高速巨量晶粒转移设备的制作方法

1.本实用新型涉及晶粒转移设备领域技术，尤其是指一种高速巨量晶粒转移设备。


背景技术：

2.随着mini led显示技术的迅速发展，mini led显示产品已开始应用于超大屏高清显示，如监控指挥、高清演播、高端影院、医疗诊断、广告显示、会议会展、办公显示、虚拟现实等商用领域。mini led显示器生产过程中往往需要将晶圆上的晶粒转移到基板上。
3.现有的晶粒转移设备中一般采用摆臂和真空吸取的方式进行晶粒转移，作业时下方顶针将需要摆放的晶粒顶起(顶针盖采用真空将wafer蓝膜吸住，顶针从中间顶针孔将晶粒顶起脱离wafer蓝膜)，安装好吸嘴的摆臂利用真空将顶起的晶粒进行吸附，然后吹气放置在放置端的蓝膜上，这种晶粒转移的方式效率较低，不能满足当前的生产要求，且无法对转移的晶粒进行检测，产品的质量也无法得到保证，因此，有必要对现有的晶粒转移设备作出进一步的改进。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型针对现有技术存在之缺失，其主要目的是提供一种高速巨量晶粒转移设备，其能有效解决现有之晶粒转移设备转移效率低，无法满足生产需求以及产品质量难以保证的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型采用如下之技术方案：
6.一种高速巨量晶粒转移设备，包括有机架、控制器、蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构、蓝膜入料手臂机构、蓝膜换取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构以及ccd检测机构；
7.该控制器设置在机架上；该蓝膜入料机构设置在机架上并连接控制器；该蓝膜载台机构设置在机架上并位于蓝膜入料机构的侧旁，蓝膜载台机构连接控制器，该蓝膜载台机构上具有蓝膜固定夹具；该顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方，顶针机构连接控制器；该蓝膜入料手臂机构设置在机架上并来回活动于蓝膜入料机构和蓝膜载台机构之间，蓝膜入料手臂机构连接控制器；该蓝膜换取机构可横向来回活动地设置在机架上并位于蓝膜载台机构的上方，蓝膜换取机构连接控制器；该玻璃载台机构设置在机架上并连接控制器，该玻璃载台机构位于蓝膜载台机构的正上方；该玻璃翻转机构设置在机架上并连接控制器；该玻璃入料手臂机构设置在机架上并来回活动于玻璃翻转机构和玻璃载台机构之间，玻璃入料手臂机构连接控制器；该ccd检测机构设置在机架上并位于玻璃载台机构的上方，ccd检测机构连接控制器。
8.作为一种优选方案，所述蓝膜载台机构为横向间隔排布的三个，对应的，该玻璃载台机构和ccd检测机构均为横向间隔排布的三个。
9.作为一种优选方案，所述机架上包括有工作台和设置于工作台上的龙门架；该蓝膜入料机构、蓝膜载台机构、顶针机构以及蓝膜入料手臂机构均设置在工作台上，该蓝膜换
取机构、玻璃载台机构、玻璃翻转机构、玻璃入料手臂机构和ccd检测机构均设置在龙门架上。
10.作为一种优选方案，所述机架上还设置有两除静电机构，该两除静电机构分别设置在龙门架的左右两侧。
11.作为一种优选方案，所述蓝膜入料机构为两个，其分别设置在机架的左右两侧。
12.作为一种优选方案，所述机架上设置有第一滑轨，该蓝膜入料手臂机构设置在第一滑轨上并沿着第一滑轨横向来回活动，蓝膜入料手臂机构上设置有第一驱动机构，该第一驱动机构带动蓝膜入料手臂机构沿着第一滑轨横向来回活动。
13.作为一种优选方案，所述机架上还设置有第二滑轨和第二驱动机构，该蓝膜换取机构设置在第二滑轨上并沿着第二滑轨横向来回活动，该第二驱动机构带动蓝膜换取机构横向来回活动，第二驱动机构连接控制器。
14.作为一种优选方案，所述玻璃载台机构上设置有玻璃固定夹具，玻璃固定夹具设置在蓝膜固定夹具的正上方。
15.作为一种优选方案，所述玻璃翻转机构包括有翻转架、玻璃翻转夹具以及第三驱动机构，该翻转架设置在机架上，该玻璃翻转夹具可来回翻转地设置在翻转架上；该第三驱动机构设置在翻转架上并带动玻璃翻转夹具来回翻转，第三驱动机构连接控制器。
16.作为一种优选方案，所述玻璃入料手臂机构包括有活动架、玻璃入料机械臂以及第四驱动机构；该活动架横向延伸地设置于机架上，该玻璃入料机械臂可横向来回活动地设置在活动架上，该第四驱动机构设置在机架上并带动玻璃入料机械臂横向来回活动，第四驱动机构连接控制器。
