逆重力均温板及电子元件的制作方法

1.本技术涉及电子元件技术领域，尤其涉及一种逆重力均温板及电子元件。


背景技术：

2.热管是一种利用液体相变过程携带汽化潜热提高散热系统传热能力的元件，已经被电子工程界广泛应用。
3.在相关技术中，均温板(也称均热板或蒸汽腔，英文vapor chamber，简称vc)是一种在平面腔体内进行液体相变传热的热管结构。均温板包括依次设置的下壳体、丝网板、烧结板和上壳体。下壳体设置有蒸汽腔，丝网板和烧结板嵌合在蒸汽腔内。下壳体的边沿与上壳体的边沿扣合焊合，使蒸汽腔形成封闭的腔体。使用时，下壳体作为蒸发端与发热件的散热面邻接设置，上壳体作为冷凝端与冷源接触。
4.然而，上述技术方案不适用于对小功率的具有大面积的垂直散热面的发热件进行散热。


技术实现要素：

5.鉴于上述问题，本技术提供一种逆重力均温板及电子元件，尤其适用于对小功率的具有大面积的垂直散热面的发热件进行散热。
6.为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
7.本技术实施例的第一方面提供一种逆重力均温板，适用于具有垂直散热面的发热件，所述逆重力均温板包括层叠设置的多个面板，多个所述面板均平行于所述垂直散热面；
8.多个所述面板之间设置有冷凝液池、蒸汽腔和输液通道，所述冷凝液池位于所述逆重力均温板的沿竖直方向的底部，所述蒸汽腔和所述输液通道均位于所述逆重力均温板的沿竖直方向的顶部；
9.所述冷凝液池的延伸平面垂直于所述垂直散热面，所述蒸汽腔和所述输液通道间隔设置，所述蒸汽腔和所述输液通道的延伸方向均垂直于所述冷凝液池的延伸平面；
10.所述蒸汽腔和所述输液通道的沿竖直方向的顶端相互连通，所述蒸汽腔和所述输液通道的沿竖直方向的底端均与所述冷凝液池相互连通。
11.在一种可以实现的实施方式中，所述输液通道和所述蒸汽腔均设置有多条，所述输液通道的数量大于所述蒸汽腔的数量，所述蒸汽腔与至少一条所述输液通道连通。
12.在一种可以实现的实施方式中，多个所述面板之间还设置有多条蒸汽腔微槽道，多条所述蒸汽腔微槽道均位于所述蒸汽腔的腔壁上；
13.各所述蒸汽腔微槽道均沿所述蒸汽腔的延伸方向延伸，各所述蒸汽腔微槽道的沿竖直方向的底端与所述冷凝液池连通，各所述蒸汽腔微槽道的沿竖直方向的顶端与至少一条所述输液通道连通。
14.在一种可以实现的实施方式中，多个所述面板之间还设置有蒸汽通道，所述蒸汽通道位于各所述输液通道的沿竖直方向的顶端；
15.所述蒸汽通道的延伸平面平行于所述冷凝液池的延伸平面，且所述蒸汽通道与各所述输液通道均间隔设置，所述蒸汽通道与各所述蒸汽腔的沿竖直方向的顶端相互连通。
16.在一种可以实现的实施方式中，所述输液通道的横截面积小于所述蒸汽腔的横截面积；
17.和/或，所述输液通道的沿竖直方向的底端的横截面积，小于所述输液通道的沿竖直方向的顶端的横截面积；
18.和/或，所述输液通道的沿竖直方向的顶端与所述冷凝液池之间的距离，大于所述蒸汽腔沿竖直方向的顶端与所述冷凝液池之间的距离。
19.在一种可以实现的实施方式中，还设置有散热鳍片，所述散热鳍片连接在位于所述逆重力均温板的外侧的两个所述面板中的至少一者上，且所述散热鳍片位于所述面板的沿竖直方向的顶部或底部；
20.所述散热鳍片有多个，多个所述散热鳍片均与所述面板垂直设置。
21.在一种可以实现的实施方式中，多个所述面板包括第一端面板、第二端面板和多个中间面板；
22.所述第一端面板位于多个所述面板中最靠近所述垂直散热面的一侧，所述第二端面板位于多个所述面板的最远离所述垂直散热面的一侧，多个所述中间面板层叠设置在所述第一端面板和所述第二端面板之间；
23.至少部分所述输液通道设置于所述第一端面板和/或所述第二端面板上。
