一种用于Micro-LED芯片制备的曝光装置的制作方法

一种用于micro-led芯片制备的曝光装置
技术领域
1.本实用新型涉及生产辅助技术领域，尤其涉及一种用于 micro-led芯片制备的曝光装置。


背景技术：

2.micro-led显示技术是指以自发光的微米量级的led为发光像素单元，将其组装到驱动面板上形成高密度led阵列的显示技术。由于 micro led芯片尺寸小、集成度高和自发光等特点,在显示方面与 lcd、oled相比在亮度、分辨率、对比度、能耗、使用寿命、响应速度和热稳定性等方面具有更大的优势，在现有的使用中运用的越来越广泛。
3.在micro-led生产过程中，需要进行曝光，但是由于环境的不稳定，使得曝光周边的气体会产生一定的误差，进而使得整个曝光不稳定，板材的质量。


技术实现要素：

4.本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置，解决了曝光不好的问题。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种用于micro-led芯片制备的曝光装置，包括：
7.放置箱，所述放置箱内固定连接有处理箱；
8.气泵，其固定连接在所述处理箱的一侧，其输出端延伸到处理箱内，所述处理箱的一侧固定连接有出气管，所述气泵的输入端连接有与放置箱相连接的进气管；
9.功能腔，其设置于放置箱内，其底部固定连接有的反光板；
10.灯源，其固定连接在所述反光板上，其上方设置有与功能腔顶壁固定连接的透光板；
11.放置机构，其位于所述透光板的上方，其上方设置有与放置箱相连接的遮光板；以及
12.功能架，其与放置箱滑动连接，且其顶端转动连接有显微镜。
13.优选的，所述放置机构包括：
14.滑槽，且对称设置在所述放置箱内，其中间设置有与放置箱转动连接的丝杆，两个所述丝杆的一端均传动连接有与放置箱固定连接的电机；
15.滑块，其与丝杆螺旋传动配合，其设置有多个，两个平行设置的滑块之间固定连接有夹持块；以及
16.夹持板，且滑动套设在所述夹持块之间的，其一侧转动连接有与夹持块螺纹连接的螺纹杆。
17.优选的，所述处理箱内固定连接有多个导流板，两个所述导流板之间设置有与处理箱固定连接的加热管。
18.优选的，所述遮光板上设置有多条刻度线，所述处理箱的一侧设置有用于功能架
滑动的滑动槽。
19.优选的，所述出气管上连接有计量阀，所述出气管远离处理箱的一端固定连接有温湿度传感器。
20.优选的，所述放置箱的顶部固定连接有plc控制器，所述放置箱的一侧固定连接有显示器。
21.本实用新型的有益效果：
22.1：通过多个装置之间的相互配合，可以在较为稳定的环境下进行曝光，保证曝光的稳定，同时经过多个零件的使用，方便曝光的过程，方便的过程，降低工作强度，减小长时间多个曝光中的误差。
附图说明
23.图1为本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置的主视剖视示意图；
24.图2为本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置的左视剖视示意图；
25.图3为本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置的遮光板俯视示意图；
26.图4为本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置的a处放大示意图；
27.图5为本实用新型提出的一种用于micro-led芯片制备的曝光装置的b处放大示意图。
28.图中标号：1、放置箱；2、进气管；3、遮光板；4、功能架；5、功能架；6、反光板；7、灯源；8、透光板；9、功能腔；10、出气管； 11、计量阀；12、导流板；13、处理箱；14、加热管；15、气泵；16、夹持块；17、螺纹杆；18、夹持板；19、滑槽；20、丝杆；21、滑块。
具体实施方式
29.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
30.参照图1-5，一种用于micro-led芯片制备的曝光装置，包括：
31.放置箱1，放置箱1内固定连接有处理箱13，放置箱1方便板材的放置，处理箱13进行后续的处理。
32.气泵15，其固定连接在处理箱13的一侧，其输出端延伸到处理箱13内，处理箱13的一侧固定连接有出气管10，气泵15的输入端连接有与放置箱1相连接的进气管2，在进行工作时，经过气泵15 的工作，可以使得一侧的气体经过进气管2进入到处理箱13中进行处理，然后经过出气管10排出，形成气体的循环。
33.功能腔9，其设置于放置箱1内，其底部固定连接有的反光板6，功能腔9内设置有多个零部件，辅助工作的进行。
34.灯源7，其固定连接在反光板6上，其上方设置有与功能腔9顶壁固定连接的透光板
8，灯源7可以进行照射，保证曝光的进行，同时灯源7可以照射不同的光线，适应不同工作的需要，透光板8进行透光的功能，反光板6将光线进行反射。
35.放置机构，其位于透光板8的上方，其上方设置有与放置箱1相连接的遮光板3，放置机构保证板材的放置，遮光板进行辅助工作。
36.功能架5，其与放置箱1滑动连接，且其顶端转动连接有显微镜 4，功能架5进行支撑，保证显微镜4的移动。
37.放置机构包括：
38.滑槽19，且对称设置在放置箱1内，其中间设置有与放置箱1 转动连接的丝杆20，两个丝杆20的一端均传动连接有与放置箱1固定连接的电机；
39.滑块21，其与丝杆20螺旋传动配合，其设置有多个，两个平行设置的滑块21之间固定连接有夹持块16，滑块21配合着电机地阿东丝杆20的工作，可以带动夹持块16的移动，进而适应个不同规格的板材的夹持。
40.夹持板18，且滑动套设在夹持块16之间的，其一侧转动连接有与夹持块16螺纹连接的螺纹杆17，经过螺纹杆17的转动，可以使得螺纹杆17下降，然后带动夹持块16进行下降，实现对板材的夹持。
41.处理箱13内固定连接有多个导流板12，两个导流板12之间设置有与处理箱13固定连接的加热管14，在气泵13进风过后，经过导流板12使得空气的流动增加距离，保证处理的稳定，同时处理箱 13中可以填充过滤吸附材料，如活性炭医用棉等，对循环的空气进行处理，同时加热管14进行辅助的加热或者停止工作，利用较长的流动路径，进行散热，保证温度的稳定。
42.遮光板3上设置有多条刻度线，放置箱1的一侧设置有用于功能架5滑动的滑动槽，通过刻度线可以观察瑕疵的大小，用于后续计算。
43.出气管10上连接有计量阀11，出气管10远离处理箱13的一端固定连接有温湿度传感器，通过计量阀11可以连接气泵15泵出的流速，方便后续的控制，温湿度传感器进行温湿度的监测，同时提供参考。
44.放置箱1的顶部固定连接有plc控制器，放置箱1的一侧固定连接有显示器，温湿度传感器、计量阀11和显示器均通过电线与plc 控制器相连接，显示器将两个传感器感受的数据经过plc的转换，得到必要的数值进行显示，提供记录。
45.工作原理：在进行工作的过程中，接通电源，然后使得气泵15 工作，同时根据需要，开启加热管14或者关闭加热管14，使得气体开始进行循环，一端时间后，待内部环境稳定时，打开遮光板3，然后将需要曝光的板材放置到两个夹持块16之间，然后控制电机，使得丝杆20带动滑块21进行移动，进而使得两个夹持块16相向运动，进行限定，然后旋转螺纹杆17使得夹持板18下降，进行最终的固定，最后将遮光板3放置放置箱1上，进行辅助的工作，此时移动功能架 5，利用显微镜4进行观察曝光的效果，曝光完成后，依次取出遮光板3和板材，进行下一次的工作。
46.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的
方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
47.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
48.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。