一种硅片粘蜡装置及方法与流程

1.本发明涉及一种硅片加工技术，更具体地说，它涉及一种硅片粘蜡装置及方法。


背景技术：

2.目前，半导体领域中硅部件为高消耗品，硅部件在加工制造时不同于常规金属件的加工，无法使用金属材质工装夹具，通常做法是将原材料，一般是片材，通过特制的蜡将硅片粘在石英锭盘，冷却后再进行后续机床加工。操作时，先对石英锭盘进行加热，经过加热的石英锭盘涂蜡后粘结上硅片，粘结后需要进行冷却，冷却时为防止硅材料因快速冷却产生内应力而裂开，不能采用快冷，一般采用自然冷却，但是自然冷却速度太慢。现在常规的操作方式对石英锭盘加热不便，而且石英锭盘加热后取用不便，硅片粘结到石英锭盘后冷却速度慢。


技术实现要素：

3.为了克服上述不足，本发明提供了一种硅片粘蜡装置及方法，它方便了石英锭盘的加热操作，加热后的石英锭盘取用操作方便，在同一装置上实现石英锭盘的加热和冷却，操作更加便捷，而且能够加快冷却速度。
4.为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种硅片粘蜡装置，包括机架、加热台、传送板、冷却托板，传送板置于加热台下方，传送板可移动设置，冷却托板和加热台横向错开设置，加热台下方安装升降台，升降台上设有若干顶块，传送板上和顶块对应设有避让槽，顶块可穿过避让槽；冷却托板上安装冷却风扇；冷却托板可升降安装在机架上。
5.工作时，在加热台上表面和传送板上装载石英锭盘，传送板向加热台下方移动使避让槽和顶块对准。升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使石英锭盘贴合到加热台下表面上。加热台对石英锭盘进行恒温加热。加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向外拉出到冷却托板上方，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将加热台上表面上的石英锭盘推动至冷却托板上，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上。硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。加热台上表面和下表面均可对石英锭盘进行加热，冷却托板可升降设置，接收加热台在上表面和下表面完成加热的石英锭盘，有利于提高工作效率。这种硅片粘蜡装置方便了石英锭盘的加热操作，加热后的石英锭盘取用操作方便，在同一装置上实现石英锭盘的加热和冷却，操作更加便捷，而且能够加快冷却速度。
6.作为优选，机架上安装滑轨、升降螺杆，冷却托板可升降安装在滑轨上，升降螺杆与冷却托板适配连接，升降螺杆转动带动冷却托板升降移动。
7.升降螺杆转动带动冷却托板沿滑轨升降移动，升降过程平稳可靠。
8.作为优选，机架上传送板两侧设有滑槽，滑槽延伸到冷却托板上，传送板上和滑槽
对应安装有滑轮，滑轮安装在滑槽中。
9.传送板移动过程中，滑轮在滑槽中移动，有利于提高传送板移动的平稳性，防止出现偏离现象，保证避让槽和顶块能够对准。
10.作为优选，机架上加热台的两侧均设有安装条，加热台安装在两安装条之间。
11.安装条的设置方便了加热台的安装。
12.作为优选，安装条上设有导槽，加热台边缘设有凸条，凸条与导槽适配连接。
13.加热台上的凸条安装在安装条上的导槽中，装配便捷。
14.作为优选，机架上安装升降活塞缸，升降活塞缸伸缩杆与升降台连接。
15.升降活塞缸驱动升降台升降移动，平稳可靠。
16.作为优选，传送板两侧设有手柄。手柄方便了传送板的推拉操作。
17.作为优选，机架上远离冷却托板侧安装供料台，供料台上安装用于堆叠石英锭盘的叠料框架；加热台上方安装推动架，推动架包括两相对设置的推动条，叠料框架上和推动条对应设有推动槽，推动条与推动槽可移动连接，推动条上铰接单向拨杆；传送板上铰接单向拨动条，传动板可穿过叠料框架底部；加热台上靠近叠料框架端铰接有上加热到位条和下加热到位条，加热台上靠近冷却托板端铰接有上冷却到位条和下冷却到位条。
