控制方法和基片输送模块与流程

1.本发明涉及控制方法和基片输送模块。


背景技术：

2.已知有一种技术，在具有第1室和第2室的efem中，在第1室与第2室之间形成规定的压力差以使得第1室的压力比第2室的压力大，其中，第1室具有供置换气体流入的流入口，第2室设置有输送机械臂(例如，参照专利文献1)。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2018-160543号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.本发明提供能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间的技术。
8.用于解决课题的方法
9.本发明的一个方式的控制方法是基片输送模块的控制方法，所述基片输送模块包括：设置有风扇的第1室；第2室，其由所述风扇从所述第1室被送入置换气体，且包含输送基片的输送装置；将所述第1室和所述第2室连通并使所述置换气体循环的循环管线；和设置于所述循环管线的阀，所述控制方法包括：使所述风扇停止，且将所述阀关闭，将所述第1室内和所述第2室内置换为所述置换气体的置换步骤；和使所述风扇开启，且将所述阀打开，经由所述循环管线使所述置换气体循环的循环步骤，在所述置换步骤中，进行控制以预先决定的时间使所述风扇开启且将所述阀打开。
10.发明效果
11.依照本发明，能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间。
附图说明
12.图1是表示实施方式的处理系统的一例的图。
13.图2是表示控制装置的硬件结构的一例的图。
14.图3是表示装载模块的一例的图。
15.图4是表示装载模块的另一例的图。
16.图5是表示实施方式的控制方法的一例的图。
17.图6是表示图5的控制方法中的阀和循环风扇的工作的一例的图。
18.图7是表示图5的控制方法中的阀和循环风扇的工作的另一例的图。
19.图8是表示实施方式的控制方法的另一例的图。
20.附图标记说明
21.30装载模块
22.310第1室
23.314循环风扇
24.320第2室
25.331 循环管线
26.332 循环阀
27.390 控制部
具体实施方式
28.以下，参照附图对本发明非限定的例示的实施方式进行说明。在所有附图中，对相同或对应的部件或部件标注相同或对应的参照符号，并省略重复的说明。
29.[处理系统]
[0030]
参照图1和图2，对实施方式的处理系统的一例进行说明。图1是表示实施方式的处理系统的一例的图。图2是表示控制装置的硬件结构的一例的图。
[0031]
处理系统1包括输送模块10、4个处理模块20、装载模块30、2个装载锁定模块40和控制装置100。
[0032]
输送模块10在俯视时具有大致六边形状。输送模块10由真空室构成，具有配置于内部的输送装置11。输送装置11在能够访问处理模块20和装载锁定模块40的位置由被设置成能够伸缩、升降和回旋的多关节臂形成。输送装置11具有彼此能够向相反方向独立地伸缩的2个拾取器12，一次能够输送2个晶片w。晶片w为基片的一个例子。此外，输送装置11能够在处理模块20与装载锁定模块40之间输送晶片w即可，不限定于图1所示的结构。
[0033]
处理模块20在输送模块10周围呈放射状配置并与输送模块10连接。处理模块20由处理室构成，在内部具有载置晶片w的圆柱状的载置台21。在处理模块20中，对载置于载置台21的晶片w实施成膜处理等规定的处理。输送模块10和处理模块20由可开闭的闸阀22分隔。
[0034]
装载模块30是基片输送模块的一例，与输送模块10相对地配置。装载模块30为长方体状，是氧浓度和湿度得到了管理的输送室。在装载模块30内，配置有输送装置31。输送装置31可滑动移动地支承于以装载模块30内的中心部沿长边方向延伸的方式设置的引导轨道32上。在引导轨道32，内置有例如具有编码器的直线电机(未图示)，通过驱动直线电机而输送装置31沿引导轨道32移动。
[0035]
输送装置31中，作为输送臂，具有上下2层地配置的2个多关节臂33。在各多关节臂33的前端，安装有形成为二分叉状的拾取器34。在各拾取器34上，能够保持晶片w。各多关节臂33能够从中心向半径方向伸缩和升降。此外，各多关节臂33的伸缩动作能够单独地控制。多关节臂33的各旋转轴分别呈同轴状可旋转地连结于基座35，例如能够相对于基座35向回旋方向一体地旋转。引导轨道32和多关节臂33作为使拾取器34移动的驱动机构发挥功能。输送装置31在后述的装载锁定模块40、输送容器51与对准器60之间输送晶片w。此外，输送装置31能够在装载锁定模块40、输送容器51与对准器60之间输送晶片w即可，但并不限定于图1所示的结构。
