转接线三连接微波测量仪；预先调整好微波探头位置，当真空腔体中顶部的微波发射源工作时，打开微波测量仪，调节衰减器量程，通过微波测量仪实时探测真空腔体中微波量值。
6.可选的，所述转接引线法兰的类型包括kf法兰、cf法兰，所述转接引线法兰的尺寸包括kf10、kf25、kf40。
7.可选的，所述微波探头放置于真空腔体内，其探测位置能够依据测试者需求调整。
8.可选的，所述衰减器的衰减量程包括0-30db、0-60db、0-90db；所述微波测量仪的工作频率包括240 mhz ~960 mhz、10 mhz~2.7 ghz。
9.在本发明提供的真空腔体中微波量值的测量方法中，通过在真空腔体上增加配置有sma接头的定制转接引线法兰，将微波探头和微波测量仪分离。微波探头通过转接线一与
转接引线法兰一侧互连，并放置于真空腔体内任意位置；微波测量仪通过转接线三、衰减器、转接线二与转接引线法兰一侧互连，放置于真空腔体外的大气环境中，测量者可以直接在大气环境中进行测量，整个方法简单、方便、成本低。配置有sma接头的转接引线法兰起到了隔绝真空和大气的作用，保护了腔体真空环境，同时简单方便地构建了真空和大气环境的测量通道，保证了测量的可操作性。本方法只需定制转接引线法兰，成本低；同时真空腔体内的微波探头配置有转接线，探测位置可根据测量者需求调整。微波测量仪前置配有衰减器，可根据微波功率大小进行各种量值的测量。
附图说明
10.图1是本发明提供的真空腔体中微波量值的测量方法流程示意图；图2是目前真空腔体中微波辐照示意图；图3是真空腔体上的转接引线法兰替换盲法兰的示意图；图4是配置有sma接头的转接引线法兰的结构示意图；图5是真空腔体的内侧部件连接的示意图；图6是真空腔体的外侧部件连接的示意图。
具体实施方式
11.以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种真空腔体中微波量值的测量方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
12.实施例一本发明提供了一种真空腔体中微波量值的测量方法，其流程如图1所示，包括如下步骤：步骤s11、将真空腔体上的盲法兰换成转接引线法兰，所述转接引线法兰的内外侧均配置有sma接头；步骤s12、将转接线一配置有sma接头的一端与转接引线法兰内侧的sma接头互连，另一端连接真空腔体内的微波探头；步骤s13、将转接线二配置有sma接头的一端与转接引线法兰外侧的sma接头互连，另一端连接衰减器；步骤s14、将衰减器通过转接线三连接微波测量仪；步骤s15、预先调整好微波探头位置，当真空腔体中顶部的微波发射源工作时，打开微波测量仪，调节衰减器量程，通过微波测量仪实时探测真空腔体中微波量值。
13.目前使用在真空腔体11上的是如图2所示的盲法兰1，真空腔体11中放置有效应物10，首先，如图3所示，将真空腔体11上的盲法兰1换成转接引线法兰2，所述转接引线法兰的内外侧均配置有sma接头，如图4所示，所述转接引线法兰2的类型可以为kf法兰或cf法兰，所述转接引线法兰2的尺寸可以为kf10、kf25或kf40，类型和尺寸可依据真空腔体中预留的法兰类型和尺寸调整；如图5所示，将转接线一3配置有sma接头的一端与转接引线法兰2内侧的sma接头
互连，另一端连接真空腔体内的微波探头4，并且所示微波探头4的探测位置能够依据测试者需求调整；如图6所示，将转接线二5配置有sma接头的一端与转接引线法兰2外侧的sma接头互连，另一端连接衰减器6；将衰减器6通过转接线三7连接微波测量仪8；所述衰减器6的衰减量程包括0-30db、0-60db、0-90db；通过衰减器可以扩大微波测量仪的测量微波量值范围，所述衰减器也非必备配件。所述微波测量仪8的工作频率包括240 mhz ~960 mhz、10 mhz~2.7 ghz。
14.预先调整好微波探头4位置，当真空腔体中顶部的微波发射源9工作时，打开微波测量仪8，调节衰减器6量程，通过微波测量仪8实时探测真空腔体中微波量值。
15.上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。


技术特征：
1.一种真空腔体中微波量值的测量方法，其特征在于，包括：将真空腔体上的盲法兰（1）换成转接引线法兰（2），所述转接引线法兰（2）的内外侧均配置有sma接头；所述转接引线法兰（2）的内侧接触真空腔体内的真空环境，将转接线一（3）配置有sma接头的一端与转接引线法兰（2）内侧的sma接头互连，另一端连接真空腔体内的微波探头（4）；所述转接引线法兰（2）的外侧接触真空腔体外的大气环境，将转接线二（5）配置有sma接头的一端与转接引线法兰（2）外侧的sma接头互连，另一端连接衰减器（6）；将衰减器（6）通过转接线三（7）连接微波测量仪（8）；预先调整好微波探头（4）位置，当真空腔体中顶部的微波发射源（9）工作时，打开微波测量仪（8），调节衰减器（6）量程，通过微波测量仪（8）实时探测真空腔体中微波量值。2.如权利要求1所述的真空腔体中微波量值的测量方法，其特征在于，所述转接引线法兰（2）的类型包括kf法兰、cf法兰，所述转接引线法兰（2）的尺寸包括kf10、kf25、kf40。3.如权利要求1所述的真空腔体中微波量值的测量方法，其特征在于，所述微波探头（4）放置于真空腔体内，其探测位置能够依据测试者需求调整。4.如权利要求1所述的真空腔体中微波量值的测量方法，其特征在于，所述衰减器（6）的衰减量程包括0-30db、0-60db、0-90db；所述微波测量仪（8）的工作频率包括240 mhz ~960 mhz、10 mhz~2.7 ghz。

技术总结
本发明公开一种真空腔体中微波量值的测量方法，属于微波测量领域。通过在真空腔体上增加配置有SMA接头的定制转接引线法兰，将微波探头和微波测量仪分离。微波探头通过转接线一与转接引线法兰一侧互连；微波测量仪通过转接线三、衰减器、转接线二与转接引线法兰一侧互连，放置于真空腔体外的大气环境中，测量者可以直接在大气环境中进行测量，整个方法简单、方便、成本低。配置有SMA接头的转接引线法兰起到了隔绝真空和大气的作用，保护了腔体真空环境，同时简单方便地构建了真空和大气环境的测量通道，保证了测量的可操作性。本方法只需定制转接引线法兰，成本低；同时真空腔体内的微波探头配置有转接线，探测位置可根据测量者需求调整。者需求调整。者需求调整。


技术研发人员：袁渊 吴佳炜
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第五十八研究所
技术研发日：2021.11.25
技术公布日：2022/4/1