一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法与流程

技术特征：
1.一种喷墨打印真空干燥装置，用于对oled基板进行干燥，其特征在于，所述喷墨打印真空干燥装置包括：干燥室；承载座，设置在所述干燥室内，用于固定待干燥的oled基板；抽真空机构，包括设置于所述干燥室外的抽气主体以及与所述抽气主体连接并沿伸位于所述干燥室内的多个抽气管道；以及气流控制件，设置于所述干燥室内且包括多个气流控制罩，每个所述气流控制罩包括开口，所述气流控制罩正对所述oled基板设置且所述开口朝向所述oled基板，且每个所述气流控制罩连接一个所述抽气管道以通过所述抽气管道对气流控制罩进行抽气。2.根据权利要求1所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述开口与所述承载座之间的距离可调。3.根据权利要求1所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述气流控制罩的数量可调。4.根据权利要求1所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述喷墨打印真空干燥装置还包括承载架，所述承载架相对所述承载座设置，所述气流控制罩背离所述开口的一端均与所述承载架固定。5.根据权利要求4所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述气流控制件包括抽气平板以及多个组合板，所述抽气平板包括多个卡槽，所述组合板与所述抽气平板卡合连接，所述抽气平板与多个所述组合板共同组合形成所述气流控制罩。6.根据权利要求4所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述气流控制罩包括顶板以及与所述顶板连接的框状体，每个所述气流控制罩通过所述顶板与所述承载架可拆卸连接。7.根据权利要求1所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述气流控制罩的高度为20厘米-50厘米。8.根据权利要求1所述的喷墨打印真空干燥装置，其特征在于，所述气流控制件的材质为金属。9.一种喷墨打印干燥方法，用于干燥经喷墨打印后的oled基板，其特征在于，所述干燥方法包括以下步骤：提供如权利要求1至8任一项所述的喷墨打印真空干燥装置；提供oled基板，所述oled基板上具有待干燥区域，将所述oled基板置于所述承载座上，使所述oled基板待干燥的一面朝向气流控制件，且使所述待干燥区域与气流控制罩对应；使所述oled基板与所述气流控制罩的开口之间的距离为预设距离；以及启动所述抽真空机构，进行干燥。10.根据权利要求9所述的喷墨打印干燥方法，其特征在于，所述oled基板与所述气流控制罩的开口之间的距离为2～8毫米。

技术总结
本申请提供一种喷墨打印真空干燥装置及喷墨打印干燥方法，用于对OLED基板进行干燥，其中，所述喷墨打印真空干燥装置包括：干燥室；承载座，设置在所述干燥室内，用于固定待干燥的OLED基板；抽真空机构，包括设置于所述干燥室外的抽气主体以及与所述抽气主体连接并沿伸位于所述干燥室内的多个抽气管道；以及气流控制件，设置于所述干燥室内且包括多个气流控制罩，每个所述气流控制罩包括开口，所述气流控制罩正对所述OLED基板设置且所述开口朝向所述OLED基板，且每个所述气流控制罩连接一个所述抽气管道以通过所述抽气管道对气流控制罩进行抽气。罩进行抽气。罩进行抽气。


技术研发人员：李广大
受保护的技术使用者：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日：2022.02.23
技术公布日：2022/6/4