24.在一种可以实现的实施方式中，至少部分所述冷凝液池位于多个所述中间面板之间，各所述中间面板的沿竖直方向的底部均设置有第一通孔，相邻的所述中间面板的所述第一通孔相互连通，并形成位于多个所述中间面板之间的所述冷凝液池；
25.和/或，
26.至少部分所述蒸汽腔位于多个所述中间面板之间，各所述中间面板上均设置有第二通孔，相邻的所述中间面板的所述第二通孔相互连通，并形成位于多个所述中间面板之间的所述蒸汽腔。
27.在一种可以实现的实施方式中，所述输液通道位于任意相邻的两个所述面板之间，
28.相邻的两个所述面板的其中一个上设置有微槽道，相邻的两个所述面板的另一个与设置有所述微槽道的所述面板对接，并封挡所述微槽道的槽口，形成所述输液通道；
29.或者，相邻的两个所述面板的相互靠近的面上均设置有微槽道，相邻的两个所述面板对接，位于相邻的两个所述面板上的所述微槽道对合形成所述输液通道。
30.本技术实施例的第二方面提供一种电子元件，包括发热件和上述的逆重力均温板，所述发热件具有垂直散热面，所述逆重力均温板设置于所述发热件靠近所述垂直散热面的一侧。
31.本技术实施例提供一种逆重力均温板及电子元件，该逆重力均温板适用于小功率的具有大面积垂直散热面的发热件。该逆重力均温板通过设置多个平行于垂直散热面的面板，使面板可以与垂直散热面邻接设置，增大面板与垂直散热面的接触面积，多个面板形成分层结构，发热件的热量沿各面板两侧的分层流动，流动阻力更小，热量能够沿平行于垂直散热面的延伸平面迅速扩散，散热效率更高，散热效果更好；通过设置输液通道和蒸汽腔，
使冷凝液能够在毛细力的作用下沿输液通道向顶部爬升，将冷凝液池中冷凝液逆重力向上提升并输送至蒸汽腔，蒸汽腔的温度相对输液通道的温度更高，使冷凝液在进入蒸汽腔后发生相变转化为蒸汽，蒸汽沿蒸汽腔向底部流动，并在靠近冷凝液池的位置发生相变转化为冷凝液，相变后的冷凝液再次回流到冷凝液池。如此往复，冷凝液在输液通道、蒸汽腔和冷凝液池之间循环流动，对发热件的垂直散热面进行散热。该电子元件包括上述逆重力均温板，具有同样的有益效果。
32.本技术的构造以及它的其他目的及有益效果将会通过结合附图而对优选实施例的描述而更加明显易懂。
附图说明
33.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
34.图1为本技术实施例提供的逆重力均温板的结构示意图；
35.图2为本技术实施例提供的逆重力均温板的另一结构示意图；
36.图3为本技术实施例提供的逆重力均温板的俯视内部结构图；
37.图4为图3的a处局部放大图；
38.图5为本技术实施例提供的逆重力均温板的第一面板的示意图；
39.图6为图5的b处局部放大图；
40.图7为本技术实施例提供的逆重力均温板的第二面板的示意图；
41.图8为图7的c处局部放大图；
42.图9为图7的d处局部放大图；
43.图10为本技术实施例提供的逆重力均温板的第三面板的示意图；
44.图11为图10的e处局部放大图；
45.图12为本技术实施例提供的逆重力均温板的第四面板的示意图；
46.图13为图12的f处局部放大图。
47.附图标记说明：
48.100-逆重力均温板；
49.101-第一面板；102-第二面板；103-第三面板；104-第四面板；
50.210-冷凝液池；211-第一通孔；
51.220-蒸汽腔；221-蒸汽腔微槽道；222-蒸汽通道；223-第二通孔；
52.230-输液通道；231-微槽道；
53.310-散热鳍片；
54.q-热量；l-冷媒；y-冷凝液；z-蒸汽。
具体实施方式
55.相关技术中，均温板包括依次设置的下壳体、丝网板、烧结板和上壳体。下壳体设置有蒸汽腔，蒸汽腔内阵列分布的多个支撑柱，多个支撑柱均凹陷于下壳体的边沿。丝网板
搭设并焊接于支撑柱上，烧结板搭设于丝网板上，丝网板和烧结板均嵌合在蒸汽腔内。下壳体的边沿与上壳体的边沿扣合并焊接，使蒸汽腔形成封闭的腔体。