[0036]
在装载模块30内配置有对准器60。对准器60进行晶片w的位置对齐。对准器60具有利用驱动电机(未图示)旋转的旋转台61，能够在旋转台61上载置有晶片w的状态下旋转。在
旋转台61的外周，设置有用于检测晶片w的周缘部的光学传感器(未图示)。对准器60利用光学传感器检测晶片w的中心位置和缺口相对于晶片w的中心的方向，在装载锁定模块40内调整输送晶片w的位置以使得晶片w的中心位置和缺口的方向成为规定的位置和方向。
[0037]
在装载模块30的沿长边方向的一个侧面，连接有2个装载锁定模块40。另一方面，在装载模块30的沿长边方向的另一个侧面，设置有用于导入晶片w的一个或多个送入口36。在图示的例子中，设置有3个送入口36。在各送入口36设置有被设置成可开闭的开闭门37。此外，与各送入口36对应地分别设置有装载口50。在装载口50，载置收纳并输送晶片w的输送容器51。输送容器51可以是将多个(例如25个)晶片w以隔开规定间隔地多层载置的方式收纳的foup(front-opening unified pod：前开式晶片传送盒)。
[0038]
在装载模块30的沿短边方向的一个侧面，设置有后述的循环部330。
[0039]
装载锁定模块40配置于输送模块10与装载模块30之间。装载锁定模块40由能够使内部在真空和大气压之间切换的内压可变室构成。在装载锁定模块40的内部，设置有载置晶片w的圆柱状的载置台41。装载锁定模块40在将晶片w从装载模块30送入输送模块10时，将内部维持为大气压而从装载模块30接收晶片w后，将内部减压并向输送模块10送入晶片w。此外，在将晶片w从输送模块10向装载模块30送出时，在将内部维持为真空而从输送模块10接收晶片w后，使内部升压至大气压而向装载模块30送入晶片w。装载锁定模块40和输送模块10由可开闭的闸阀42分隔。此外，装载锁定模块40和装载模块30由可开闭的闸阀43分隔。
[0040]
控制装置100控制处理系统1的各构成要素的工作。控制装置100如图2所示，是具有各自经由总线108彼此连接的驱动装置101、辅助存储装置102、存储装置103、cpu104、接口装置105、显示装置106等的计算机。实现控制装置100中的处理的程序，由cd-rom等记录介质107提供。将存储有程序的记录介质107设置在驱动装置101时，程序从记录介质107经由驱动装置101被安装到辅助存储装置102。但是，程序的安装不一定必须利用记录介质107来进行，也可以经由网络从其他计算机下载。辅助存储装置102保存所安装的程序、方案等的必要信息。存储装置103在有程序的启动指示时，从辅助存储装置102读出并保存程序。cpu104按照保存在存储装置103中的程序来执行处理系统1的功能。接口装置105被用作用于与网络连接的接口。显示装置106也作为显示各种信息并且处理操作者的操作的操作部发挥功能。
[0041]
[装载模块]
[0042]
参照图3，对实施方式的装载模块30的一例进行说明。图3是表示装载模块30的一例的图。
[0043]
装载模块30例如是efem(equipment front end module：设备前端模块)，形成与设置有处理系统1的工厂内的环境相比清洁度高的空间。该空间例如可以是mini-e(mini-environment：迷你洁净环境)。装载模块30具有第1室310、第2室320、循环部330、气体导入部340、排气部350和控制部390。
[0044]
第1室310与第2室320的上部连接。第1室310内的压力设定得比第2室320内的压力低。第1室310包括流入口311、第1压力计312和气流形成部313。
[0045]
流入口311是从循环部330流入置换气体的口，经由流入口311将置换气体从循环部330导入到第1室310内。在本实施方式中，流入口311形成于第1室310的1个侧壁，但是例
如流入口311也可以形成于第1室310的相对的2个侧壁，也可以形成于顶部。置换气体可以为例如氮(n2)、氩(ar)等惰性气体、清洁干燥空气(cda：clean dry air)。
[0046]
第1压力计312测量第1室310内的压力，将测量值发送到控制部390。
[0047]
