显示装置的制作方法

显示装置
1.本技术基于2020/12/25提出的日本专利申请第2020-217104号主张优先权，通过参照而包括其全部内容。
技术领域
2.本发明涉及显示装置。


背景技术：

3.近年来，应用有机发光二极管(oled)作为显示元件的显示装置被实用化。显示元件在像素电极与共通电极之间具备有机层。有机层除了发光层以外还包含空穴输送层、电子输送层等功能层。这样的有机层例如通过真空蒸镀法形成。
4.例如，在掩模蒸镀的情况下，应用具有与各像素对应的开口的精细掩模。但是，有可能由于精细掩模的加工精度、开口形状的变形等从而通过蒸镀形成的薄膜的形成精度下降。因此，希望不采用精细掩模而形成所希望的形状的有机层。
5.在一例中，已知利用像素分割构造体将有机层及阴极(第2电极)分割的技术。在这样的技术中，为了对被分割后的阴极供给规定的电位，需要将阴极与供电用的布线可靠地电连接。


技术实现要素：

6.本发明的目的在于，提供能够对显示元件的上部电极供给规定的电位的显示装置。
7.一实施方式的显示装置，具备：
8.绝缘基板；第1绝缘层，配置在上述绝缘基板之上；下部电极，配置在上述第1绝缘层之上；第2绝缘层，配置在上述第1绝缘层之上，具有与上述下部电极重叠的开口部，形成为格子状；供电线，配置在上述第2绝缘层之上，具有在第1方向上延伸的第1布线部、在与上述第1方向交叉的第2方向上延伸的第2布线部、以及与上述第1布线部及上述第2布线部分别相连且具有与上述第1布线部及上述第2布线部各自的宽度不同的宽度的第3布线部；有机层，包含发光层，配置于上述开口部，将上述下部电极覆盖；以及上部电极，与上述第1布线部、上述第2布线部及上述第3布线部分别相接，将上述有机层覆盖。
9.根据一实施方式，能够提供能够对显示元件的上部电极供给规定的电位的显示装置。
附图说明
10.图1是表示实施方式的显示装置dsp的一结构例的图。
11.图2是表示图1所示的像素px的一例的平面图。
12.图3是沿着图2所示的a－b线的剖面图。
13.图4是表示构成图3所示的间隔壁30的第2层32的一例的平面图。
14.图5是表示与图2所示的供电线fl重叠的间隔壁30的一例的平面图。
15.图6是表示图1所示的像素px的其他例子的平面图。
16.图7是表示构成间隔壁30的第2层32的其他例子的平面图。
17.图8是表示构成间隔壁30的第2层32的其他例子的平面图。
18.图9是表示与图6所示的供电线fl重叠的间隔壁30的一例的平面图。
具体实施方式
19.以下，参照附图说明本发明的实施方式。
20.另外，公开的只不过是一例，本领域技术人员关于发明主旨的范围内的适当变更而容易地想到的当然包含在本发明的范围内。此外，附图为了使说明更明确而有与实际形态相比示意地表示各部的宽度、厚度、形状等的情况，但只不过是一例，并不限定本发明的解释。此外，本说明书和各图中，有时对于发挥与针对在先附图描述过的构成要素相同或类似的功能的构成要素附加同一参照标记而适当省略重复的详细说明。
21.另外，附图中，根据需要，为了容易理解而记载相互正交的x轴、y轴及z轴。将沿x轴的方向称作x方向或第1方向，将沿y轴的方向称作y方向或第2方向，将沿z轴的方向称作z方向或第3方向。将由x轴及y轴规定的面称作x－y平面，将由x轴及z轴规定的面称作x－z平面。将观察x－y平面的视图称作平面视图。
22.本实施方式的显示装置dsp是作为显示元件而具有有机发光二极管(oled)的有机电致发光显示装置，搭载于电视机、电脑、便携终端、便携电话等。另外，以下说明的显示元件能够作为照明装置的发光元件来应用，显示装置dsp还能够转用于照明装置等其他电子设备。
23.图1是表示本实施方式的显示装置dsp的一结构例的图。显示装置dsp在绝缘性的基材10之上具备对图像进行显示的显示部da。基材10是绝缘基板，可以是玻璃，也可以是具有挠性的树脂膜。