56.使用时，下壳体作为蒸发端与发热件的散热面邻接设置，上壳体作为冷凝端与冷源接触。在下壳体的蒸发腔内注入冷凝液，使冷凝液分布在蒸汽腔的底部，并填充在丝网板的孔隙中。丝网板的孔隙中的冷凝液吸收散热面的热量后，迅速发生相变汽化为蒸汽。蒸汽在扩散力作用下流向冷凝腔，并在冷凝腔内接触冷源释放热量，发生相变转化为冷凝液。冷凝腔内的冷凝液流经冷凝腔的腔壁、烧结板的孔隙和丝网板的孔隙，再次回流到蒸发腔内。如此往复，直到蒸发端与冷凝端的温度相等。
57.然而，上述技术方案不适用于对小功率的具有大面积的垂直散热面的发热件进行散热。这是由于冷凝液只能存留在蒸发腔或丝网板的孔隙中，其无法顺垂直散热面的延伸方向沿竖直方向爬升，即冷凝液只能对垂直散热面的局部表面散热，无法对垂直散热面的整个表面进行散热。
58.针对上述技术问题，本技术实施例提供了一种逆重力均温板及电子元件，该逆重力均温板适用于小功率的具有大面积垂直散热面的发热件。该逆重力均温板通过设置多个平行于垂直散热面的面板，使面板可以与垂直散热面邻接设置，增大面板与垂直散热面的接触面积，多个面板形成分层结构，发热件的热量沿各面板两侧的分层流动，流动阻力更小，热量能够沿平行于垂直散热面的延伸平面迅速扩散，散热效率更高，散热效果更好；通过设置输液通道和蒸汽腔，使冷凝液能够在毛细力的作用下沿输液通道向顶部爬升，将冷凝液池中冷凝液逆重力向上提升并输送至蒸汽腔，蒸汽腔的温度相对输液通道的温度更高，使冷凝液在进入蒸汽腔后发生相变转化为蒸汽，蒸汽沿蒸汽腔向底部流动，并在靠近冷凝液池的位置发生相变转化为冷凝液，相变后的冷凝液再次回流到冷凝液池。如此往复，冷凝液在输液通道、蒸汽腔和冷凝液池之间循环流动，对发热件的垂直散热面进行散热。该电子元件包括上述逆重力均温板，具有同样的有益效果。
59.为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的优选实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
60.以下将对本技术实施例提供的电子元件进行说明。
61.本技术实施例提供一种电子元件，包括发热件和上述的逆重力均温板，发热件具有垂直散热面，逆重力均温板设置于发热件靠近垂直散热面的一侧。
62.其中，发热件可以包括大空间的小功率、低热流密度的发热件，且发热件可以提供较大面积的垂直散热面。示例性的，电子元件可以包括电池，发热件可以包括电池中的电芯。在一些实施例中，电子元件还可以包括电路板，发热件可以包括电路板中的芯片。
63.可以理解的是，随着电子元件在使用过程中的位置和姿态发生变化，垂直散热面的位置和姿态随之发生改变，即垂直散热面可以具有倾斜或水平的状态。本技术实施例并不严格限定垂直散热面时刻保持垂直，而是指该垂直散热面在通常情况下可以具有垂直状态。
64.以下将参照图1-图13对本技术实施例提供的逆重力均温板100进行说明。
65.本技术实施例提供一种逆重力均温板100，适用于具有垂直散热面的发热件，逆重力均温板100包括层叠设置的多个面板，多个面板均平行于垂直散热面。
66.多个面板之间设置有冷凝液池210、蒸汽腔220和输液通道230，冷凝液池210位于逆重力均温板100的沿竖直方向的底部，蒸汽腔220和输液通道230均位于逆重力均温板100的沿竖直方向的顶部。
67.冷凝液池210的延伸平面垂直于垂直散热面，蒸汽腔220和输液通道230间隔设置，蒸汽腔220和输液通道230的延伸方向均垂直于冷凝液池210的延伸平面。
68.蒸汽腔220和输液通道230的沿竖直方向的顶端相互连通，蒸汽腔220和输液通道230沿竖直方向的底端均与冷凝液池210相互连通。
