一种机械手工装的制作方法

1.本实用新型涉及高真空实验设备技术领域，尤其涉及一种机械手工装。


背景技术：

2.在高真空环境下进行科学研究和工业生产时，需要在不破坏真空室内真空度的前提下，利用机械机构对真空室内的物品进行传递和操作。目前现有的机械手工装，其包括机械手和驱动组件等结构，其中，一种机械手仅能用于转移一种物品，当需要转移多种不同的样品时，则需要多个驱动组件和多个机械手，每个驱动组件带动对应的机械手抓取对应的样品，导致机械手工装的结构复杂，零部件数量多，占用空间大，且实验成本高。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种机械手工装，以解决现有技术中需要多个机械手工装转移多种不同的样品，导致机械手工装的结构复杂，占用空间大，实验成本高的问题。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种机械手工装，其包括：
6.支撑架，所述支撑架用于支撑第一样品或第二样品；
7.机械手本体，所述机械手本体设有第一抓取结构和第二抓取结构，所述第一抓取结构和所述第二抓取结构沿所述机械手本体的长度方向间隔分布，所述第一抓取结构用于抓取所述第一样品，所述第二抓取结构用于抓取所述第二样品；
8.驱动组件，所述驱动组件传动连接于所述机械手本体。
9.作为优选，所述第一抓取结构包括第一支撑板，以及设置于所述第一支撑板的第一插接部，所述支撑架包括支撑台，所述支撑台设有通孔和与所述通孔连通的开口，所述第一样品设有第一插孔，所述第一支撑板能插接于所述通孔并穿过所述开口，所述第一插接部能插接于所述第一插孔。
10.作为优选，所述第一插接部和所述第一插孔的数量均为多个，多个所述第一插接部和多个所述第一插孔一一对应设置并插接。
11.作为优选，所述第二抓取结构包括第二支撑板，所述第二支撑板相对于所述第一支撑板远离所述机械手本体，所述第二支撑板设有第二插接部，所述第二样品设有环形槽，所述第二插接部能插设于所述环形槽。
12.作为优选，所述第二插接部设有弧形槽，当所述第二插接部插设于所述环形槽，所述弧形槽的内壁与所述环形槽的内壁贴合。
13.作为优选，所述第一支撑板的宽度小于所述第二支撑板的宽度，且第二支撑板能够穿过所述通孔。
14.作为优选，所述机械手工装还包括限位结构，所述限位结构包括设置于所述支撑台的第三插接部，设置于所述第一样品的第二插孔，以及设置于所述第二样品的第三插孔，所述第三插接部用于与所述第二插孔或所述第三插孔插接配合。
15.作为优选，所述第三插接部、所述第二插孔和所述第三插孔的数量均为多个；
16.多个所述第三插接部和多个所述第二插孔一一对应设置并插接，或，多个所述第三插接部和多个所述第三插孔一一对应设置并插接。
17.作为优选，所述第一抓取结构和所述第二抓取结构一体成型于所述机械手本体。
18.作为优选，所述机械手本体由金属材料制成。
19.本实用新型的有益效果：
20.本实用新型提供一种机械手工装，该机械手工装包括支撑架、机械手本体和驱动组件，支撑架用于支撑第一样品或第二样品；机械手本体设有第一抓取结构和第二抓取结构，第一抓取结构和第二抓取结构沿机械手本体的长度方向间隔分布，第一抓取结构用于抓取第一样品，第二抓取结构用于抓取第二样品；驱动组件传动连接于机械手本体。该机械手工装，通过在机械手本体上设置第一抓取结构和第二抓取结构，当抓取第一样品时，驱动组件带动机械手本体运动，从而带动机械手本体的第一抓取结构抓取第一样品，当抓取第二样品时，驱动组件带动机械手本体运动，从而带动机械手本体的第二抓取结构抓取第二样品，可以理解的是，第一样品和第二样品不同，以实现通过同一机械手本体抓取不同的样品，相对于现有技术中多个样品对应多个驱动组件和多个机械手本体而言，有效简化了机械手工装的结构，从而有效减小了机械手工装的空间占用率，有效降低了实验成本。
附图说明
21.图1是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的结构示意图一；
22.图2是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的结构示意图二；
23.图3是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的机械手本体的结构示意图；