17.本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果，具体而言，由上述技术方案可知：
18.通过设置有顶针机构，以及顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方，使之通过顶针机构将蓝膜中的晶粒转移到玻璃上，针刺的方式相较于传统地摆臂和真空吸取的方式，晶粒转移的效率更高，能满足当前生产的需求，并配合ccd检测机构设置在玻璃载台机构上，使得在进行晶粒转移时能对晶粒的位置进行检测，检测是否有残缺不良的晶粒，避免将不合格的晶粒转移到玻璃上，保证了产品质量的稳定性。
19.为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
附图说明
20.图1是本实用新型之较佳实施例的立体结构示意图；
21.图2是本实用新型之较佳实施例的局部组装示意图；
22.图3是本实用新型之较佳实施例另一角度的局部组装示意图；
23.图4是本实用新型之较佳实施例又一角度的局部组装示意图；
24.图5是本实用新型之较佳实施例的另一局部组装示意图。
25.附图标识说明：
26.a、机架
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10a、工作台
27.20a、龙门架
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30a、除静电机构
28.40a、第一滑轨
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50a、第二滑轨
29.60a、第二驱动机构
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b、控制器
30.c、蓝膜入料机构
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d、蓝膜载台机构
31.10d、蓝膜固定夹具
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e、顶针机构
32.f、蓝膜入料手臂机构
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10f、第一驱动机构
33.g、蓝膜换取机构
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h、玻璃载台机构
34.10h、玻璃固定夹具
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i、玻璃翻转机构
35.10i、翻转架
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20i、玻璃翻转夹具
36.30i、第三驱动机构
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j、玻璃入料手臂机构
37.10j、活动架
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20j、玻璃入料机械臂
38.30j、第四驱动机构
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k、ccd检测机构。
具体实施方式
39.请参照图1至图5所示，其显示出了本实用新型之较佳实施例的具体结构，其中包括有机架a、控制器b、蓝膜入料机构c、蓝膜载台机构d、顶针机构e、蓝膜入料手臂机构f、蓝膜换取机构g、玻璃载台机构h、玻璃翻转机构i、玻璃入料手臂机构j以及ccd检测机构k。
40.该控制器b设置在机架a上；在本实施例中，所述机架a上包括有工作台10a和设置于工作台上的龙门架20a；该蓝膜入料机构c、蓝膜载台机构d、顶针机构e以及蓝膜入料手臂机构f均设置在工作台10a上，该蓝膜换取机构g、玻璃载台机构h、玻璃翻转机构i、玻璃入料手臂机构j和ccd检测机构k均设置在龙门架20a上；所述机架a上还设置有两除静电机构30a，该两除静电机构30a分别设置在龙门架20a的左右两侧；所述机架a上设置有第一滑轨40a；所述机架a上还设置有第二滑轨50a和第二驱动机构60a。