18.加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向叠料框架方向移动，此时下加热到位条抵接到加热台下方的石英锭盘侧壁上进行定位，传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘后，单向拨动条抵接到石英锭盘侧壁上，传送板向冷却托板方向移动，完成加热的石英锭盘随传送板移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台下方，之后传送板向叠料框架方向移动，下冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上使石英锭盘滑落到冷却托板上，直到传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上。
19.加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将推动架向叠料框架方向移动，此时上加热到位条抵接到加热台上的石英锭盘侧壁上进行定位，推动条上的单向拨杆滑过叠料框架内的石英锭盘后，推动架向冷却托板方向移动，加热台上完成加热的石英锭盘随推动架移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台上，之后推动架向叠料框架方向移动，上冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上对石英锭盘进行定位，直到推动条上的单向拨杆滑过叠料框架为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上。这种结构设置方便了石英锭盘的送料，将加热完成的石英锭盘送出的同时将新的石英锭盘从叠料框架内推送到加热台位置，方便了操作，有利于提高工作效率。
20.一种硅片粘蜡方法，利用硅片粘蜡装置进行硅片粘蜡操作，包括以下步骤：s1，在加热台上表面和传送板上装载石英锭盘，传送板向加热台下方移动使避让槽和顶块对准；s2，升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使石英锭盘贴合到加热台下表面上；s3，加热台对石英锭盘进行恒温加热；s4，加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石
英锭盘支撑到传送板上，将传送板向外拉出到冷却托板上方，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将加热台上表面上的石英锭盘推动至冷却托板上，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；s5，硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。
21.一种硅片粘蜡方法，利用硅片粘蜡装置进行硅片粘蜡操作，包括以下步骤：s1，将石英锭盘堆叠在叠料框架中；s2，传送板和推动架向叠料框架方向移动，传送板上的单向拨动条被石英锭盘向后压动，单向拨动条滑过石英锭盘后回位，传送板反向移动，单向拨动条抵接到最下方的石英锭盘侧壁上，将石英锭盘向加热台方向拉动，石英锭盘抵接到下加热到位条上，将下加热到位条向后压动，石英锭盘滑过下加热到位条后，传送板停止，下加热到位条回位抵接到石英锭盘侧壁上；推动架上的单向拨杆被石英锭盘向后压动，单向拨杆滑过石英锭盘后回位，推动架反向移动，单向拨杆抵接到一石英锭盘侧壁上，将石英锭盘向加热台方向拉动，石英锭盘支撑到加热台上表面上，当石英锭盘滑过上加热到位条后，推动架停止，上加热到位条回位抵接到石英锭盘侧壁上；s3，升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使传送板上的石英锭盘贴合到加热台下表面上；s4，加热台对石英锭盘进行恒温加热；s5，加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向叠料框架方向移动，此时下加热到位条抵接到加热台下方的石英锭盘侧壁上进行定位，传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘后，单向拨动条抵接到石英锭盘侧壁上，传送板向冷却托板方向移动，完成加热的石英锭盘随传送板移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台下方，之后传送板向叠料框架方向移动，下冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上使石英锭盘滑落到冷却托板上，直到传