气流形成部313包含循环风扇314和过滤器315。循环风扇314设置于第1室310内，将置换气体从第1室310内送入到第2室320内。过滤器315设置于循环风扇314的下方，通过将循环风扇314送入的置换气体过滤而净化，然后供给到第2室320内。过滤器315包含例如ulpa(ultra-low penetration air：超高效空气)过滤器和化学过滤器。该气流形成部313通过驱动循环风扇314，形成从第1室310去往第2室320的已净化的气体的下降气流。此外，气流形成部313也可以是循环风扇314和过滤器315形成为一体的风扇过滤单元(ffu)。
[0048]
第2室320与第1室310的下方连接，在内部配置有前述的输送装置31。第2室320包含循环口321、排气口322、第2压力计323、温度计324、露点计325和氧浓度计326。
[0049]
循环口321是用于使置换气体从第2室320内流出到循环管线331的口，置换气体经由循环口321从第2室320内流出到循环部330。在本实施方式中，循环口321形成于第2室320的1个侧壁，但是例如循环口321也可以形成于第2室320的相对的2个侧壁，也可以形成于底部。
[0050]
排气口322是用于将气体从第2室320内排出到外部的口，经由排气口322第2室320内排出气体。在本实施方式中，排气口322形成于第2室320的侧壁，但是例如排气口322也可以形成于第2室320的相对的2个侧壁，也可以形成于底部。此外，例如排气口322也可以形成于循环管线331。
[0051]
第2压力计323、温度计324、露点计325和氧浓度计326分别测量第2室320内的压力、温度、露点温度和氧浓度，将测量值发送到控制部390。
[0052]
循环部330使置换气体从第2室320内向第1室310内循环。循环部330包含循环管线331和循环阀332。
[0053]
循环管线331的一端与流入口311连接，另一端与循环口321连接，将第1室310内和第2室320内连通而使置换气体从第2室320内向第1室310内循环。
[0054]
循环阀332被设置成能够使循环口321开闭，控制第2室320内与循环管线331内的连通状态。当循环阀332关闭时，第2室320内与循环管线331内的连通被阻断，置换气体从第2室320内向第1室310内的循环停止。另一方面，当循环阀332打开时，第2室320内与循环管线331内连通，置换气体从第2室320内向第1室310内循环。此外，循环阀332设置于循环管线331的中途。
[0055]
气体导入部340将作为置换气体的惰性气体和清洁干燥空气导入到循环管线331内。气体导入部340包含惰性气体供给源341、惰性气体供给管342、阀343、流量控制器344、cda供给源345、cda供给管346、流量调节阀347和阀348。
[0056]
惰性气体供给源341经由惰性气体供给管342对循环管线331内供给惰性气体。惰性气体例如可以为n2、ar。阀343插设于惰性气体供给管342，对惰性气体供给管342内的流路进行开闭。流量控制器344插设于惰性气体供给管342，控制在惰性气体供给管342内流动的惰性气体的流量。流量控制器344例如可以为质量流量控制器(mfc)。
[0057]
cda供给源345经由cda供给管346对循环管线331内供给清洁干燥空气(cda)。流量调节阀347插设于cda供给管346，调节在cda供给管346内流动的清洁干燥空气的流量。阀
348插设于cda供给管346，对cda供给管346内的流路进行开闭。
[0058]
该气体导入部340将由流量控制器344控制了流量的惰性气体和由流量调节阀347控制了流量的清洁干燥空气中的至少一者供给到循环管线331内。
[0059]
排气部350将第2室320内的气体排气。排气部350包含排气管351和排气流量调节部352。排气管351与第2室320的排气口322连接。排气流量调节部352插设于排气管351，调节来自第2室320内的气体的排气流量。例如，排气流量调节部352包含排气流导不同的2各以上的排气流路，构成能够通过切换与排气管351连通的排气流路来调节排气流量。此外，例如，也可以为排气流量调节部352包含开度控制阀，构成能够通过控制该开度控制阀的开度来调节排气流量。该排气部350利用排气流量调节部352经由排气管351将第2室320内排气，以使得第2室320内成为规定的压力。
[0060]
控制部390基于第1压力计312、第2压力计323、温度计324、露点计325和氧浓度计326中的至少一个测量值，控制气流形成部313、气体导入部340和排气部350中的至少任一者。
[0061]