41.该蓝膜入料机构c设置在机架a上并连接控制器b；在本实施例中，所述蓝膜入料机构c为两个，其分别设置在机架a的左右两侧。
42.该蓝膜载台机构d设置在机架a上并位于蓝膜入料机构c的侧旁，蓝膜载台机构d连接控制器b，该蓝膜载台机构d上具有蓝膜固定夹具10d；在本实施例中，所述蓝膜载台机构d为横向间隔排布的三个，且蓝膜载台机构d可在控制器b带动下进行位置调节。
43.该顶针机构e设置在机架a上并上下来回活动于蓝膜固定夹具10d的正下方，顶针机构e连接控制器b。
44.该蓝膜入料手臂机构f设置在机架a上并来回活动于蓝膜入料机构c和蓝膜载台机构d之间，蓝膜入料手臂机构f连接控制器b；在本实施例中，该蓝膜入料手臂机构f设置在第一滑轨40a上并沿着第一滑轨40a横向来回活动，蓝膜入料手臂机构f上设置有第一驱动机构10f，该第一驱动机构10f带动蓝膜入料手臂机构f沿着第一滑轨40a横向来回活动。
45.该蓝膜换取机构g可横向来回活动地设置在机架a上并位于蓝膜载台机构d的上方，蓝膜换取机构g连接控制器b；在本实施例中，所述蓝膜换取机构g设置在第二滑轨50a上并沿着第二滑轨50a横向来回活动，该第二驱动机构60a带动蓝膜换取机构g横向来回活动，第二驱动机构60a连接控制器b。
46.该玻璃载台机构h设置在机架a上并连接控制器b，该玻璃载台机构h位于蓝膜载台机构d的正上方；在本实施例中，所述玻璃载台机构h也为横向间隔排布的三个；所述玻璃载
台机构h上设置有玻璃固定夹具10h，玻璃固定夹具10h设置在蓝膜固定夹具10d的正上方，且玻璃载台机构h可在控制器b带动下进行位置调节。
47.该玻璃翻转机构i设置在机架a上并连接控制器b；在本实施例中，所述玻璃翻转机构i包括有翻转架10i、玻璃翻转夹具20i以及第三驱动机构30i，该翻转架10i设置在机架a上，该玻璃翻转夹具20i可来回翻转地设置在翻转架10i上；该第三驱动机构30i设置在翻转架10i上并带动玻璃翻转夹具20i来回翻转，第三驱动机构30i连接控制器b。
48.该玻璃入料手臂机构j设置在机架a上并来回活动于玻璃翻转机构i和玻璃载台机构h之间，玻璃入料手臂机构j连接控制器b；在本实施例中，所述玻璃入料手臂机构j包括有活动架10j、玻璃入料机械臂20j以及第四驱动机构30j；该活动架10j横向延伸地设置于机架a上，该玻璃入料机械臂20j可横向来回活动地设置在活动架10j上，该第四驱动机构30j设置在机架a上并带动玻璃入料机械臂20j横向来回活动，第四驱动机构30j连接控制器b。
49.该ccd检测机构k设置在机架a上并位于玻璃载台机构h的上方，ccd检测机构k连接控制器b。
50.详述本实施例的工作原理如下：
51.工作时，先通过人工将晶粒蓝膜料夹放置到蓝膜入料机构c中，然后通过蓝膜入料手臂机构f将，蓝膜入料机构c中的蓝膜扩晶环取出，接着由蓝膜换取机构g将蓝膜入料手臂机构f中的蓝膜扩晶环取出并分别放置到三个蓝膜载台机构d之蓝膜固定夹具10d中，接着流水线将玻璃送到玻璃翻转机构i中，然后通过玻璃入料手臂机构j将玻璃翻转机构i中的玻璃放置到玻璃载台机构h之玻璃固定夹具10h中，并通过ccd检测机构k和控制器b的配合对蓝膜载台机构h和玻璃载台机构h的位置调节至工作区域，并校正两者的位置偏差，之后由顶针机构e工作将蓝膜上的晶粒顶起到玻璃的下表面上，同时ccd检测机构k同时检测晶粒的位置和质量，避免将不合格的晶粒转移到玻璃上，蓝膜上的晶粒用完后，通过蓝膜换取机构g和蓝膜入料手臂机构f放置到蓝膜入料机构c的料仓中，排完晶粒的玻璃通过玻璃入料手臂机构j和玻璃翻转机构i回到流水线上。
52.本实用新型的设计重点在于：通过设置有顶针机构，以及顶针机构设置在机架上并上下来回活动于蓝膜固定夹具的正下方，使之通过顶针机构将蓝膜中的晶粒转移到玻璃上，针刺的方式相较于传统地摆臂和真空吸取的方式，晶粒转移的效率更高，能满足当前生产的需求，并配合ccd检测机构设置在玻璃载台机构上，使得在进行晶粒转移时能对晶粒的位置进行检测，检测是否有残缺不良的晶粒，避免将不合格的晶粒转移到玻璃上，保证了产品质量的稳定性。
53.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型的技术范围作任何限制，故凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。