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将推动架向叠料框架方向移动，此时上加热到位条抵接到加热台上的石英锭盘侧壁上进行定位，推动条上的单向拨杆滑过叠料框架内的石英锭盘后，推动架向冷却托板方向移动，加热台上完成加热的石英锭盘随推动架移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台上，之后推动架向叠料框架方向移动，上冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上对石英锭盘进行定位，直到推动条上的单向拨杆滑过叠料框架为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；s6，硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。
22.与现有技术相比，本发明的有益效果是：（1）硅片粘蜡过程中石英锭盘的加热操作，加热后的石英锭盘取用操作方便，在同一装置上实现石英锭盘的加热和冷却，操作更加便捷，而且能够加快冷却速度；（2）石英锭盘送料操作便捷，加热完成的石英锭盘送出的同时将新的石英锭盘从叠料框架内推送到加热台位置，方便了操作，有利于提高工作效率。
附图说明
23.图1是本发明的实施例1的结构示意图；图2是本发明的实施例1的爆炸图；图3是本发明的实施例2的结构示意图；图4是本发明的实施例2的传送板的结构示意图；图5是本发明的实施例2的推动架的连接结构示意图；图6是本发明的实施例2的叠料框架的剖视图；图中：1、机架，2、加热台，3、传送板，4、冷却托板，5、升降台，6、顶块，7、避让槽，8、冷却风扇，9、滑轨，10、升降螺杆，11、滑槽，12、滑轮，13、安装条，14、导槽，15、凸条，16、升降活塞缸，17、手柄，18、供料台，19、石英锭盘，20、叠料框架，21、推动架，22、推动条，23、拉手，24、推动槽，25、单向拨杆，26、单向拨动条，27、上加热到位条，28、下加热到位条，29、上冷却到位条，30、下冷却到位条，31、横梁，32、过渡板。
具体实施方式
24.下面通过具体实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的具体描述：实施例1：一种硅片粘蜡装置（参见附图1、附图2），包括机架1、加热台2、传送板3、冷却托板4，传送板置于加热台下方，传送板可移动设置，冷却托板和加热台横向错开设置，加热台下方安装升降台5，升降台上设有若干顶块6，传送板上和顶块对应设有避让槽7，顶块可穿过避让槽；冷却托板上安装冷却风扇8；冷却托板可升降安装在机架上。传送板设置在加热台和升降台之间，传送板和加热台之间以及传送板和升降台之间均设有间隙。
25.机架上安装滑轨9、升降螺杆10，冷却托板可升降安装在滑轨上，升降螺杆与冷却托板适配连接，升降螺杆转动带动冷却托板升降移动。升降螺杆与电机输出轴连接。机架上传送板两侧设有滑槽11，滑槽延伸到冷却托板上，传送板上和滑槽对应安装有滑轮12，滑轮安装在滑槽中。机架上加热台的两侧均设有安装条13，加热台安装在两安装条之间。安装条上设有导槽14，加热台边缘设有凸条15，凸条与导槽适配连接。机架上安装升降活塞缸16，升降活塞缸伸缩杆与升降台连接。传送板两侧设有手柄17。
26.一种硅片粘蜡方法，利用硅片粘蜡装置进行硅片粘蜡操作，包括以下步骤：s1，在加热台上表面和传送板上装载石英锭盘，传送板向加热台下方移动使避让槽和顶块对准；s2，升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使石英锭盘贴合到加热台下表面上；s3，加热台对石英锭盘进行恒温加热；s4，加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向外拉出到冷却托板上方，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将加热台上表面上的石英锭盘推动至冷却托板上，并将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；s5，硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。
27.实施例2：一种硅片粘蜡装置（参见附图3至附图6），其结构与实施例1相似，主要不
