被加工物的激光加工方法与流程

技术特征：
1.一种被加工物的激光加工方法，使用激光加工装置沿着间隔道对在正面上设定有多条该间隔道的被加工物实施激光加工，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对该被加工物进行吸引保持；激光束照射单元，其具有对该卡盘工作台所保持的该被加工物照射激光束的聚光器；加工进给单元，其使该卡盘工作台和该激光束照射单元在加工进给方向上相对地移动；分度进给单元，其使该卡盘工作台和该激光束照射单元在分度进给方向上相对地移动；以及控制单元，其对上述的各个单元进行控制，其中，该被加工物的激光加工方法具有如下的步骤：保护部件粘贴步骤，在该被加工物的正面或背面上粘贴保护部件；吸引保持步骤，利用该卡盘工作台对该被加工物的该保护部件侧进行吸引保持；定位步骤，将该被加工物定位成该间隔道延伸的方向与加工进给方向平行；第一激光加工步骤，在实施了该定位步骤之后，将该激光束的聚光点定位在设定于从该被加工物的分度进给方向上的一个边缘至中央的一个半面区域的多条间隔道中的未加工且处于最外侧的间隔道，依次重复进行使该被加工物和该激光束的聚光点在加工进给方向上相对地移动的加工进给以及使该被加工物和该激光束的聚光点在与加工进给方向垂直的分度进给方向上相对地移动的分度进给，对设定于该一个半面区域的多条间隔道中的从未加工且处于最外侧的间隔道朝向内侧规定的条数的间隔道实施激光加工；以及第二激光加工步骤，在实施了该第一激光加工步骤之后，将该激光束的聚光点定位在设定于从该被加工物的分度进给方向上的另一个边缘至中央的另一个半面区域的多条间隔道中的未加工且处于最外侧的间隔道，依次重复进行使该被加工物和该激光束的聚光点在加工进给方向上相对地移动的加工进给以及使该被加工物和该激光束的聚光点在与加工进给方向垂直的分度进给方向上相对地移动的分度进给，对设定于该另一个半面区域的多条间隔道中的从未加工且处于最外侧的间隔道朝向内侧规定的条数的间隔道实施激光加工，交替地重复进行该第一激光加工步骤和该第二激光加工步骤而对设定于该被加工物的所有间隔道实施激光加工。2.根据权利要求1所述的被加工物的激光加工方法，其中，该被加工物的激光加工方法还具有如下的步骤：吸引保持解除步骤，在实施了该第一激光加工步骤和该第二激光加工步骤之后，解除该卡盘工作台对该被加工物的吸引保持，释放在该被加工物上产生的压缩应力；以及再吸引保持步骤，在该吸引保持解除步骤之后，再次利用该卡盘工作台对该被加工物进行吸引保持。

技术总结
本发明提供被加工物的激光加工方法，能够抑制由于间隔道的弯曲所导致的器件的损伤和被加工物的未分割。被加工物的激光加工方法包含如下的步骤：定位步骤，按照间隔道与加工进给方向平行的方式进行定位；第一激光加工步骤，从分度进给方向上的一个边缘至中央的一个半面区域的间隔道中的未加工且处于最外侧的间隔道朝向内侧实施规定条数的加工；以及第二激光加工步骤，从另一个半面区域的间隔道中的未加工且处于最外侧的间隔道朝向内侧实施规定条数的加工。定条数的加工。定条数的加工。


技术研发人员：田中圭
受保护的技术使用者：株式会社迪思科
技术研发日：2021.11.08
技术公布日：2022/5/31