69.其中，面板可以包括陶瓷件、金属件或复合材料件。示例性的，面板可以是铜合金薄板或不锈钢薄板。多个面板可以具有相同的形状和大小，使多个面板在彼此上的正投影均相互重合，多个面板之间可以焊接固定。
70.多个面板均平行于垂直散热面，使面板可以与垂直散热面邻接设置，增大面板与垂直散热面的接触面积。多个面板形成分层结构，发热件的热量q沿各面板两侧的分层流动，流动阻力更小，热量q能够沿平行于垂直散热面的延伸平面迅速扩散，散热效率更高，散热效果更好。
71.在一种可以实现的实现方式中，如图3和图4并结合图5-图13所示，输液通道230的横截面积小于蒸汽腔220的横截面积。
72.可以理解的是，输液通道230横截面积越小，输液通道230的有效直径越小，输液通道230对冷凝液y的毛细力作用越大，冷凝液y在输液通道230内的提升高度越大。输液通道230具有微米级尺寸的横截面积。
73.本技术实施例中，输液通道230对冷凝液y的毛细力远大于蒸汽腔220对冷凝液y的毛细力，使冷凝液y可以通过输液通道230被提升并在顶部输送至蒸汽腔220，而蒸汽腔220内冷凝液y的提升高度几乎可以忽略。示例性的，输液通道230的有效直径可以小于100μm，其对冷凝液y的提升高度可以大于30mm。蒸汽腔220的有效直径可以大于3mm之间，其对冷凝液y的提升高度小于300μm。
74.可以理解的是，输液通道230内充满冷凝液y，蒸汽腔220内的冷凝液y由输液通道230补充而来，两者的横截面积和冷凝液y的流量的不同，使蒸汽腔220内的温度高于输液通道230内的温度。并且，由于蒸汽腔220的沿竖直方向的底部连通冷凝液池210，蒸汽腔220的顶部的温度高于其底部的温度。当冷凝液y由输液通道230的顶部进入蒸汽腔220，在高温作用下，蒸汽腔220内的冷凝液y会发生相变转化为蒸汽z；蒸汽z沿蒸汽腔220由顶部向底部流动，并在靠近冷凝液池210的位置接触低温的腔壁，发生相变转化为冷凝液y；相变后的冷凝液y再次回流到冷凝液池210。如此往复，冷凝液y在输液通道230、蒸汽腔220和冷凝液池210之间循环流动，对发热件的垂直散热面进行散热。
75.在一种可以实现的实现方式中，如图5-图13所示，输液通道230的沿竖直方向的顶端与冷凝液池210之间的距离，大于蒸汽腔220的沿竖直方向的顶端与冷凝液池210之间的距离。
76.这样，输液通道230可以在顶部以倒流的方式进入蒸汽腔220，其中输液通道230可
以通过如图8所示倒u型的结构连通至蒸汽腔220，能够避免输液通道230的横截面积的剧烈变化，能够保证输液通道230和蒸汽腔220的顺利连接，促进冷凝液y流动的连续完整性。
77.在一种可以实现的实现方式中，如图5和图6所示，输液通道230的沿竖直方向的底端的横截面积，小于输液通道230的沿竖直方向的顶端的横截面积。
78.这样，输液通道230的底部对冷凝液y的毛细力大于其顶部对冷凝液y的毛细力，使逆重力均温板100在对发热件的散热初期，能够助推冷凝液池210内的冷凝液y向输液通道230流动，具有单向拒止的作用。
79.其中，输液通道230的横截面积可以分段递增也可以连续递增。本技术实施例对此不做限定。
80.在一种可以实现的实现方式中，如图2、图3和图7所示，输液通道230和蒸汽腔220均设置有多条，输液通道230的数量大于蒸汽腔220的数量，蒸汽腔220与至少一条输液通道230连通。
81.可以理解的是，输液通道230的横截面积远小于蒸汽腔220的横截面积，设置更多的输液通道230，可以对蒸汽腔220补充足够流量的冷凝液y，以便于带走更多的热量q，提高散热效率。
82.当蒸汽腔220与多条输液通道230相互连通，多条输液通道230可以分别与蒸汽腔220连通，也可以是多条输液通道230在顶部通过连接通道相互连通，然后再与蒸汽腔220连通。
