一种带篮90
°
翻转机构
技术领域
1.本实用新型涉及晶圆片安装技术领域，具体为一种带篮90
°
翻转机构。
背景技术：
2.现有花篮翻篮机构自动化不高，因此安装不方便，容易损坏，而且运行不稳定。另，结构烦琐，加工与装配困难，成本较高。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种带篮90
°
翻转机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带篮90
°
翻转机构，包括底座，所述底座上设有翻转腔，所述翻转腔一端设有与所述底座连接的轴承，其另一端设有穿过所述底座与其连接的驱动机构，所述翻转腔内设有花篮。
5.优选的，所述翻转腔一侧两端对称设有花篮固定气缸。
6.优选的，所述花篮固定气缸上端设有晶圆片限位气缸。
7.优选的，两个所述花篮固定气缸中部设有设置于所述翻转腔上的物料感应器。
8.优选的，所述驱动机构包括依次设置于所述底座一侧的谐波减速机与伺服电机。
9.优选的，所述谐波减速机靠近所述翻转腔的一端设有翻转传感器。
10.有益效果
11.本实用新型所提供的带篮90
°
翻转机构，实现花篮垂直插片和水平搬运的目的, 通过自动化结构减少了人工的成本，功能覆盖面广，结构精细，安装简单方便。
附图说明
12.图1为本实用新型的俯视结构示意图；
13.图2为本实用新型的侧视结构示意图；
14.图3为本实用新型的侧视结构另一角度示意图。
15.附图标记
16.1-伺服电机，2-谐波减速机，3-翻转传感器，4-晶圆片限位气缸，5-花篮固定气缸，6-花篮，7-轴承，8-底座，9-翻转腔，10-物料感应器。
具体实施方式
17.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
实施例
18.如图1-2所示，一种带篮90
°
翻转机构，包括底座8，其特征在于：底座8上设有翻转
腔9，翻转腔9一端设有与底座8连接的轴承7，其另一端设有穿过底座8与其连接的驱动机构，翻转腔9内设有花篮6。
19.优选的，翻转腔9一侧两端对称设有花篮固定气缸5。
20.优选的，花篮固定气缸5上端设有晶圆片限位气缸4。
21.优选的，两个花篮固定气缸5中部设有设置于翻转腔9上的物料感应器10。
22.优选的，驱动机构包括依次设置于底座8一侧的谐波减速机2与伺服电机1。
23.优选的，谐波减速机2靠近翻转腔9的一端设有翻转传感器3。
24.首先让翻转腔处于水平位置，放入花篮，固定花篮的气缸通气把花篮夹紧，伺服电机启动带动谐波减速机使翻转腔旋转90
°
，并使传感器确认翻转到位后，开始往花篮内插入晶圆片，待晶圆片插入完成，晶圆片有料感应器感应到，晶圆片限位的气缸通气后合拢起到限位作用，之后伺服电机启动带动谐波减速机使翻转腔反向旋转90
°
并使传感器确认翻转到位后，固定花篮的气缸通气把花篮松开，晶圆片限位的气缸通气后松开，等花篮搬走，之后重复动作。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型性的保护范围之内的实用新型内容。
技术特征：
1.一种带篮90
°
翻转机构，包括底座(8)，其特征在于：所述底座(8)上设有翻转腔(9)，所述翻转腔(9)一端设有与所述底座(8)连接的轴承(7)，其另一端设有穿过所述底座(8)与其连接的驱动机构，所述翻转腔(9)内设有花篮(6)。2.根据权利要求1所述的带篮90
°
翻转机构，其特征在于：所述翻转腔(9)一侧两端对称设有花篮固定气缸(5)。3.根据权利要求2所述的带篮90
°
翻转机构，其特征在于：所述花篮固定气缸(5)上端设有晶圆片限位气缸(4)。4.根据权利要求2所述的带篮90
°
翻转机构，其特征在于：两个所述花篮固定气缸(5)中部设有设置于所述翻转腔(9)上的物料感应器(10)。5.根据权利要求1所述的带篮90
°
翻转机构，其特征在于：所述驱动机构包括依次设置于所述底座(8)一侧的谐波减速机(2)与伺服电机(1)。6.根据权利要求5所述的带篮90
°
翻转机构，其特征在于：所述谐波减速机(2)靠近所述翻转腔(9)的一端设有翻转传感器(3)。
技术总结
本实用新型公开了一种带篮90
技术研发人员：刘金升 夏前刚
受保护的技术使用者：苏州施密科微电子设备有限公司
技术研发日：2021.12.22
技术公布日：2022/6/24
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