例如，利用输送装置31输送晶片w时，控制部390使循环风扇314工作并且将循环阀332打开，经由循环管线331使置换气体在第1室310内与第2室320内之间循环。此外，控制部390调整气体导入部340和排气部350中的至少一者以使得第1室310的内部成为正压的状态。例如，控制部390通过控制排气部350的排气流量调节部352而减小将第2室320内排气的排气流量，将第1室310的内部调整为正压的状态。此外，例如，控制部390将气体导入部340的阀348打开并且增大流量调节阀347的开度而使经由循环管线331对第1室310内供给的清洁干燥空气的量增加，由此将第1室310的内部调整为正压的状态。此外，例如，控制部390将气体导入部340的阀343打开并且调整流量控制器344而使经由循环管线331对第1室310内供给的惰性气体的量增加，由此将第1室310的内部调整为正压的状态。另外，控制部390也可以将这些工作组合来进行。
[0062]
参照图4，对实施方式的装载模块30的另一例进行说明。图4所示的装载模块30a在气体导入部340对第1室310内导入作为置换气体的惰性气体和清洁干燥空气这一点上，与图3所示的装载模块30不同。此外，其他结构可以与图3所示的装载模块30相同。以下，以与图3所示的装载模块30不同的结构为中心进行说明。
[0063]
第1室310除了图3所示的结构之外，还包含第2流入口316。第2流入口316是置换气体从气体导入部340流入的口，置换气体经由第2流入口316从气体导入部340导入到第1室310内。在本实施方式中，第2流入口316形成于与第1室310的侧壁中形成有流入口311的侧壁相同的侧壁，但是例如第2流入口316也可以形成于与第1室310的侧壁中形成有流入口311的侧壁不同的侧壁。此外，例如第2流入口316也可以形成于顶部。此外，例如第2流入口316也可以形成于第1室310的侧壁和顶部中的多者。
[0064]
气体导入部340对第1室310内导入作为置换气体的惰性气体和清洁干燥空气。气体导入部340包含惰性气体供给源341、惰性气体供给管342、阀343、流量控制器344、cda供给源345、cda供给管346、流量调节阀347和阀348。该气体导入部340对第1室310内供给由流量控制器344控制了流量的惰性气体和由流量调节阀347控制了流量的清洁干燥空气中的至少一者。
[0065]
[控制方法]
[0066]
参照图5～图7，对实施方式的控制方法的一例进行说明。图5使表示实施方式的控制方法的一例的图。图6是表示图5的控制方法中的阀和循环风扇的工作的一例的图。图7是表示图5的控制方法中的阀和循环风扇的工作的另一例的图。
[0067]
图5所示的控制方法例如在启动装载模块30时、维护装载模块30后使之重启时实施。此外，在开始图5所示的控制方法时，将装载模块30作为第2室320内成为大气气氛的模块进行说明。
[0068]
首先，在步骤s11中，控制部390使装载模块30在气体置换模式下工作。在本实施方式中，控制部390将循环阀332关闭，使循环风扇314停止(关闭，off)。此外，控制部390将阀343打开，将流量控制器344的设定流量设定为最大值(例如，1000l/min)，并且控制排气流量调节部352而增大排气流量。由此，从惰性气体供给源341对第2室320内导入大流量的惰性气体，第2室320内的大气被大流量的惰性气体挤压而将其从第2室320内高速地排出。其结果是，第2室320内在短时间内从大气气氛被置换为惰性气体气氛。
[0069]
接着，在步骤s12中，控制部390判断第2室320内的湿度是否为第1值以下。在本实施方式中，控制部390基于温度计324的测量值和露点计325的测量值来计算第2室320内的湿度，判断计算出的湿度是否为第1值以下。第1值例如是根据第2室320的容积等预先决定的值，例如50ppm～500ppm。在步骤s12中，当判断为第2室320内的湿度为第1值以下时，控制部390使处理前进到步骤s13。另一方面，在步骤s12中，当判断为第2室320内的湿度比第1值大时，控制部390使处理返回步骤s11。即，控制部390使装载模块30在气体置换模式下工作直至第2室320内的湿度成为第1值以下。
[0070]
接着，在步骤s13中，控制部390使装载模块30在气流搅拌模式下工作。在本实施方式中，控制部390在持续惰性气体从惰性气体供给源341向第2室320内的导入和第2室320内的排气的状态下，使循环风扇314驱动(启动，on)并且将循环阀332打开。由此，第2室320内的气流被搅拌，在气体置换模式下难以被置换的第2室320内的角落残存的大气(湿气)被排出到第2室320外。在步骤s13中，控制部390例如以低速驱动循环风扇314。