24.显示部da具备在第1方向x及第2方向y上以矩阵状排列的多个像素px。像素px具备多个副像素sp1、sp2、sp3。在一例中，像素px具备红色的副像素sp1、绿色的副像素sp2以及蓝色的副像素sp3。另外，像素px除了上述3色的副像素以外，也可以具备加上了白色等其他颜色的副像素的4个以上副像素。
25.对像素px中包含的1个副像素sp的一结构例简单进行说明。
26.即，副像素sp具备像素电路1和被像素电路1驱动控制的显示元件20。像素电路1具备像素开关2、驱动晶体管3和电容器4。像素开关2及驱动晶体管3是例如由薄膜晶体管构成的开关元件。
27.关于像素开关2，栅极电极与扫描线gl连接，源极电极与信号线sl连接，漏极电极与构成电容器4的一个电极以及驱动晶体管3的栅极电极连接。关于驱动晶体管3，源极电极与构成电容器4的另一个电极以及电源线pl连接，漏极电极与显示元件20的阳极连接。显示元件20的阴极与供电线fl连接。另外，像素电路1的结构不限于图示的例子。
28.显示元件20是作为发光元件的有机发光二极管(oled)。例如，副像素sp1具备出射与红波长对应的光的显示元件，副像素sp2具备出射与绿波长对应的光的显示元件，副像素sp3具备出射与蓝波长对应的光的显示元件。像素px具备显示色不同的多个副像素sp1、
sp2、sp3从而能够实现多色显示。
29.但是，也可以构成为，使副像素sp1、sp2、sp3各自的显示元件20出射同一颜色的光。由此，能够实现单色显示。
30.此外，在副像素sp1、sp2、sp3各自的显示元件20出射白色的光的情况下，可以配置与显示元件20对置的滤色器。例如，副像素sp1具备与显示元件20对置的红滤色器，副像素sp2具备与显示元件20对置的绿滤色器，副像素sp3具备与显示元件20对置的蓝滤色器。由此，能够实现多色显示。
31.或者，在副像素sp1、sp2、sp3各自的显示元件20出射紫外光的情况下，通过配置与显示元件20对置的光变换层，能够实现多色显示。
32.关于显示元件20的结构在后面叙述。
33.图2是表示图1所示的像素px的一例的平面图。
34.构成1个像素px的副像素sp1、sp2、sp3分别形成为在第2方向y上延伸的大致长方形，并在第1方向x上排列。各副像素的外形对应于显示元件20的发光区域ea的外形，但简化表示而不一定反映出实际形状。这里，设想发光区域ea形成为具有在第1方向x上延伸的短边和在第2方向y上延伸的长边的长方形的情况。
35.后面详述的绝缘层12在平面视图中形成为在第1方向x及第2方向y上分别延伸的格子状，将副像素sp1、sp2、sp3的各自、或者各副像素的显示元件20包围。这样的绝缘层12有时称作肋、间隔壁、隔堤等。绝缘层12具有包括开口部op1及op2的多个开口部op。发光区域ea形成于绝缘层12的开口部op。发光区域ea的详细情况后述。
36.供电线fl配置在绝缘层12的上表面u1。供电线fl具有第1布线部fl1、第2布线部fl2和第3布线部fl3。这些第1布线部fl1、第2布线部fl2以及第3布线部fl3一体地或连续地形成。
37.第1布线部fl1在第1方向x上延伸，沿第2方向y具有一定的宽度w1。这样的第1布线部fl1配置在形成为格子状的上表面u1中的沿第1方向x延伸的部分。对于1个副像素，一对第1布线部fl1夹着发光区域ea而对置配置。
38.第2布线部fl2在第2方向y上延伸，沿第1方向x具有一定的宽度w2。这样的第2布线部fl2配置在格子状的上表面u1中的沿第2方向y延伸的部分。对于1个副像素，一对第2布线部fl2夹着发光区域ea而对置配置。
39.第3布线部fl3与第1布线部fl1及第2布线部fl2分别相连。这样的第3布线部fl3配置在格子状的上表面u1中的交叉部分。对于1个副像素，4个第3布线部fl3在发光区域ea的4个角部分别对置地配置。
40.换言之，第1布线部fl1配置在隔开间隔而在第1方向x上排列的2个第3布线部fl3之间，此外，第2布线部fl2配置在隔开间隔而在第2方向y上排列的2个第3布线部fl3之间。