83.在一种可以实现的实现方式中，如图2和图3以及图7-图13所示，多个面板之间还设置有多条蒸汽腔微槽道221，多条蒸汽腔微槽道221均位于蒸汽腔220的腔壁上。
84.各蒸汽腔微槽道221均沿蒸汽腔220的延伸方向延伸，各蒸汽腔微槽道221的沿竖直方向的底端与冷凝液池210连通，各蒸汽腔微槽道221的沿竖直方向的顶端与至少一条输液通道230连通。
85.这样，蒸汽腔微槽道221可以在蒸汽腔220内形成蒸汽腔220槽道群，冷凝液y在其中与蒸汽腔220中的热量q接触，并吸收热量q转化为蒸汽z。蒸汽腔微槽道221的设置可以扩展冷凝液y与蒸汽腔220中的热量q的接触面积，提高散热效率。
86.在一种可以实现的实现方式中，如图7、图10和图12所示，多个面板之间还设置有蒸汽通道222，蒸汽通道222位于各输液通道230的沿竖直方向的顶端。
87.蒸汽通道222的延伸平面平行于冷凝液池210的延伸平面，且蒸汽通道222与各输液通道230均间隔设置，蒸汽通道222与各蒸汽腔220的沿竖直方向的顶端相互连通。
88.这样，在蒸汽腔220内汽化的蒸汽z可以通过蒸汽通道222流动至其他蒸汽腔220内，使其中处于温度高点的蒸汽腔220内的热量q可以分散至其他蒸汽腔220内。
89.在一种可以实现的实现方式中，如图1-图4所示，多个面板包括第一端面板、第二端面板和多个中间面板。
90.第一端面板位于多个面板中最靠近垂直散热面的一侧，第二端面板位于多个面板的最远离垂直散热面的一侧，多个中间面板层叠设置在第一端面板和第二端面板之间。
91.至少部分输液通道230设置于第一端面板和/或第二端面板上。
92.如图3中，逆重力均温板100呈对称结构设置，可以由第一面板101、第二面板102、第三面板103和第四面板104、第四面板104、第三面板103、第二面板102和第一面板101依次
层叠设置，位于两侧的第一面板101可以形成第一端面板和第二端面板，其余面板形成中间面板。
93.在本技术实施例中，逆重力均温板100的两侧可以均具有发热件，这使得最靠近垂直散热面的第一端面板仅为相对其中一侧的发热件而言，其相对于另一侧的发热件成为第二端面板。
94.可以理解的是，蒸汽腔220的横截面积大于输液通道230的横截面积，蒸汽腔220可以位于多个中间面板上，输液通道230可以位于相邻的两个面板之间。蒸汽腔220占据了中间面板上的大部分面积，使可以设置输液通道230的面积大大减少，而位于边侧的面板能够提供较多的用于设置输液通道230的面积。因此，将输液通道230设置于位于边侧的面板上，可以提高形成的输液通道230的数量，以输送更多的冷凝液y。
95.在一种可以实现的实现方式中，如图3-图13所示，输液通道230位于任意相邻的两个面板之间。
96.相邻的两个面板的其中一个上设置有微槽道231，相邻的两个面板的另一个与设置有微槽道231的面板对接，并封挡微槽道231的槽口，形成输液通道230。
97.或者，相邻的两个面板的相互靠近的面上均设置有微槽道231，相邻的两个面板对接，位于相邻的两个面板上的微槽道231对合形成输液通道230。
98.这样，任意相邻的面板之间均可以形成输液通道230，便于设置更多的输液通道230，以对蒸汽腔220输送冷凝液y，源源不断地带走发热件的热量q。
99.在一种可以实现的实现方式中，如图7、图10和图12所示，至少部分冷凝液池210位于多个中间面板之间，各中间面板的沿竖直方向的底部均设置有第一通孔211，相邻的中间面板的第一通孔211相互连通，并形成位于多个中间面板之间的冷凝液池210。
100.这样，冷凝液池210可以具有较大的储液量，为逆重力均温板100提供足够的冷凝液y，提升散热效果。
101.在一些实施例中，如图5所示，部分冷凝液池210还可以位于第一端面板和/或第二端面板上。