[0071]
接着，在步骤s14中，控制部390判断从使装载模块30在气流搅拌模式下工作起是否经过了规定时间。规定时间例如是根据第2室320的容积等而预先决定的时间。在步骤s14中，当判断为从使装载模块30在气流搅拌模式下工作起经过了规定时间时，控制部390使处理前进到步骤s15。另一方面，在步骤s14中，当判断为从使装载模块30在气流搅拌模式下工作起没有经过规定时间时，控制部390使处理返回到步骤s13。即，控制部390使装载模块30在气流搅拌模式下工作直至经过规定时间。
[0072]
接着，在步骤s15中，控制部390使装载模块30再次在气体置换模式下工作。在本实施方式中，控制部390在持续惰性气体从惰性气体供给源341向第2室320内的导入和第2室320内的排气的状态下，将循环阀332关闭，使循环风扇314停止。由此，利用从惰性气体供给源341导入到第2室320内的大流量的惰性气体挤压第2室320内的大气而将其从第2室320内高速地排出。其结果是，第2室320内在短时间内从大气气氛被置换为惰性气体气氛。
[0073]
接着，在步骤s16中，控制部390判断第2室320内的湿度是否为第2值以下。在本实施方式中，控制部390基于温度计324的测量值和露点计325的测量值计算第2室320内的湿度，判断计算出的湿度是否为第2值以下。第2值例如是根据第2室320的容积等而预先决定的、比第1值小的值。第2值例如可以为10ppm～200ppm。在步骤s16中，当判断为第2室320内
的湿度为第2值以下时，控制部390使处理前进到步骤s17。另一方面，在步骤s16中，当判断第2室320内的湿度比第2值大时，控制部390使处理返回步骤s15。即，控制部390使装载模块30在气体置换模式下工作直至第2室320内的湿度为第2值以下。
[0074]
接着，在步骤s17中，控制部390使装载模块30在循环转变模式下工作。在本实施方式中，控制部390控制排气流量调节部352以减小排气流量，并且减小流量控制器344的设定流量。此外，控制部390使循环风扇314驱动并且将循环阀332打开。由此，惰性气体的导入量变小，并且惰性气体在第1室310内与第2室320内之间循环。在步骤s17中，控制部390如图6所示，优选使循环风扇314的转速从低速向高速呈阶梯状增加。由此，在从气体置换模式转变为循环模式时能够抑制湿度上升。此外，控制部390如图7所示，也可以使循环风扇314的转速从低速向高速连续地增加。
[0075]
接着，在步骤s18中，控制部390使装载模块30在循环模式下工作，结束处理。在本实施方式中，控制部390将循环阀332打开，从惰性气体供给源341向第2室320内导入小流量的惰性气体，将第2室320内以较小的排气流量排气的状态下，使循环风扇314以一定的速度(低速)驱动。然后，控制部390在该状态下结束处理。此外，在装载模块30在循环模式下工作的状态下，在第2室320内利用输送装置31进行晶片w的输送。
[0076]
在步骤s18中，控制部390优选调整气体导入部340和排气部350中的至少一者以使得第1室310的内部成为正压的状态。在本实施方式中，控制部390控制排气流量调节部352以减小将第2室320内排气的排气流量，将阀343打开并且调整流量控制器344以使经由循环管线331被供给到第1室310内的惰性气体的量增加。由此，将第1室310的内部设定为正压的状态。但是，控制部390也可以例如仅通过控制排气流量调节部352而减小将第2室320内排气的排气流量，而将第1室310的内部设定为正压的状态。此外，控制部390也可以例如仅通过将阀343打开并且调整流量控制器344以使经由循环管线331被供给到第1室310内的惰性气体的量增加，而将第1室310的内部设定为正压的状态。此外，控制部390也可以例如仅通过将阀348打开并且增大流量调节阀347的开度以使经由循环管线331被供给到第1室310内的清洁干燥空气的量增加，而将第1室310的内部设定为正压的状态。此外，控制部390例如通过将排气流量调节部352的控制、阀343的开闭、流量控制器344的调节、流量调节阀347的调节和阀348的开闭中的至少2者以上组合地进行，而将第1室310的内部设定为正压的状态。
[0077]