41.第3布线部fl3具有与第1布线部fl1的宽度w1以及第2布线部fl2的宽度w2不同的宽度。图2所示的例子中，第3布线部fl3形成为具有沿第1方向x的宽度wx和沿第2方向y的宽度wy的大致四边形。宽度wy大于宽度w1(wy＞w1)。宽度wx大于宽度w2(wx＞w2)。
42.显示元件20的上部电极e2如单点划线所示那样，不仅与发光区域ea重叠，还与发光区域ea和供电线fl之间的绝缘层12重叠。并且，上部电极e2与第1布线部fl1、第2布线部fl2及第3布线部fl3分别相接。由此，对于上部电极e2，从供电线fl供给规定的电位。
43.图3是沿着图2所示的a－b线的剖面图。
44.这里，着眼于在第1方向x上邻接的2个显示元件。为了方便，将位于图的左侧的显示元件记作显示元件21，将位于图的右侧的显示元件记作显示元件22。
45.显示元件21具备下部电极(第1下部电极)e11、有机层(第1有机层)or1以及上部电极(第1上部电极)e21。
46.显示元件22具备下部电极(第2下部电极)e12、有机层(第2有机层)or2以及上部电极(第2上部电极)e22。
47.图1所示的像素电路1配置在基材10之上，被绝缘层11覆盖。在图3中，仅简化图示了像素电路1中包含的驱动晶体管3。绝缘层(第1绝缘层)11相当于显示元件21及22的基底层。绝缘层(第2绝缘层)12配置在绝缘层11之上。绝缘层11及12例如是有机绝缘层。
48.下部电极e11及e12配置在绝缘层11之上，在第1方向x上隔开间隔而排列。下部电极e11及e12分别是按每个副像素或每个显示元件而配置的电极，与驱动晶体管3电连接。这样的下部电极e11及e12有时称作像素电极、阳极等。
49.下部电极e11及e12例如是由铟锡氧化物(ito)、铟锌氧化物(izo)等透明导电材料形成的透明电极。另外，下部电极e11及e12也可以是由银、铝等金属材料形成的金属电极。此外，下部电极e11及e12也可以是透明电极及金属电极的层叠体。例如，下部电极e11及e12可以构成为按透明电极、金属电极及透明电极的顺序层叠而成的层叠体，也可以构成为3层以上的层叠体。
50.绝缘层12配置在下部电极e11与下部电极e12之间。此外，绝缘层12具有开口部op1、开口部op2、斜面s1及s2和上表面u1。
51.开口部op1形成于与下部电极e11重叠的区域，是到下部电极e11为止将绝缘层12贯通的贯通孔。下部电极e11的周缘部被绝缘层12覆盖，下部电极e11的中央部在开口部op1处从绝缘层12露出。
52.开口部op2形成于与下部电极e12重叠的区域，是到下部电极e12为止将绝缘层12贯通的贯通孔。下部电极e12的周缘部被绝缘层12覆盖，下部电极e12的中央部在开口部op2处从绝缘层12露出。
53.上表面u1、斜面s1及s2相当于绝缘层12中的、开口部op1与开口部op2之间的表面。斜面s1面向开口部op1。斜面s2面向开口部op2。上表面u1位于斜面s1及s2之间。另外，上表面u1、斜面s1及s2例如是平坦面，但也可以是曲面。
54.有机层or1包含发光层el1。有机层or1配置在开口部op1，将下部电极e11覆盖。在图3所示的例子中，有机层or1配置于斜面s1，还配置在上表面u1的一部分，但与供电线fl相分离。
55.有机层or2包含发光层el2。发光层el2可以由与发光层el1相同的材料形成(有机层or1及有机层or2的发光色相同)，也可以由与发光层el1不同的材料形成(有机层or1及有机层or2的发光色不同)。
56.有机层or2配置在开口部op2，将下部电极e12覆盖。在图3所示的例子中，有机层or2配置于斜面s2，还配置在上表面u1的一部分，但与供电线fl相分离。在上表面u1，有机层or2与有机层or1相分离。供电线fl在上表面u1中位于有机层or1与有机层or2之间。