同点在于本实施例中机架上远离冷却托板侧安装供料台18，供料台上安装用于堆叠石英锭盘19的叠料框架20；加热台上方安装推动架21，推动架包括两相对设置的推动条22，两推动条之间连接拉手23，叠料框架上和推动条对应设有推动槽24，推动条与推动槽可移动连接，推动条上铰接单向拨杆25；传送板上铰接单向拨动条26，传动板可穿过叠料框架底部；加热台上靠近叠料框架端铰接有上加热到位条27和下加热到位条28，加热台上靠近冷却托板端铰接有上冷却到位条29和下冷却到位条30。
28.加热台上方前后两侧位置均安装有横梁31，上加热到位条和上冷却到位条均安装在前后两横梁上，上加热到位条和上冷却到位条与两横梁之间均安装有定位扭簧，定位扭簧使上加热到位条和上冷却到位条均处于竖直状态。下加热到位条和下冷却到位条分别安装在加热台下表面上前后两端位置，下加热到位条和下冷却到位条与加热台之间均安装好有定位扭簧，定位扭簧使下加热到位条和下冷却到位条均处于竖直状态。上加热到位条、下加热到位条、上冷却到位条、下冷却到位条均能沿从叠料框架往冷却托板方向转动，而不能反向转动，从而实现对石英锭盘的定位。
29.单向拨杆和推动条之间安装定位扭簧使单向拨杆处于竖直状态，单向拨杆能沿从叠料框架往冷却托板方向转动，而不能反向转动。
30.单向拨动条和传送板之间安装定位扭簧使单向拨动条处于竖直状态，单向拨动条能沿从叠料框架往冷却托板方向转动，而不能反向转动。
31.加热台和堆叠框架之间连接过渡板32，石英锭盘堆叠在叠料框架中后，靠近过渡板位置的一石英锭盘下端面与过渡板上表面平齐，过渡板上表面靠近堆叠框架的边缘设有倾斜设置的导向面。其它结构与实施例1相同。
32.一种硅片粘蜡方法，利用硅片粘蜡装置进行硅片粘蜡操作，包括以下步骤：s1，将石英锭盘堆叠在叠料框架中；s2，传送板和推动架向叠料框架方向移动，传送板上的单向拨动条被石英锭盘向后压动，单向拨动条滑过石英锭盘后回位，传送板反向移动，单向拨动条抵接到最下方的石英锭盘侧壁上，将石英锭盘向加热台方向拉动，石英锭盘抵接到下加热到位条上，将下加热到位条向后压动，石英锭盘滑过下加热到位条后，传送板停止，下加热到位条回位抵接到石英锭盘侧壁上；推动架上的单向拨杆被石英锭盘向后压动，单向拨杆滑过石英锭盘后回位，推动架反向移动，单向拨杆抵接到一石英锭盘侧壁上，将石英锭盘向加热台方向拉动，石英锭盘支撑到加热台上表面上，当石英锭盘滑过上加热到位条后，推动架停止，上加热到位条回位抵接到石英锭盘侧壁上；s3，升降台向上升起，升降台上的顶块穿过避让槽并顶在石英锭盘上，使传送板上的石英锭盘贴合到加热台下表面上；s4，加热台对石英锭盘进行恒温加热；s5，加热台下方的石英锭盘加热完成后，升降台向下移动回位使加热台下方的石英锭盘支撑到传送板上，将传送板向叠料框架方向移动，此时下加热到位条抵接到加热台下方的石英锭盘侧壁上进行定位，传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘后，单向拨动条抵接到石英锭盘侧壁上，传送板向冷却托板方向移动，完成加热的石英锭盘随传送板移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台下方，之后传送板向叠料框架方向移动，下冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上使石英锭盘滑落到
冷却托板上，直到传送板前端的单向拨动条滑过叠料框架下端的石英锭盘为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；加热台上方的石英锭盘加热完成后，冷却托板向上移动到与加热台上表面平齐位置，将推动架向叠料框架方向移动，此时上加热到位条抵接到加热台上的石英锭盘侧壁上进行定位，推动条上的单向拨杆滑过叠料框架内的石英锭盘后，推动架向冷却托板方向移动，加热台上完成加热的石英锭盘随推动架移动移动到冷却托板上方，同时新的石英锭盘从叠料框架内推动到加热台上，之后推动架向叠料框架方向移动，上冷却到位条抵接到石英锭盘侧壁上对石英锭盘进行定位，直到推动条上的单向拨杆滑过叠料框架为下一个石英锭盘的拉动做准备，最后将涂蜡后的硅片粘到石英锭盘上；s6，硅片与石英锭盘粘住后，驱动冷却风扇进行冷却降温，降温完成后取下石英锭盘。
33.以上所述的实施例只是本发明较佳的方案，并非对本发明作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。