一种具有自动记录功能的晶圆容器的制作方法

1.本实用新型属于电子辅助运输设备技术领域，具体地涉及一种具有自动记录功能的晶圆容器。


背景技术：

2.晶圆是指形状为圆形且用于制作硅半导体集成电路的硅晶片，由于其圆形结构的限定，使得晶圆在运输时只能通过特殊的容器才能进行固定并避免损坏。
3.用于晶圆运输的容器为晶圆容器，主要包括用于支撑外壳以及用于固定晶圆的内壳。
4.现有的晶圆在使用的过程中需要经过很多的工序，每个工序加工的过程都要通过人工对其进行一次扫描操作，而现有的扫码操作每次都需要打开盒子，然后，通过扫码枪进行扫码以收集信息。这种通过人工扫描收集信息的方式不仅效率低，人工成本高，且还容易出现遗漏的现象。


技术实现要素：

5.本实用新型需要解决的技术问题是如何提供一种具有自动记录功能的晶圆容器，以解决现有的晶圆在使用的过程中通过人工扫码收集信息的方式效率低，人工成本高，且容易出现遗漏现象的问题。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种具有自动记录功能的晶圆容器，包括：
7.外壳；
8.内壳，所述内壳设置在所述外壳内且具有收容晶圆的收容空间；
9.射频识别系统，所述射频识别系统设置在所述内壳的外壁，用于记录工站信息并传输至外部系统。
10.更进一步地，所述射频识别系统设置在所述内壳底部的边缘。
11.更进一步地，所述内壳的底部对称设置有两个安装板，所述射频识别系统设置在其中一个所述安装板的外壁。
12.更进一步地，还包括可拆卸设置在所述内壳上的保护盒，所述射频识别系统设置在所述保护盒内。
13.更进一步地，所述内壳对应所述保护盒的位置设置有卡槽，所述保护盒对应所述卡槽的位置设置卡接件，所述卡接件卡设于所述卡槽内。
14.更进一步地，所述保护盒的侧面设置有装配槽，所述射频识别系统设置于所述装配槽内。
15.更进一步地，所述保护盒的材料与所述内壳的材料相同。
16.更进一步地，所述保护盒为长方体结构且四个角部为圆角结构。
17.更进一步地，所述内壳包括u型结构的第一支撑板、设置于所述第一支撑板一侧的
第二支撑板以及设置于所述第一支撑板另一侧的第三支撑板，所述第一支撑板、所述第二支撑板以及所述第三支撑板围成所述收容空间，所述射频识别系统设置在所述第一支撑板的外壁。
18.更进一步地，所述第一支撑板的内壁间隔设置有多个梳齿结构。
19.与现有技术相比，本实用新型中具有自动记录功能的晶圆容器通过在内壳的外壁设置用于记录工站信息并传输至外部系统的射频识别系统，从而实现了自动收集信息的功能，不仅提高了收集信息的效率，还避免了出现遗漏的现象，同时，由于无需人工扫描操纵，还降低了人工成本。
附图说明
20.为了使本实用新型的内容更加清晰，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图，其中：
21.图1是本实用新型实施例提供的一种具有自动记录功能的晶圆容器中保护盒与射频识别系统的结构示意图；
22.图2是本实用新型实施例提供的一种具有自动记录功能的晶圆容器的结构示意图；
23.图3是本实用新型实施例提供的一种具有自动记录功能的晶圆容器中内壳的立体结构示意图；
24.图4是本实用新型实施例提供的一种具有自动记录功能的晶圆容器中内壳的侧视图。
25.其中，1、外壳；11、第一壳体；12、第二壳体；2、内壳；21、第一支撑板；22、第二支撑板；23、第三支撑板；231、第一承接板；232、第二承接板；24、梳齿结构；25、安装板；3、射频识别系统；4、保护盒；41、卡接件；411、缺口；42、装配槽。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.本实用新型实施例提供了一种具有自动记录功能的晶圆容器，结合附图1至附图4所示，包括外壳1、内壳2以及射频识别系统35。
28.具体地，外壳1包括第一壳体11以及盖设于第一壳体11上的第二壳体12。
29.其中，第一壳体11与第二壳体12均为半封闭状态，当第二壳体12盖设于第一壳体11上时形成封闭状态。当然，根据实际需求，还可以在第一壳体11和第二壳体12之间增加密封圈、密封胶等密封结构，以提升两者之间的密封效果。
30.第一壳体11与第二壳体12的结构根据实际需求设定，两者盖合后可以是矩形体结构、圆柱体结构等。
31.具体地，内壳2设置在外壳1内且具有收容晶圆的收容空间。
32.具体地，内壳2包括u型结构的第一支撑板21、设置于第一支撑板21一侧的第二支撑板22以及设置于第一支撑板21另一侧的第三支撑板23。
33.其中，第一支撑板21、第二支撑板22以及第三支撑板23围成收容空间。