57.另外，有机层or1及or2可以还包含各种功能层。功能层例如是空穴注入层、空穴输
送层、空穴阻挡层、电子注入层、电子输送层、电子阻挡层，也可以是其他功能层。
58.上部电极e21层叠于有机层or1，将包含有机层or1的周缘部的有机层or1的整体覆盖。此外，上部电极e21在上表面u1中与供电线fl相接。有机层or1中的不隔着绝缘层12而位于下部电极e11与上部电极e21之间的部分能够形成显示元件21的发光区域。有机层or1中的配置于斜面s1及上表面u1的部分由于位于绝缘层12与上部电极e21之间所以几乎不发光。
59.上部电极e22层叠于有机层or2，将包含有机层or2的周缘部的有机层or2的整体覆盖。此外，上部电极e22在上表面u1中与供电线fl相接。上部电极e22与上部电极e21相分离。有机层or2中的不隔着绝缘层12而位于下部电极e12与上部电极e22之间的部分能够形成显示元件22的发光区域。有机层or2中的配置于斜面s2及上表面u1的部分由于位于绝缘层12与上部电极e22之间所以几乎不发光。
60.这些上部电极e21及e22是按每个副像素或每个显示元件而配置的电极，但由于分别与供电线fl相接所以彼此被电连接。这样的上部电极e21及e22有时称作共通电极、对置电极、阴极等。
61.上部电极e21及e22是例如由镁、银等金属材料形成的半透射性的金属电极。另外，上部电极e21及e22也可以是由ito、izo等透明导电材料形成的透明电极。此外，上部电极e21及e22也可以是透明电极及金属电极的层叠体。
62.间隔壁30位于显示元件21与显示元件22之间，配置在绝缘层12之上。在图3所示的例子中，间隔壁30配置在供电线fl之上。更具体而言，间隔壁30具有第1层31和第2层32。
63.第1层31与供电线fl相接，配置在有机层or1与有机层or2之间以及上部电极e21与上部电极e22之间。第1层31具有面向开口部op1的侧面s11、面向开口部op2的侧面s12、和侧面s11与侧面s12之间的上表面u11。第1层31分别露出了供电线fl中的面向开口部op1的区域以及面向开口部op2的区域。即，供电线fl在侧面s11与有机层or1之间延伸，与上部电极e21相接。此外，供电线fl在侧面s12与有机层or2之间延伸，与上部电极e22相接。这样的第1层31可以是导电体也可以是绝缘体。
64.第2层32与上表面u11相接。第2层32从侧面s11朝向开口部op1伸出，进而，从侧面s12朝向开口部op2伸出。第2层32可以是导电体也可以是绝缘体。此外，第2层32可以由与第1层31不同的材料形成，也可以由与第1层31相同的材料形成。
65.这样的间隔壁30在平面视图中形成为格子状，与图2所示的格子状的供电线fl重叠。
66.有机层(第3有机层)or3将第2层32的上表面u21覆盖。有机层or3被上部电极(第3上部电极)e23覆盖。有机层or3由与有机层or1及or2相同的材料形成，但与有机层or1及or2的任一个都相分离。此外，上部电极e23由与上部电极e21及e22相同的材料形成，但与上部电极e21及e22的任一个都相分离。
67.图4是表示构成图3所示的间隔壁30的第2层32的一例的平面图。
68.第2层32具有第1部分321、第2部分322和第3部分323。这些第1部分321、第2部分322及第3部分323一体地或连续地形成。
69.第1部分321在第1方向x上延伸。一对第1部分321配置为，夹着开口部op1而对置。
70.第2部分322在第2方向y上延伸。一对第2部分322配置为，夹着开口部op1而对置。
71.第3部分323与第1部分321及第2部分322分别相连。4个第3部分323在开口部op1的4个角部分别对置地配置。
72.此外，第3部分323具有面向开口部op1的圆弧状的缘部e323。缘部e323比第1部分321的面向开口部op1的缘部e321以及第2部分322的面向开口部op1的缘部e322更接近开口部op1。在图4所示的例子中，缘部e321、缘部e322及缘部e323在平面视图中不与开口部op1重叠。根据情况，缘部e323在平面视图中也可能与开口部op1重叠。