102.以部分冷凝液池210位于第一端面板为例，第一端面板对应冷凝液池210的位置可以半刻形成槽道，槽道与多个中间面板的第一通孔211相互连通，形成位于第一端面板和多个中间面板之间的冷凝液池210。其中，槽道的顶部还可以与第一端面板上的输液通道230连通，实现冷凝液池210与输液通道230的相互连通。
103.同理，第二端面板可以类似设置，形成部分冷凝液池210，并连通输液通道230。
104.这样，冷凝液池210可以为第一端面板和第二端面板上的输液通道230提供冷凝液y，且冷凝液池210可以具有更大的储液量，提升散热效果。
105.在一种可以实现的实现方式中，如图3、图7、图10和图12所示，至少部分蒸汽腔220位于多个中间面板之间，各中间面板上均设置有第二通孔223，相邻的中间面板的第二通孔223相互连通，并形成位于多个中间面板之间的蒸汽腔220。
106.这样，蒸汽腔220可以具有足够的蒸发空间，而且，可以根据多个中间面板之间未设有第二通孔223的实体部分的面积大小，形成输液通道230，以输送更多的冷凝液y。
107.在本技术实施例中，第二通孔223的孔径不尽相同，使蒸汽腔220的横截面的图形呈类椭圆形。
108.可以理解的是，蒸汽腔微槽道221位于蒸汽腔220的腔壁上，其可以参考上述微槽道231的形成方式，在上述第二通孔223的孔壁的边沿开设微槽道231，并使其相邻第二通孔223的侧壁与第二通孔223连通。
109.值得说明的是，当设置有多个蒸汽腔220，由于蒸汽腔220沿竖直方向的顶部连通蒸汽通道222，蒸汽腔220沿竖直方向的底部连通冷凝液池210，使同一面板上相邻的蒸汽腔220之间的实体部分，需要依靠相邻的面板形成定位和支撑。因此，可以首先进行每个面板上形成输液通道230的微槽道231的加工，然后将第一端面板和多个中间面板相互层叠设置(也可以考虑层叠设置第二端面板)，最后通过去除材料的方式形成蒸汽腔220。
110.在一种可以实现的实现方式中，逆重力均温板100还包括带有密封盖的注液口(未示出)，注液口与蒸汽腔220沿竖直方向的顶端连通。
111.这样，可以通过注液口对冷凝液池210注入补充冷凝液y。
112.在一种可以实现的实现方式中，如图1和图2所示，逆重力均温板100还设置有散热鳍片310，散热鳍片310连接在位于逆重力均温板100的外侧的两个面板中的至少一者上，且散热鳍片310位于面板的沿竖直方向的顶部或底部。
113.散热鳍片310有多个，多个散热鳍片310均与面板垂直设置。
114.这样，冷媒l(如冷却风)可以在散热鳍片310之间流动，将散热鳍片310传递来的热量q带走，提高逆重力均温板100的散热效率。
115.需要说明的是，在本技术实施例中，“微槽道”中的“微”是指槽道的结构尺寸是微米级，而对于没有明确示出的结构，例如“通孔”，其结构尺寸可以是毫米级，也可以是微米级，对此不做限定。
116.需要说明的是，在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应作广义理解，例如，可以使固定连接，也可以是通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
117.在本技术实施例的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“多个”的含义是两个或两个以上，除非是另有精确具体地规定。
118.在本技术实施例的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
119.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行
等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。