像这样，在步骤s18中，控制部390调整气体导入部340和排气部350中的至少一者以使得第1室310的内部成为正压的状态。由此，能够抑制大气从装载模块30的外部混入第1室310内。因此，即使在使置换气体在第1室310内与第2室320内之间循环的状态下使循环风扇314驱动而将置换气体从第1室310内送入第2室320内的情况下，也能够抑制大气混入第2室320内。其结果是，能够以较少的置换气体消耗量来维持低湿度环境。
[0078]
如以上所说明的那样，依照实施方式的控制方法，控制部390不使置换气体在第1室310内与第2室320内之间循环，就能够实施对第2室320内导入大流量的惰性气体并且将第2室320内高速地排气的步骤。由此，能够在短时间内降低第2室320内的湿度。换言之，能够缩短装载模块30启动所需的时间。
[0079]
另外，依照实施方式的控制方法，控制部390在步骤s11与步骤s15之间，即，在装载模块30在气体置换模式下工作的过程中，进行控制以使循环风扇314驱动规定时间并且将
循环阀332打开。由此，第2室320内的气流被搅拌，在气体置换模式下难以被置换的第2室320内的角落残存的大气(湿气)被排出到第2室320外。其结果是，能够缩短从大气气氛向低湿度环境转变的转变时间。
[0080]
另外，依照实施方式的控制方法，控制部390在使装载模块30的工作从气体置换模式转变为循环模式时，使装载模块30在循环转变模式下工作。即，控制部390在使装载模块30的工作从气体置换模式转变为循环模式时，使循环风扇314的转速从低速向高速增加。由此，在从气体置换模式转变为循环模式时能够抑制湿度上升。
[0081]
另外，在实施方式的控制方法中，说明了在步骤s18中，从惰性气体供给源341对第2室320内导入小流量的惰性气体，将第2室320内以较小的排气流量排气的情况，但本发明不限定于此。例如，控制部390也可以将阀343关闭，并且控制排气流量调节部352以使排气停止。但是，优选在步骤s18中，从惰性气体供给源341对第2室320内导入小流量的惰性气体，将第2室320内以较小的排气流量排气。由此，将对设置于装载模块30的侧面的送入口36进行开闭的开闭门37打开，在其与载置于装载口50的输送容器51之间进行晶片w的输送时，即使从输送容器51内混入水分也能够维持低湿度环境。
[0082]
另外，在实施方式的控制方法中，说明了在步骤s12和步骤s16中判断第2室320内的湿度是否分别为第1值以下和第2值以下的情况，不过判断的对象并不限定于湿度。例如，判断的对象可以为氧浓度，也可以为湿度和氧浓度这两者。
[0083]
参照图8，对实施方式的控制方法的另一例进行说明。图8是表示实施方式的控制方法的另一例的图。
[0084]
图8所示的控制方法与图7所示的控制方法的不同点在于，当在从使装载模块30在气流搅拌模式下工作起经过了规定时间的时刻第2室320内的湿度比第3值大时，再次使装载模块30在气流搅拌模式下工作。此外，其他点可以与图7所示的控制方法相同。
[0085]
步骤s21在步骤s14中判断为从使装载模块30在气流搅拌模式下工作起经过了规定时间的情况下进行。在步骤s21中，控制部390判断第2室320内的湿度是否为第3值以下。在本实施方式中，控制部390基于温度计324的测量值和露点计325的测量值计算第2室320内的湿度，判断计算出的湿度是否为第3值以下。第3值例如是根据第2室320的容积等而预先决定的值，例如可以与第1值相同。在步骤s21中，当判断为第2室320内的湿度为第3值以下时，控制部390使处理前进到步骤s15。另一方面，在步骤s21中，当判断为第2室320内的湿度比第3值大时，控制部390使处理返回步骤s13。即，控制部390使装载模块30在气流搅拌模式下工作直至第2室320内的湿度成为第3值以下。
[0086]
如以上所说明的那样，依照图8所示的实施方式的控制方法，能够得到与图7所示的实施方式的控制方法相应的作用效果。此外，依照图8所示的实施方式的控制方法，通过将步骤s14中的规定时间设定得较短，能够使装载模块30在气流搅拌模式下工作的时间达到最小限度，能够缩短装载模块30启动所需时间。
[0087]
另外，在图8所示的实施方式的控制方法中，说明了在步骤s12、步骤s16和步骤s21中判断第2室320内的湿度是否分别为第1值以下、第2值以下和第3值以下的情况，但判断的对象不限定于湿度。例如，判断的对象可以为氧浓度，也可以为湿度和氧浓度这两者。
[0088]
应该认为，本技术公开的实施方式，所有的点都是例示，并不限定于此。另外，上述实施方式可以不脱离权利要求书和其主旨地以各种方式进行省略、置换、变更。