73.图5是表示图3所示的间隔壁30的一例的平面图。另外，这里，表示间隔壁30中的第2层32的外形，此外，用虚线表示供电线fl。
74.在平面视图中，第1部分321与第1布线部fl1重叠，第2部分322与第2布线部fl2重叠，第3部分323与第3布线部fl3重叠。
75.第1部分321沿第2方向y具有大致一定的宽度w11。在一例中，第1部分321比第1布线部fl1形成得宽度更大。即，第1部分321的沿着第2方向y的宽度大于第1布线部fl1的沿着第2方向y的宽度。另外，也可以有第1部分321与第1布线部fl1以同等宽度形成的情况，也可以有第1部分321比第1布线部fl1形成得细的情况。
76.第2部分322沿第1方向x具有大致一定的宽度w12。在一例中，第2部分322比第2布线部fl2形成得宽度更大。即，第2部分322的沿着第1方向x的宽度大于第2布线部fl2的沿着第1方向x的宽度。另外，也可以有第2部分322与第2布线部fl2以同等宽度形成的情况，也可以有第2部分322比第2布线部fl2形成得细的情况。
77.第3部分323具有沿着第1方向x的宽度wx1和沿着第2方向y的宽度wy1。宽度wy1大于宽度w11(wy1＞w11)。宽度wx1大于宽度w12(wx1＞w12)。
78.在这样的形状的第3部分323中，宽度wx1及wy1连续地变化。例如，宽度wx1在接近第2部分322的位置上与宽度w12同等，随着从第2部分322离开而逐渐扩大。同样地，宽度wy1在接近第1部分321的位置上与宽度w11同等，随着从第1部分321离开而逐渐扩大。
79.接着，简单说明具有上述构造的显示元件21及22的制造方法。
80.例如，在形成了下部电极e11及e12之后，形成有机绝缘层，通过对该有机绝缘层布图而形成绝缘层12。然后，在形成了金属层及绝缘层的至少一方之后，通过布图而形成间隔壁30。
81.然后，例如通过真空蒸镀法形成构成有机层or的各层。此时，在开口部op1及op2分别形成有机层or1及or2，并且在间隔壁30之上形成有机层or3。即，不使用精细掩模地形成彼此离开的有机层or1及or2。
82.然后，例如通过溅射法形成上部电极e2。此时，在开口部op1及op2分别形成上部电极e21及e22，并且在间隔壁30之上形成上部电极e23。即，不使用精细掩模地形成彼此离开的上部电极e21及e22。
83.形成上部电极e2的材料的放射角大于形成有机层or的材料的放射角。因此，形成有机层or的材料几乎不达到间隔壁30的第2层32的下方，露出供电线fl。另一方面，形成上部电极e2的材料还绕进被间隔壁30的第2层32遮挡的区域。由此，形成与供电线fl的第1布线部fl1、第2布线部fl2及第3布线部fl3的各自相接的上部电极e21及e22。
84.如以上说明的那样，在邻接的显示元件20之间配置间隔壁30，不经精细掩模地形成的有机层or被间隔壁30分割。因此，提供具备所希望的形状的有机层or的显示元件20。因
而，与应用精细掩模的情况相比，能够降低制造成本，并且，不需要精细掩模的对位等工序，能够容易地形成所希望的形状的有机层or。此外，在显示元件20中，能够在规定的区域形成发光区域，除此以外，与绝缘层12重合的区域中的不希望的发光被抑制。
85.此外，上部电极e2也与有机层or同样地被间隔壁30分割，但各上部电极e2与位于间隔壁30的下方的供电线fl相接。此外，对于以将上部电极e2包围的方式配置的供电线fl，上部电极e2中的周缘部的大致整体与供电线fl(第1布线部fl1、第2布线部fl2及第3布线部fl3)相接。因此，能够将上部电极e2与供电线fl的接触面积确保为足够的大小，能够向上部电极e2的整面供给规定的电位。
86.图6是表示图1的像素px的其他例子的平面图。
