一种新型氧化物薄膜晶体管器件

技术特征：
1.一种新型氧化物薄膜晶体管器件，包括柔软衬底(1)、缓冲层(2)和氧化物半导体(3)，所述缓冲层(2)安装在柔软衬底(1)上端，所述氧化物半导体(3)安装在缓冲层(2)上端内侧，其特征在于，还包括：支撑机构(100)，所述支撑机构(100)安装在氧化物半导体(3)上侧；所述支撑机构(100)包括绝缘板一(101)、绝缘板二(102)和隔离组件(200)，所述绝缘板一(101)安装在氧化物半导体(3)上端，所述绝缘板二(102)安装在绝缘板一(101)上端，所述绝缘板二(102)的上表面设置有两组支撑筒(103)和定位筒(104)，所述定位筒(104)安装在支撑筒(103)的上端，一组所述定位筒(104)内侧安装源极(106)，另一组所述定位筒(104)内侧安装漏极(107)，所述隔离组件(200)安装在绝缘板二(102)的上表面，并位于两组支撑筒(103)和定位筒(104)之间。2.根据权利要求1所述的一种新型氧化物薄膜晶体管器件，其特征在于，所述隔离组件(200)包括下支撑座(201)、隔离块一(202)、隔离块二(203)、连接膜(204)和上支撑座(205)，所述下支撑座(201)安装在绝缘板二(102)的上表面，所述下支撑座(201)从下往上依次交替地安装有隔离块一(202)和隔离块二(203)，所述上支撑座(205)安装在位于最上方的隔离块一(202)上，所述下支撑座(201)、隔离块一(202)、隔离块二(203)和上支撑座(205)的左右两侧均安装有所述连接膜(204)。3.根据权利要求1所述的一种新型氧化物薄膜晶体管器件，其特征在于，所述支撑机构(100)还包括防护隔离板(105)，所述防护隔离板(105)安装在连接膜(204)和上支撑座(205)的上端，所述防护隔离板(105)延伸至定位筒(104)的上方。

技术总结
本实用新型公开的属于氧化物薄膜晶体管技术领域，具体为一种新型氧化物薄膜晶体管器件，包括柔软衬底、缓冲层和氧化物半导体，所述缓冲层安装在柔软衬底上端，所述氧化物半导体安装在缓冲层上端内侧，还包括：支撑机构，所述支撑机构安装在氧化物半导体上侧；所述支撑机构包括绝缘板一、绝缘板二和隔离组件，所述绝缘板一安装在氧化物半导体上端，所述绝缘板二安装在绝缘板一上端，所述绝缘板二的上表面设置有两组支撑筒和定位筒，本实用新型有益效果是：通过对氧化物半导体设置有隔离组件，对源极和漏极与氧化物半导体进行绝对隔离与防护，减少氧化物半导体对源极和漏极产生的影响。减少氧化物半导体对源极和漏极产生的影响。减少氧化物半导体对源极和漏极产生的影响。


技术研发人员：宋家琪 蔡文洁
受保护的技术使用者：深圳技术大学
技术研发日：2021.12.09
技术公布日：2022/5/16