24.图4是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的支撑架的结构示意图；
25.图5是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的第一样品的结构示意图；
26.图6是本实用新型的具体实施例提供的机械手工装的第二样品的结构示意图。
27.图中：
28.100、第一样品；110、第一插孔；120、第二插孔；
29.200、第二样品；210、环形槽；220、第三插孔；
30.1、支撑架；11、支撑台；111、通孔；112、开口；113、第三插接部；
31.2、机械手本体；21、第一抓取结构；211、第一支撑板；212、第一插接部；22、第二支撑板；221、第二插接部；2211、弧形槽。
具体实施方式
32.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
33.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连
接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
35.目前现有的机械手工装，其包括机械手等结构，其中，一种机械手仅能用于转移一种物品，当需要转移多种不同的样品时，则需要多个驱动组件和多个机械手，每个驱动组件带动对应的机械手抓取对应的样品，导致机械手工装的结构复杂，零部件数量多，占用空间大，且实验成本高。
36.本实用新型提供一种机械手工装，如图1和图2所示，该机械手工装包括支撑架1、机械手本体2和驱动组件，支撑架1用于支撑第一样品100或第二样品200；机械手本体2设有第一抓取结构21和第二抓取结构，第一抓取结构21和第二抓取结构沿机械手本体2的长度方向间隔分布，第一抓取结构21用于抓取第一样品100，第二抓取结构用于抓取第二样品200；驱动组件传动连接于机械手本体2。该机械手工装，通过在机械手本体2上设置第一抓取结构21和第二抓取结构，当抓取第一样品100时，驱动组件带动机械手本体2运动，从而带动机械手本体2的第一抓取结构21抓取第一样品100，当抓取第二样品200时，驱动组件带动机械手本体2运动，从而带动机械手本体2的第二抓取结构抓取第二样品200，可以理解的是，第一样品100和第二样品200不同，以实现通过同一机械手本体2抓取不同的样品，从而有效简化了机械手工装的结构，从而有效减小了机械手工装的空间占用率，有效降低了实验成本。
37.其中，在本实施例中，第一样品100是基片，第二样品200是靶材。
38.其中，如图1、图3和图5所示，第一抓取结构21包括第一支撑板211，以及设置于第一支撑板211的第一插接部212，支撑架1包括支撑台11，支撑台11设有通孔111和与通孔111连通的开口112，第一样品100设有第一插孔110，第一支撑板211能插接于通孔111并穿过开口112，第一插接部212能插接于第一插孔110。具体地，驱动组件能带动机械手本体2运动，从而能带动第一支撑板211运动，当抓取第一样品100时，驱动组件先带动第一支撑板211插接于通孔111，再带动第一支撑板211沿支撑架1的高度方向运动穿过开口112，再带动第一支撑板211沿支撑架1的高度方向继续运动，使得第一插接部212完全插接于第一插孔110，此时，第一样品100支撑于第一支撑部，驱动组件再带动第一支撑板211和第一样品100沿支撑架1的高度方向继续运动，从而带动第一样品100脱离支撑台11。以实现抓取第一样品100。
39.具体地，第一插接部212和第一插孔110的数量均为多个，多个第一插接部212和多个第一插孔110一一对应设置并插接。通过设置多个第一插接部212和多个第一插孔110，当第一插接部212完全插接于第一插孔110后，能够防止第一样品100于第一支撑板211上的位置发生改变甚至从第一支撑板211脱落，从而便于通过机械手本体2转移第一样品100。其
中，如图3和图5所示，在实施例中，第一插接部212和第一插孔110的数量均为两个，两个第一插接部212和两个第一插孔110一一对应设置并插接。