87.图6所示的例子与图2所示的例子相比，第3布线部fl3的形状不同。即，供电线fl具有一体地或连续地形成的第1布线部fl1、第2布线部fl2及第3布线部fl3。关于第1布线部fl1及第2布线部fl2，与图2所示的例子同样地构成。
88.第3布线部fl3与第1布线部fl1及第2布线部fl2分别相连。在图6所示的例子中，第3布线部fl3形成为具有沿着第1方向x的宽度wx和沿着第2方向y的宽度wy的大致十字形状。宽度wy小于第1布线部fl1的宽度w1(wy＜w1)。宽度wx小于第2布线部fl2的宽度w2(wx＜w2)。
89.显示元件20的上部电极e2如单点划线所示那样，不仅与发光区域ea重叠，还与发光区域ea和供电线fl之间的绝缘层12重叠。并且，上部电极e2与第1布线部fl1、第2布线部fl2及第3布线部fl3分别相接。由此，对于上部电极e2，从供电线fl供给规定的电位。
90.图7是表示构成间隔壁30的第2层32的其他例子的平面图。
91.第2层32具有第1部分321、第2部分322和第3部分323。这些第1部分321、第2部分322及第3部分323一体地或连续地形成。第1部分321的缘部e321以及第2部分322的缘部e322分别朝向开口部op1形成为凸出的弓形。缘部e321及缘部e322在第3部分323处彼此连接。缘部e321及缘部e322在平面视图中不与开口部op1重叠。
92.将在第1方向x上与开口部op1邻接的其他开口部、在第2方向y上与开口部op1邻接的其他开口部、以及在倾斜方向(对角方向)上与开口部op1邻接的其他开口部分别包围的第2层32的平面形状，与将开口部op1包围的第2层32的平面形状相同。
93.图8是表示构成间隔壁30的第2层32的其他例子的平面图。图8所示的例子相当于图4所示的例子与图7所示的例子的组合。
94.即，将在第1方向x上与开口部op1邻接的其他开口部以及在第2方向y上与开口部op1邻接的其他开口部分别包围的第2层32的平面形状与图4所示的将开口部op1包围的第2层32的平面形状相同。
95.此外，将在倾斜方向(对角方向)上与开口部op1邻接的其他开口部分别包围的第2层32的平面形状与图7所示的将开口部op1包围的第2层32的平面形状相同。
96.图9是表示与图6所示的供电线fl重叠的间隔壁30的一例的平面图。另外，这里，表示间隔壁30中的图7所示的第2层32的外形，此外，用虚线表示供电线fl。
97.在平面视图中，第1部分321与第1布线部fl1重叠，第2部分322与第2布线部fl2重叠，第3部分323与第3布线部fl3重叠。
98.第1部分321在第1方向x上延伸，沿第2方向y具有宽度w11。宽度w11例如连续地变
化，随着接近第3部分323而逐渐缩小。在第1部分321与第3部分323的连接部分，宽度w11最小。
99.第2部分322在第2方向y上延伸，沿第1方向x具有宽度w12。宽度w12也例如连续地变化，随着接近第3部分323而逐渐缩小。在第2部分322与第3部分323的连接部分，宽度w12最小。
100.这样的其他例子也得到与上述同样的效果。
101.根据上述的本实施方式，能够提供能够对显示元件的上部电极供给规定的电位的显示装置。
102.以上，以作为本发明的实施方式而说明的显示装置为基础，本领域技术人员适当进行设计变更而实施得到的全部的显示装置也只要包含本发明的主旨就属于本发明的范围。
103.在本发明的思想范畴中，本领域技术人员能够想到各种变形例，这些变形例也应理解为属于本发明的范围。例如，对于上述的实施方式，本领域技术人员适当进行构成要素的追加、删除或设计变更而得到的、或者进行工序的追加、省略或条件变更而得到的也只要具备本发明的主旨就包含在本发明的范围中。
104.此外，关于由在上述实施方式中描述的形态带来的其他作用效果，从本说明书的记载得以明确的、或者本领域技术人员能适当想到的当然也应理解为是由本发明带来的。