控制方法和基片输送模块与流程

技术特征：
1.一种控制方法，其为基片输送模块的控制方法，所述基片输送模块包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；和设置于所述循环管线的阀，所述控制方法的特征在于，包括：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，在所述置换步骤中，进行控制以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。2.如权利要求1所述控制方法，其特征在于：所述循环步骤包含使所述风扇的转速以阶梯状或者连续地增加的步骤。3.如权利要求2所述控制方法，其特征在于：所述循环步骤包含将所述风扇的转速保持为一定的步骤。4.如权利要求1至3中任一项所述控制方法，其特征在于：在所述循环步骤中，进行控制以使得所述第1室内成为正压的状态。5.如权利要求1至4中任一项所述控制方法，其特征在于：在所述循环步骤中，利用所述输送装置输送基片。6.如权利要求1至5中任一项所述控制方法，其特征在于：在所述置换步骤中，在从开启所述风扇起经过了所述预先决定的时间后所述第2室内的湿度比预先决定的值大的情况下，再次使所述风扇开启所述预先决定的时间。7.如权利要求1至6中任一项所述控制方法，其特征在于：在所述置换步骤和所述循环步骤中，进行控制以对所述第1室内和/或所述第2室内导入所述置换气体，并进行控制以使在所述循环步骤中导入到所述第1室内和/或所述第2室内的所述置换气体的流量，比在所述置换步骤中导入到所述第1室内和/或所述第2室内的所述置换气体的流量小。8.如权利要求1至7中任一项所述控制方法，其特征在于：所述置换气体为惰性气体或者清洁干燥空气。9.如权利要求1至8中任一项所述控制方法，其特征在于：在启动所述基片输送模块时，或者，在维护了所述基片输送模块后进行重启时，实施所述控制方法。10.一种对处理室输送基片的基片输送模块，其特征在于，包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；设置于所述循环管线的阀；和控制部，所述控制部构成为能够实施以下步骤：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气
体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，所述控制部在所述置换步骤中进行控制，以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。

技术总结
本发明提供能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间的技术。本发明的一个方式的控制方法是基片输送模块的控制方法，所述基片输送模块包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；和设置于所述循环管线的阀，所述控制方法包括：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，在所述置换步骤中，进行控制以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。所述风扇开启且将所述阀打开。所述风扇开启且将所述阀打开。


技术研发人员：佐藤裕人 三木隆宽 小原美鹤
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2022.01.14
技术公布日：2022/7/26