掩膜及晶圆检测夹具的制作方法

1.本实用新型涉及一种掩膜及晶圆检测夹具。


背景技术：

2.随着我国半导体行业快速发展，对掩膜和晶圆的开发研究力度越来越大，开始投入的机构越来越多，由于掩膜和晶圆的形状不同，目前，针对掩膜和晶圆的检测，需要准备两种不用的夹具，导致机台多，设备成本高，占地空间大。


技术实现要素：

3.本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种掩膜及晶圆检测夹具，它适用于掩膜及晶圆的检测，一机两用，以降低设备成本。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种掩膜及晶圆检测夹具，它包括：
5.底座；
6.呈方形的定位台；
7.固定在所述底座上的固定支撑件；
8.滑配在所述底座上的滑动支撑件；
9.设于底座和滑动支撑件之间并适于驱动滑动支撑件朝向固定支撑件移动以使固定支撑件和滑动支撑件共同夹紧呈方形的掩膜版或定位台的移动驱动机构；
10.固定在所述定位台的上端面并适于定位晶圆的晶圆夹具。
11.进一步，所述底座上设有两条相互平行的导轨，所述滑动支撑件上设有与所述导轨一一对应的导槽，所述导槽滑配在相应导轨上。
12.进一步提供了一种移动驱动机构的具体结构，所述移动驱动机构包括：
13.旋转支承在底座上的丝杆；
14.与所述丝杆螺纹连接并固定在所述滑动支撑件上的螺母块；
15.与所述丝杆相连以驱动所述丝杆旋转的电机。
16.进一步，所述滑动支撑件通过连接板固定在所述螺母块上，所述连接板的一端部与所述螺母块固定连接，另一端部与所述滑动支撑件固定连接。
17.进一步，所述固定支撑件和滑动支撑件上分别设有至少一个适于支撑掩膜版或定位台的支撑部。
18.进一步为了可以更好地定位掩膜版或定位台，所述滑动支撑件和固定支撑件上分别设有适于定位掩膜版或定位台的角的角定位部。
19.进一步，所述滑动支撑件的组成角定位部的两个边上分别设有至少一个支撑部。
20.进一步，所述滑动支撑件沿所述掩膜版的一个对角线方向滑配在所述底座上。
21.进一步，所述晶圆夹具包括固定在所述定位台上的圆盘，所述圆盘上设有适于真空吸附晶圆的真空吸附区。
22.采用了上述技术方案后，本实用新型具有以下有益效果：
23.1、本实用新型通过移动驱动机构驱动滑动支撑件朝向固定支撑件移动，进而使滑动支撑件与固定支撑件共同夹紧掩膜版，本实用新型适用于不同规格的掩膜版，本实用新型将定位台设置成方形，定位台的形状与掩膜版的形状一致，还可以通过滑动支撑件与固定支撑件共同夹紧定位台，再通过定位台上的晶圆夹具定位晶圆，本实用新型在检测掩膜版的夹具上添加一组零件以实现晶圆的检测，通过定位掩膜版的形式来定位定位台，实现一机两用，提升了设备本身的功能，缩减了机台数量，节约了成本及设备占地空间，进而降低研发及生产成本；
24.2、本实用新型通过电机配合丝杆螺母的结构来驱动滑动支撑件移动，滑动支撑件移动至指定尺寸，该尺寸能轻松放入掩膜版或定位台，电机驱动丝杆转动，螺母块再带动滑动支撑件移动，进而夹紧掩膜版或定位台，控制精度高；
25.3、本实用新型通过支撑部来支撑掩膜版，掩膜版与整个检测夹具的接触面积小，进而尽可能减少检测过程中对掩膜版造成的损伤；
26.4、本实用新型的晶圆夹具采用真空吸附的方式定位晶圆，适用于不同规格的晶圆，通用性强。
附图说明
27.图1为本实用新型的掩膜及晶圆检测夹具的结构示意图；
28.图2为本实用新型的掩膜及晶圆检测夹具在固定掩膜版过程中的结构示意图。
具体实施方式
29.为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
30.如图1、2所示，一种掩膜及晶圆检测夹具，它包括：
31.底座1；
32.呈方形的定位台4；
33.固定在所述底座1上的固定支撑件2；
34.滑配在所述底座1上的滑动支撑件3；
35.设于底座1和滑动支撑件3之间并适于驱动滑动支撑件3朝向固定支撑件2移动以使固定支撑件2和滑动支撑件3共同夹紧呈方形的掩膜版或定位台4的移动驱动机构；
36.固定在所述定位台4的上端面并适于定位晶圆的晶圆夹具。
37.具体地，本实用新型通过移动驱动机构驱动滑动支撑件3朝向固定支撑件2移动，进而使滑动支撑件3与固定支撑件2共同夹紧掩膜版，本实用新型适用于不同规格的掩膜版，本实用新型将定位台4设置成方形，定位台4的形状与掩膜版的形状一致，还可以通过滑动支撑件3与固定支撑件2共同夹紧定位台4，再通过定位台4上的晶圆夹具定位晶圆，本实用新型在检测掩膜版的夹具上添加一组零件以实现晶圆的检测，通过定位掩膜版的形式来定位定位台4，实现一机两用，提升了设备本身的功能，缩减了机台数量，节约了成本及设备占地空间，进而降低研发及生产成本。
38.如图1、2所示，所述底座1上设有两条相互平行的导轨5，所述滑动支撑件3上设有
与所述导轨5一一对应的导槽，所述导槽滑配在相应导轨5上。
39.如图1、2所示，所述移动驱动机构包括：
40.旋转支承在底座1上的丝杆；
41.与所述丝杆螺纹连接并固定在所述滑动支撑件3上的螺母块6；
42.与所述丝杆相连以驱动所述丝杆旋转的电机7。
43.具体地，本实用新型通过电机7配合丝杆螺母的结构来驱动滑动支撑件3移动，滑动支撑件3移动至指定尺寸，该尺寸能轻松放入掩膜版或定位台4，电机7驱动丝杆转动，螺母块6再带动滑动支撑件3移动，进而夹紧掩膜版或定位台4，控制精度高。
44.如图1、2所示，所述滑动支撑件3通过连接板8固定在所述螺母块6上，所述连接板8的一端部与所述螺母块6固定连接，另一端部与所述滑动支撑件3固定连接。
45.如图1、2所示，所述固定支撑件2和滑动支撑件3上分别设有至少一个适于支撑掩膜版或定位台4的支撑部9。
46.如图1、2所示，为了可以更好地定位掩膜版或定位台4，所述滑动支撑件3和固定支撑件上分别设有适于定位掩膜版或定位台4的角的角定位部。
47.如图1、2所示，所述滑动支撑件3的组成角定位部的两个边上分别设有至少一个支撑部9。
48.具体地，本实用新型通过支撑部9来支撑掩膜版，掩膜版与整个检测夹具的接触面积小，进而尽可能减少检测过程中对掩膜版造成的损伤。
49.如图1、2所示，所述滑动支撑件3沿所述掩膜版的一个对角线方向滑配在所述底座1上。
50.如图1所示，所述晶圆夹具包括固定在所述定位台4上的圆盘10，所述圆盘10上设有适于真空吸附晶圆的真空吸附区11。
51.具体地，本实用新型的晶圆夹具采用真空吸附的方式定位晶圆，适用于不同规格的晶圆，通用性强。
52.以上所述的具体实施例，对本实用新型解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。