40.其中，如图2、图3和图6所示，第二抓取结构包括第二支撑板22，第二支撑板22相对于第一支撑板211远离机械手本体2，第二支撑板22设有第二插接部221，第二样品200设有环形槽210，第二插接部221能插设于环形槽210。具体地，驱动组件能带动机械手本体2运动，从而能带动第二支撑板22运动，当抓取第二样品200时，驱动组件带动第二支撑板22的第二插接部221插接于环形槽210，当第二插接部221完全插接于环形槽210后，驱动组件再带动第二支撑板22和第二样品200沿支撑架1的高度方向继续运动，从而带动第二样品200脱离支撑台11。以实现抓取第二样品200。具体地，第二插接部221位于第二支撑板22上远离第一支撑板211的一端。
41.具体地，如图2-4所示，第二插接部221设有弧形槽2211，当第二插接部221插设于环形槽210，弧形槽2211的内壁与环形槽210的内壁贴合。可以理解的是，当第二插接部221完全插接于环形槽210后，弧形槽2211的内壁与环形槽210的内壁贴合。具体地，环形槽210包括底壁和两个相对且间隔的侧壁，当第二插接部221完全插接于环形槽210后，弧形槽2211的内壁与环形槽210的底壁贴合，当驱动组件带动第二支撑板22和第二样品200沿支撑架1的高度方向运动时，环形槽210位于上方的侧壁和第二支撑板22贴合，环形槽210位于上方的侧壁能够防止第二样品200脱落。
42.其中，如图1、图3和图4所示，第一支撑板211的宽度小于第二支撑板22的宽度，第二支撑板22能够穿过通孔111。具体地，当抓取第一样品100时，驱动组件先带动机械手本体2上的第二支撑板22和第一支撑板211插接于通孔111，其中，通过设置第一支撑板211的宽度小于第二支撑板22的宽度，仅当第二支撑板22完全穿过通孔111后，驱动组件才能带动第一支撑板211沿支撑架1的高度方向运动穿过开口112，从而能够防止机械手本体2的第一抓取结构21或第二抓取结构错误抓取样品。
43.其中，如图1、图2和图4-6所示，机械手工装还包括限位结构，限位结构包括设置于支撑台11的第三插接部113，设置于第一样品100的第二插孔120，以及设置于第二样品200的第三插孔220，第三插接部113用于与第二插孔120或第三插孔220插接配合。具体地，当将第一样品100设置于支撑台11时，第三插接部113插接于第一样品100，从而限定第一样品100设置于支撑台11上的位置，便于机械手本体2的第一抓取结构21抓取第一样品100；当将第二样品200设置于支撑台11时，第三插接部113插接于第二样品200，从而限定第二样品200设置于支撑台11上的位置，便于机械手本体2的第二抓取结构抓取第二样品200。
44.具体地，如图4-6所示，第三插接部113、第二插孔120和第三插孔220的数量均为多个；多个第三插接部113和多个第二插孔120一一对应设置并插接，或，多个第三插接部113和多个第三插孔220一一对应设置并插接。具体地，通过设置第三插接部113、第二插孔120和第三插孔220的数量均为多个，当个第三插接部113和多个第二插孔120一一对应设置并插接时，能够防止第一样品100设置于支撑台11上的位置发生改变甚至从支撑台11脱落；当个第三插接部113和多个第三插孔220一一对应设置并插接时，能够防止第二样品200设置于支撑台11上的位置发生改变甚至从支撑台11脱落。在本实施例中，第三插接部113和第二插孔120的数量均为两个，两个第三插接部113和两个第二插孔120一一对应设置；第三插孔220的数量为四个，四个第三插孔220沿第二样品200的周向间隔设置，两个第三插接部113
能和其中两个第三插孔220插接。
45.其中，如图2和图4所示，第一插接部212和第三插接部113均为插柱。优选地，插柱的端部设有导向面。导向面用于引导插柱插接，从而提高了插柱的插接效率。
46.其中，第一抓取结构21和第二抓取结构一体成型于机械手本体2。从而进一步减少了零部件的数量，同时也能保证机械手本体2的结构强度。
47.具体地，机械手本体2由金属材料制成。优选地，机械手本体2由铝材制成。铝材质轻，且能保证机械手本体2的结构强度。可以理解的是，也可依据实际工况调整机械手本体2的制作材料。
48.其中，驱动组件的具体结构属于现有技术，在此不再赘述。
49.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。