一种薄膜整平装置的制作方法

技术特征：
1.一种薄膜整平装置，用于整平设于平面上的薄膜，其特征在于，所述薄膜整平装置包括：固定支架，用于固定所述薄膜整平装置；移动支架，至少部分与所述固定支架相互连接并能够沿所述固定支架在第一位置和第二位置之间进行移动；所述移动支架包括第一基准点；整平机构，用于平整所述薄膜并至少部分与所述移动支架相互连接，所述整平机构包括第一整平单元和第二整平单元，所述第一整平单元和所述第二整平单元滑动连接在所述移动支架上，所述第一整平单元和所述第二整平单元分别设置在所述第一基准点的两侧。2.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述移动支架沿所述固定支架由第一位置移动到第二位置后，所述整平机构与所述薄膜相互接触，所述第一整平单元和所述第二整平单元同时由所述移动支架的所述第一基准点沿所述移动支架分别向所述移动支架的两侧移动并消除所述薄膜与所述平面之间的间隙；所述第一整平单元与所述第二整平单元移动时对所述薄膜施加的压力基本相同。3.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：整平前，所述第一整平单元与所述第二整平单元关于所述第一基准点基本镜像对称设置；所述第一整平单元与所述第二整平单元沿所述移动支架的移动方向相反。4.根据权利要求3所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述第一基准点为所述移动支架的中点，所述第一整平单元与所述第二整平单元的移动速度基本相同。5.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述薄膜整平装置至少包括两条所述固定支架，所述固定支架之间基本平行设置。6.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述薄膜整平装置包括第一驱动单元，用于驱动所述移动支架在所述第一位置与所述第二位置之间进行移动。7.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述固定支架包括导向柱，所述移动支架包括导向块，所述导向柱与所述导向块相互配合限制所述移动支架的移动。8.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述整平机构还包括固定单元，与所述移动支架相连接，用于在所述移动支架沿所述固定支架由第一位置移动到第二位置后将所述薄膜固定在所述平面上。9.根据权利要求8所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述固定单元的端部设有接触部，当所述移动支架位于所述第二位置时，所述接触部与所述薄膜相互接触。10.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述移动支架还包括导向单元，连接所述第一整平单元和所述第二整平单元，用于限制所述第一整平单元和所述第二整平单元的移动。11.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：所述移动支架包括第二驱动单元，用于驱动所述第一整平单元和所述第二整平单元沿所述移动支架进行移动。12.根据权利要求1所述的一种薄膜整平装置，其特征在于：
所述第一整平单元和所述第二整平单元的端部设有刮板，用于整平所述薄膜与所述平面之间的间隙；当所述移动支架位于所述第二位置时，所述刮板与所述薄膜相互接触。

技术总结
本实用新型公开了一种薄膜整平装置，用于整平设于平面上的薄膜，薄膜整平装置包括：固定支架，用于固定薄膜整平装置；移动支架，至少部分与固定支架相互连接并能够沿固定支架在第一位置和第二位置之间进行移动，移动支架包括第一基准点；整平机构，用于平整薄膜并至少部分与移动支架相互连接，整平机构包括第一整平单元和第二整平单元，第一整平单元和第二整平单元滑动连接在移动支架上，第一整平单元和第二整平单元分别设置在第一基准点的两侧。本实用新型能够解决薄膜与平面之间存在瑕疵的问题，保证膜材料与硬质平面能够完美贴合并提高处理效率。高处理效率。高处理效率。


技术研发人员：仰宗苗 崔炳洋 余晖
受保护的技术使用者：杭州福斯特应用材料股份有限公司
技术研发日：2022.02.16
技术公布日：2022/6/24