34.其中，第二支撑板22设置在第一支撑板21u型结构的一侧的未封闭状态的位置，并将该未封闭状态的位置完全封闭或部分封闭；第三支撑板23则设置在第一支撑板21u型结构的另一侧的未封闭状态的位置，可以将该未封闭状态的位置完全封闭或部分封闭。
35.在本实施例中，第二支撑板22将第一支撑板21u型结构的一侧的未封闭状态的位置完全封闭。第三支撑板23将第一支撑板21u型结构的另一侧的未封闭状态的位置部分封闭，即第三支撑板23设置于第一支撑板21一侧的部分位置，这样设置可以使晶圆的平面露出，以便于取出晶圆。
36.在本实施例中，第三支撑板23包括分别连接在第一支撑板21一侧的两对应边缘的位置上的两块第一承接板231以及连接两个第一承接板231的两个第二承接板232。
37.具体为，两个第一承接板231对称设置且通过两个第二承接板232间隔连接。
38.具体地，第一支撑板21的内壁间隔设置有多个梳齿结构24。
39.其中，梳齿结构24的数量根据实际需求设定，且两侧的梳齿结构24分别靠近第一支撑板21两侧的边缘。
40.在本实施例中，梳齿结构24与第一支撑板21的结构匹配，即梳齿结构24也为u型结构。当然，根据实际需求，梳齿结构24也可以不与第一支撑板21的结构匹配。
41.另外，梳齿结构24横截面积为梯形结构，具体为等腰梯形结构。当然，根据实际需求，还可以设置为直角梯形结构、方形结构或在其它适应性的结构等。
42.具体地，根据实际需求，也可以在第一支撑板21的外壁设置梳齿结构，这样可以使第一支撑板21能更稳固的设置在外壳1内。
43.具体地，射频识别系统35设置在内壳2的外壁，用于记录工站信息并传输至外部系统。
44.在本实施例中，射频识别系统35设置在内壳2的第一支撑板21的外壁。
45.进一步地，射频识别系统35设置在内壳2底部的边缘，即设置在第一支撑板21底部的边缘位置。第一支撑板21底部的边缘位置是指其弧形槽的边缘位置。
46.更进一步地，内壳2的底部对称设置有两个安装板25，射频识别系统35设置在其中一个安装板25的外侧。这样可以避免之间将射频识别系统35设置在底部位置而被压坏的现象。
47.在本实施例中，两个安装板25对称设置在第一支撑板21的底部位置。
48.具体地，具有自动记录功能的晶圆容器还包括可拆卸设置在内壳2上的保护盒4，射频识别系统35设置在保护盒4内，即射频识别系统35设置在什么位置，保护盒4便设置在该位置上。通过保护盒4的设置，并将射频识别系统35设置在保护内，这样可以通过保护盒4更好的保护射频识别系统35，避免射频识别系统35损坏。
49.在本实施例中，保护盒4为长方体结构且四个角部为圆角结构。当然，根据实际需求，保护盒4还可以设置成梯形体结构或其它形体结构等。
50.在本实施例中，保护盒4的材料与内壳2的材料相同，这样可以方便保护盒4的生
产，且在运行过程也不容易产生松动和掉落的现象。当然，根据实际需求，保护盒4的材料也可以与内壳2的材料不同。
51.具体地，内壳2对应保护盒4的位置设置有卡槽，保护盒4对应卡槽的位置设置卡接件41，卡接件41卡设于卡槽内。这样可以方便保护盒4的安装和拆卸。
52.其中，卡接件41为管状结构且远离保护盒4的一端为半锥形结构，同时，远离保护盒4的一端的周壁还间隔设置有多个缺口411，以使该端形成弹性结构。这样可以方便卡接件41插入卡槽内实现卡接，并且在拆卸时，可以直接按压形成弹性结构的一端，便可以抽出卡接件41实现拆卸。
53.在本实施例中，远离保护盒4的一端的周壁间隔且均匀的设置有三个缺口411。
54.当然，根据实际需求，内壳2与保护盒4对应的位置还可以通过其它的方式实现连接，如粘贴的方式、通过螺丝固定的方式、或者通过其它的卡接方式等。
55.具体地，保护盒4的侧面设置有装配槽42，其装配槽42设置于保护盒4安装在内壳2后的下面。装配槽42设置为开口槽结构，射频识别系统35设置于装配槽42内，方便射频识别系统35的更换及装配。并且通过装配槽42的设置，可以保证清洗过程无积水残留，以更好的确保射频识别系统35不会受到影响。装配槽42在卡接件装配至内壳2后，装配槽42的开口被内壳2所封闭，射频识别系统35的保护性好。
56.与现有技术相比，本实用新型中具有自动记录功能的晶圆容器通过在内壳2的外壁设置用于记录工站信息并传输至外部系统的射频识别系统35。可选地，射频识别系统35配置为晶体管，从而实现了自动收集信息记录每个工站信息的功能及追溯作用，不仅提高了收集信息的效率，还避免了出现遗漏的现象，同时，由于无需人工扫描操纵，还降低了人工成本。
57.以上实施例仅为清楚说明本实用新型所作的举例，并非对实施方式的限定；本实用新型的范围包括并不限于上述实施例，凡是按照本实用新型的形状、结构所作的等效变化均包含在本实用新型的保护范围内。